7.Deulin E.A. Concept of dry friction of smooth surfaces in UHV, 14. Int. Vacuum Congress IVC-14, Book of Abstracts, Birminghem, U.K., 31 Aug.-4 Sept. 1998-P.310

1. 8.Deulin E.A., Gatsenko A.A., Loginov A.B., “Friction Force of Smooth Surfaces of SiO₂- SiO₂ as a function of Residual Pressure”, Surface Science, 433-435, 1999, p.p. 188-192

2. 9.S. Brunnaumer, P.H. Emmet, E. Teller. Journ. Amer. Chem. Soc. 60(1938), p309.

Формула изобретения

Способ измерения остаточного давления газа в исследуемом вакуумном объеме P и коэффициента покрытия поверхностей объектов, обращенных в вакуум Θ, размещённых в исследуемом объеме, заключающийся в том, что измеряют силу трения скольжения между двумя подвижными друг относительно друга объектами, помещенными в исследуемый объем, при заданных скорости скольжения и контактной нагрузке, и на основании измеренной силы трения определяют коэффициент трения скольжения между данными объектами, при этом искомый коэффициент покрытия определяют по предварительно построенным тарировочному графику изменения зависимости коэффициента покрытия поверхностей трения обьектов, обращенных в вакуум, от коэффициента трения скольжения между данными объектами, а давление остаточного газа в вакуумном объеме P, определяют на основании определённого по тарировочному графику коэффициента покрытия путем использования уравнения:

где:

Θ – коэффициент покрытия поверхности объекта, определённый по тарировочному графику его зависимости от коэффициента трения скольжения используемых объектов;

N_1П – количество «посадочных мест» для молекул на скользящей поверхности, обращенной в вакуум;

k – постоянная Больцмана;

Т_а – средняя температура перед новым контактированием на пятнах, вышедших из предыдущего контакта, К;

 - определённый по справочнику коэффициент прилипания молекул остаточного газа к поверхности объекта известного химического состава, обращенной в вакуум;

V_a - скорость теплового движения молекул, м/с;

L – среднее расстояние между микронеровностями поверхности объекта, обращенного в вакуум, м;

V – заданная скорость скольжения поверхностей объектов, м/с;

τ₀ – период колебания молекул остаточного газа, с;

E_d – энергия десорбции, Дж/м²;

R – универсальная газовая постоянная;

Т_f – максимальная температура поверхности, вышедшей из контакта (температура «вспышки»), К.

Фиг.

Реферат

Изобретение относится к области вакуумной техники и технологиям, связанным с использованием вакуума как технологической среды и требующим знания таких параметров как давление остаточных газов, коэффициент покрытия поверхностей, обращённых в вакуум сорбатом.

Данный способ измерения вакуума в испытуемом вакуумном объеме основан на измерении зависимости силы трения от изменения давления и от коэффициента покрытия поверхностей, обращённых в вакуум сорбатом.

Предлагаемый способ отличается тем, что измеряют силу трения скольжения и коэффициент трения тестовых поверхностей при заданных параметрах скольжения и контактной нагрузки, а вакуум (давление остаточных газов) определяют по изменению измеряемых величин (силы и коэффициента трения) , что позволяет расширить диапазон давлений, измеряемых одним вакуумметром, повысить точность измерения вакуума и повысить экономичность технологических процессов, проводимых в вакууме.