К.В. Фролов - Технологии, оборудование и системы, страница 3

Глава 7.1. Изготовление деталей элеатровакуумвых вриборов (редактор Ю. А. Хрукичвв) ................... 7.1.1. Типовой технолопшеский маршрут изготовления элекгровакуумных приборов (Ю. А. Хруиичев) .......... 7.1.2. Изготовление стехлянньп, металло- стеклянных и керамических изделий (Ю. А. Кэуиичвв) ..................... 7.1.3. Технология и оборудование для производства катодов, подогревателей и газопоглоппелей (О. Ю.

Маглвиииксв) ............... 7.1.4. Технолопш н оборудование для очистки и техйохимической обработки деталей и узлов элаатровакуумных приборов (В. М. Палке) ......,..... 7.1.5. Технология и оборудование дчя пневмовихревой очистки деталей и узлов электр овакуумных приборов (В. В. Жуков) ............ СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ ... Глава 7.2. Сборка оболочек и ввутумвней армигНаг боров ......................... 7.2.1. Технолопш и оборудование для сборки стеклооболочек электр о вакуумных приборов (Б.

С. Федоров) .............................. 603 603 605 619 644 ОГЛАВЛЕНИЕ 660 672 Глава 7.3. 682 682 706 707 Глава 7.4. 731 732 '707 713 740 7.2.2. Сборка внутренней арматуры элекгровакуумных приборов (В. А. Варламов) .......... 7.2.3. Методы н средства зямрки сшшшоболочек змкцхвмкуумных приборов (Ю. Р. (уввлакгаиц) ............-... Термоваауумвая обработка. контроль и всиы тания элевтровакуумвых щаборов .......... 7.3.1. Термовахуумнэя обработка електровакуумных приборов (Ю.

Р. Оювлаиьлиц) ..... 7.3.2. Способы и ремимы акпыирования и тренировки катодов (О. Ю. Маслвииикав) ... ' 702 7.3.3. Контроль и испьпвння электровакуумиых приборов (Е А. Варламов)......... СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ .............. Исиельаовавве электровавуумвых щаборов, печатных влат, ввдиваторов в ввтегральвых микросхем в радиоэлсвтровгмгх ш" делвях (Е. П. лрмук) СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ .............. Часть 1П. МЕХАТРОНИКА. ОСНОВНЫЕ понятия, со- ВРЕМЕННЫЙ И ПРОГНОЗИРУЕМЫЙ УРОВНИ МЕХАТРОННЫХ СИСТЕМ (редактор Ю.

В, Панфилов, автор М. Ю. Сгееарев) 714 П1.1. Концепция мехагронихи .... 714 П1.2. Структура и типы меха- тронных устройств .............. 717 П1.3. Мехатронная технолошя и материалы ....,...................... 717 1П.4. Энергетика мехатронных устройств и технологий ...... 718 П1В. Поколения мехатронной техники и технологий .....,.. 720 1П.6. Перспективные мехатронные модули ......................... 722 П1.7.

Перспективы применения мехатронной техники и технологий ......................... 727 СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ .............. ГГРИЛметиыи укАВАтель ...... Приложение. - -- Специальности "Электронное машиностроение в России" - 60 лет (Л. )т, Валчкввич) ................. ПРРДИСЛОЕИЕ РЕДА1СТОРА-СОСТАВВТЕИ 12 Предисловие редактора-составителя Авторами данного тома Энциклопедии "Машиностроение" являются ведущие ученые и специалисты в различных областях электронного машиностроешш. Они обобщили и систематизировали доспскення в элекгронном машиностроении. Во введении дано понятие электронного машиносгроенж, показаны его роль в науке и технике, отличие от других отраслей промьппленносги.

В разя. 1 приведены общие и специфические критерии проектирования н требования к разработке технологий и оборудования в электронном машиностроении, дана классификация оборудования и рассмотрены вопросы производственной и экологической безопасности. Подчеркивается разнообразие областей применения технологий, что связано с множеством физических эффектов, возникающих при воздействии на обрабатываемые материалы электронных и ионных пучков, газоразрядной плазмы и электромагнитных..полей, рентгеновских и оптических лучей, а также идентичность принципов построения оборудованмя и систем управлении. В равд.

2 и 3 описаны сущность, виды и характеристики процессов физического н химического воздействия потоков высокоэнергепгчных частиц (элекгронов, ионов и др.) на обрабатываемые изделия, описаны и системаппированы методы этого воздействия, приведены расчеты основньш параметров. Показано влияние концентрации и энергии частиц, давления и состава остаточных и рабочих швов, а также других харюствристик на быстродействие оборудования и качество обработки. Приведены принципиальные схемы и ююссификации основных видов источников электронов, ионов, фотонов, плазмы, атомов и молекул, а также типовая дпя данного вида обработки технолопшеская оснаопса. Дано описание технологического оборудования и чистых производственных помещений, представлены их классификации, структурно-компоновочные варианты машин, реализующих технологические процесоы, различные по виду, но аналогичные по принципу построения (загрузка деталей, их транспортирование в зону обработки или измереюш, вьпрузка и т.д.).

