ДЗ №1 - Установка магнетронного напыления МАГНА ТМ200-01

Вартанова Дарья Игоревна(МТ11-18)

Установка магнетронного напыления МАГНА ТМ200-01

1. Потребность

   1. Необходимое действие – нанести тонкую плёнку (или несколько) на подложку с максимальной равномерностью указанной толщины

   2. Объект – подложка из ситалла, поликора или кремния

   3. Особые условия и ограничения – процесс должен происходить в особой чистоте не смотря на то, что рабочее давление приблизительно 0,5 Па

2. Техническая функция

   1. Потребность – рассмотрена выше

   2. Физическая операция:

      1. Входной поток – энергия, которая затрачивается на создание плазмы, способной выбивать атомы напыляемого материала с мишени

      2. Выходной поток – количество вещества, которое остаётся на пластине

      3. Операция Коллера – преобразование и передача

3. Функциональная структура:

4. Описание физического принципа действия: в вакууме с помощью электрической энергии создаётся плазма, в результате чего высокоэнергетические ионы ударяются о мишень, что приводит к распылению материала. Распылённый материал оседает на пластину в виде тонкой плёнки.

   1. Начальное состояние – пластина (твёрдое тело)

   2. Конечный результат – пластина с тонкой плёнкой (твёрдое тело с покрытием)

5. Описание физико-химических эффектов:

   1. В вакуум напускается инертный газ нужного количества, чтобы поддерживать рабочее давление

   2. С помощью электрического тока и магнитного поля создаётся плазма

   3. Ионы с высокой энергией ударяются о мишень и выбивают атомы распыляемого материала

   4. Распылённый материал осаждается на пластину (эффект падающего снега)

6. Техническое решение: в настоящее время просматривается тенденция увеличения диаметра подложек, исходя из этого стоит увеличить размеры элементов установки, чтобы равномерно наносить тонкие плёнки на пластины большего диаметра. Для этого необходимо модернизировать практически всё с точки зрения габаритов, однако основная структура установки останется прежней.

7. Проект – находится на разработке.