Вводы движения в вакуум (Раздаточные материалы)

М ОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ Н.Э.БАУМАНА

Кафедра МТ-11

(Электронные технологии в машиностроении)

ПРЕДЛАГАЕТ РАЗРАБОТКУ :

«ВАКУУМНЫЕ ВВОДЫ ДВИЖЕНИЯ»

П РЕЦИЗИОННЫЙ ГЕРМЕТИЧНЫЙ ВОЛНОВОЙ ВВОД РАЩЕНИЯ

(ОСТ11.426.001-76; А.С.947527)

Создан:

На основе теории волнового зубчатого зацепления, учитывая специфическое влияние вакуума на процесс износа.

Назначение:

Ввод представляет собой компактный герметичный волновой редуктор. Предназначен для прецизионной передачи вращения в объемы со сверхвысоким вакуумом (давление до 10^-9 Па), а также с агрессивными газовыми и жидкими средами. Может быть использован в приводах сверхвысоковакуумных транспортных устройств и различных манипуляторах.

Рис.1 Конструкция волнового ввода вращения

1 - ведущий эксцентриковый вал; 2 - генератор волн; 3 - гибкая оболочка;

4 - жесткое колесо; 5 - выходной вал.

Технические характеристики:

Преимущества:

-Используется волновой принцип передачи вращения, обеспечивающий малую скорость скольжения в зубчатом зацеплении

-Высокая точность, отсутствует люфт

-Высокая нагрузочная способность

-Большое передаточное число редуктора (от 60 до 160) при малых габаритах

-Все детали, обращенные в вакуум, выполнены из нержавеющей стали

-Конструкция ввода сварена аргоно-дуговой сваркой, допускает прогрев до 450°С

-Стандартный пристыковочный фланец типа "Конфлат"

* Ввод может быть снабжен ручным приводом (ВВВ-063-72-2), шаговым двигателем (ВВВ-063- 72-3), двигателями

С ВЕРХВЫСОКОВАКУУМНЫЙ ДЛИННОХОДОВОЙ ВВОД

ПОСТУПАТЕЛЬНОГО ДВИЖЕНИЯ

(СТП дЕ 23-80; А.С.663938)

Назначение:

Длинноходовой ввод (и привод) предназначен для передачи точного поступательного движения на расстояние 0,3...1,0 м в объёмы со сверх­высоким вакуумом (давление до 10^-9 Па), а также с агрессивными газо­выми и жидкими средами. Может быть использован в оборудовании для нанесения тонкопленочных покрытий, молекулярно-лучевой эпитаксии, диаг­ностическом оборудовании (оже-спектрометрия и др.), а также в хими­ческом, ядерном и медицинском оборудовании.

Технические характеристики:

Преимущества:

-В вводе использована "несоосная винтовая пара", обеспечивающая малую скорость скольжения и высокую надежность при работе в вакууме

-Практически не ограничена величина поступательного перемещения

-Работает в любом пространственном положении

-Конструкция ввода сварена аргоно-дуговой сваркой, допускает прогрев до 450°С

-Стандартный пристыковочный фланец типа "Конфлат"

По требованию заказчика ввод может комплектоваться приводом.

С ВЕРХВЫСОКОВАКУУМНЫЕ ВВОДЫ ВРАЩЕНИЯ

(ОСТ11.ПО.426.000-72; А.С.706640)

Назначение:

Вводы вращения сверхвысоковакуумные предназначены для передачи движения механизмам в рабочих камерах вукуумных установок (напылительных, откачных, электронно-лучевых и др.) при давлении до 10^-9 Па.

Технические характеристики: