Магнетронные распылительные системы с электромагнитами, страница 4
Описание файла
Документ из архива "Магнетронные распылительные системы с электромагнитами", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "диссертации и авторефераты" в общих файлах, а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата технических наук.
Онлайн просмотр документа "Магнетронные распылительные системы с электромагнитами"
Текст 4 страницы из документа "Магнетронные распылительные системы с электромагнитами"
3. Экспериментально определены распределения локальных параметров плазмы (потенциал и концентрация плазмы, температура электронов) в прианодной области и области замагниченной плазмы. Установлено, что электронная компонента имеет максвелловское распределение по скоростям во всей исследованной области, а в области замагниченной плазмы разряда линии равного электрического потенциала совпадают с силовыми линиями магнитного поля.
4. Экспериментально показано, что холловский ток практически не искажает магнитное поле, созданное магнитной системой.
5. В прианодной области разряда обнаружена и исследована граница, совпадающая с силовой линией магнитного поля, касание которой анода приводит к гашению разряда. Установлено, что параметр Холла для электронов на этой линии лежит в диапазоне 30-90.
6. Сформулировано требование для проектирования магнитных систем магнетронов, согласно которому, для обеспечения работоспособности магнетронной распылительной системы линия магнитного поля с параметром Холла для электронов 30-90 при заданном рабочем давлении должна находиться в пределах катода.
7. Получены зависимости для инженерного расчета магнитных полей в магнетронах с электромагнитной системой.
8. Разработана теоретическая модель разряда для магнетронной распылительной системы. Показано, что в рамках предложенной модели напряженность электрического поля Е(x), плотность разрядного тока jр(x) и коэффициент ионизации (x) убывают в направлении от катода к аноду по такой же зависимости, что и величина индукции магнитного поля В(x). Получены аналитические выражения для распределения плотностей ионного тока ji(x), электронного тока je(x), холловского тока jхолл (x) и концентрации плазмы ne(x) вдоль разрядного промежутка. Получено выражение для функции распределения ионов по энергии на поверхности катода. Определено минимальное рабочее давление плазмообразующего газа в магнетронной распылительной системе.
Основные результаты, представленные в диссертации, опубликованы в следующих печатных изданиях:
1. Духопельников Д.В., Марахтанов М.К. Структура разряда в магнетронной системе ионного распыления //Физика низкотемпературной плазмы: Материалы VIII Всесоюзной конференции. -Минск, 1991. -Часть 2. -С.63-64.
2. Духопельников Д.В., Марахтанов М.К. Значения параметра Холла, характерные для внешней границы зоны замагниченной плазмы в ЕхВ разряде низкого давления //Двигательные, энергетические и электрофизические установки космических летательных аппаратов: Тезисы докладов Всесоюзной юбилейной конференции, посвященной 100-летию со дня рождения А.В. Квасникова. -Москва, 1992. -С.13.
3. Духопельников Д.В. Исследование магнитных полей в магнетронных системах ионного распыления //Состояние и перспективы дальнейшего развития плазменных процессов: Тезисы докладов к Всесоюзному научно-техническому совещанию. -Москва, 1992. -С.13-16.
4. Управление движением катодного пятна в линейных вакуумно-дуговых испарителях /Д.В. Духопельников. А.В. Жуков, А.А. Костин и др. //Упрочняющие технологии и покрытия. - 2005. - №11. -С.45-49.
5. Духопельников Д.В. Измерения магнитного поля и холловского тока в разряде магнетронной распылительной системы //Электровакуумная техника и технология: Труды Всероссийского постоянно действующего научно-технического семинара. – Москва, 2006. -Том 3. -С.174-177.