Приведенм нх технические характеристики и обобщенные методики расчета и выбора параметров основных элементов оборудования. Изложены принципы создания и поддержания вакуума, специфические для вакуумного технологического оборудования, но единые для всех машин и установог~ использующих в качестве технологической среды разреженный шз. Описаны методы расчета вакуумных и ивовых систем, а также нх элементы: насосьь клапаны, вакуумметры, работающие в вакууме механизмы и др. .В равд. 4, посвященном системам автоматического управления (САУ) технологическим оборудованием, изложены общие для машин любого технологического назначения и выделены специфические для оборудования и производства изделий электронной техники (ИЭТ) функции и задачи САУ, принципы нх построения, элементная база, языки программирования и тщ.

Приведены примеры реализации САУ дискретными технологическими установками, автоматическими линиями и комплексами в электронном машиностроении. В равд. 5 - 7 представлены как типовые, базирующиеся на описанных в равд. 2 и 3, так и оригинальные технологические процессы производства интегральных микросхем (ИС), печатных плат и индикаторов, электровакуумных приборов (ЭВП), яюшющихся основной элементной базой современной радиоэлектронной, телевизионной и видеоаппаратуры, средств связи и вычислительной технзши и тл, Приведены специфические только для перечисленных приборов и устройств методы расчета параметров и выбора режимов технологических процессов и оборудования, например, фотолитографии прн производстве ИС, термовакуумной обработки ЭВП, сборки печатных плат.

Описаны технологии и оборудование для изготовления изделий квантовой элекгроники, приборов отображения информации, для испьпания ИЭТ и т.п. В части 1П приведены сведения по мехатронике и вариантам построения мехатрониых сис- В данном томе не отражены применяемые в электронном машиностроении технологии и оборудование для изготовления дискретных резисторов, конденсаторов, пьезоэлементов, вьпапочателей, трансформаторов, так как они специфичны для радиоэлектронной промышленности и производства средств связи. В написании данного тома большое участие приняли ученые и преподаватели МГТУ им. Н.

Э. Баумана, где подучила становление и развитие научная школа "Электронное машиностроение". Д-р техн. наук Ю. В. Лаи4ваеа ввцдвннв ВВЕДЕНИЕ В промышленно-развитых странах в последнее время все более широко используют нетрадиционные для машиностроения технологические процессы, основанные иа воздействии высокоэнергетичных часпщ и электромагнитных нолей на обрабатываемый материал. Особенность такого воздействия заключается в том, что, применяя в качеспю инструмента электронные, ионные, атомарные и молекуларные пучки, газоразрядную плазму, рентгеновские и оптические лучи, а такхге электрические и магнитные поля, можно выполнять обработку разнообразных иэделий, в том числе для машиностроения, с размерами порядка микрометра и даже нескольких нанометров. Реализующее такие технологические процессы оборудование отличается высочайшими показателями плавности и точности перемещения исполнительных механизмов, безотказностью и долговечносп ю их работы, причем часто в экстремальных условиях сверхвысокого вакуума, повышенных температур и отсутствия смазочного материала.

Использование в качестве технологической среды очищенных инертных и химически активных газов, высокого и сверхвысокого вакуума, а также атмосферы чистых производственных помещений гарантирует бездефектность и однородность обрабатываемых материалов, воспроизводимость параметров и высокое качество изделий, производственную и экологическую безопасносп. Возможносп вести обрабопгу на уровне атомарных и молекулярных слоев позволяет дозированно нзменать свойства приповерхностных слоев, проводить сверхточные измерения геометрических размеров, структуры, состава и свойств материалов, полуфабрикатов и готовьы наделяй.

Непрерывносп контроля за рахимами обработки электронными, ионными и другими пучками, возмовпюсть их регулирования непосредственно во время проведения операции позволяют быстро оптимизировать параметры технологического процесса и осуществлять его автоматизацию. Кроме того, электронная техника является основой создания и развития информационных технологий и вычислительной техники, на которых в машиностроении базируются системм автоматизированного проектирования, измерения и дюпностики параметров технологического процесса и оборудования, микропроцессорные системы автоматического управления и т.д. В электронном машиностроении необходимость в системах автоматического управления вызвана ках физическими ограничениями человека по чувствительности, быстром принятия решения и другим показателям, так и все более возрастающей необходимоспю исключения его из непосредственного контшгш с обрабатываемыми изделиями, так как он является источником дополнительных дефектов.

Таким образом, электронное машиностроение - это область науки и техники, занимающаяся изучением физических явлений, иссгидованием и разработкой технологических процессов, оборудования и систем управления для производства элекгровахуумиых и полупроводниковых приборов, интегральных микросхем, печатных плат, радиокомпонентов и других изделий электронной техники. "Отраслевая" принадлежность данного раздела машиностроения связана со специфичностью методов технологического воздействия на обрабатываемые изделия и соответствувлцего оборудования. Например, детали кинескопа или микросхемы нельзя изготовить с помощью токарного нлн фрезерного станка, для этого нужны более "тонкий" инструмент и более "чистое" оборудование, например вакуумное С другой стороны, чтобы изготовить технологическое оборудование дзя элекцюнного машиностроения, как и в традиционном машиностроении, нужны практически такие же материалы и заготовки, станки и инструмент, как и для производства кузнечного пресса нли автомоби- Электронное машиностроение как отрасль промышленности - это концеитрашш научноисследовательских институтов, имеющих опытное производство, и серийных заводов с собственными конструкторскими бюро, ведущих разнообразную деятельность -исследование и создание источников электронных, ионных, атомарных и молекулярных пучков, станков, шрегатов и автоматических линий для шлифования полупроводниковых материалов, ковки деталей электровакуумных приборов, литья стекла и керамики, сварки корпусов интегральных микросхем, сборки печатных плат н т.д.