ДЗ №1 - Координатный стол для контактной литографии
Описание файла
Документ из архива "ДЗ №1 - Координатный стол для контактной литографии", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "проектирование нанотехнологического оборудования (пнто) (мт-11)" из 9 семестр (1 семестр магистратуры), которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "проектирование нанотехнологического оборудования (пнто) (мт-11)" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "ДЗ №1 - Координатный стол для контактной литографии"
Текст из документа "ДЗ №1 - Координатный стол для контактной литографии"
Куликова Людмила (МТ11-18)
Координатный стол для контактной литографии
-
Потребность.
-
Необходимое действие – совместить подложку с фотошаблоном с максимальной точностью
-
Объект – подложка с нанесённым фоторезистом
-
Особые условия и ограничения – совмещение должной пройти с максимальной точностью (нанометровый порядок погрешности). При этом должны учитываться перемещение по двум координатам + вращение.
-
Техническая функция.
-
Потребность – перемещение с нанометровой точностью
-
Физическая операция:
-
Входной параметр – электрический ток
-
Выходной параметр – окончательное положение (координаты)
-
Функция Коллера – «изменение направления» и «проведение»
-
Функциональная структура: 0 – электрический ток, 1 – магнитореологическая жидкость, 2 – объект (пластина), 3 – виброизоляция.
-
Описание физического принципа действия.
-
Преобразование электрического тока в магнитное поле, с помощью которого можно управлять магнитореологической жидкостью. С помощью гидравлических и магнитореологических свойств работает привод, который перемещает фотошаблон над подложкой с нанесённым фоторезистом.
-
Так как в магнитореологической жидкости содержатся специальные частицы – мы можем управлять её вязкостью с помощью изменения магнитного поля.
-
Виброизоляция работает с помощью электрореологического демпфера (полуактивная виброизоляция).
-
Техническое решение:
-
Комплексная принципиальная схема установки
-
Анализ вариантов координатных столов
-
Сборочный чертёж привода координатного стола
-
Деталировки (рабочие чертежи деталей)
Проект…