К.В. Фролов - Технологии, оборудование и системы, страница 2

В. Слащов) .................,..— 2.6.10. Систематизация мешдов нанесения тонких пленок в вакууме (Ю. В. Панфилов) .............................. 2.6.11. Методы расчета и выбора параметров основных элементов оборудования ди нанесения многослойных тонкопленочных структур в вакууме (Л К. Ковалев) ............ СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ .............. Раздел 3, ОБОРУДОВАЗПГЕ, РЕАЛИЗУЮЩЕЕ ЭЭЛЛЕЕККТТРРОННЬП8 И ИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ (рея р Д К Ковалев) ......................

Глава 3.1. Вак)умное технологическое оборудование ... 3.1.1. Этапы и тенденции рашития, класснфикашш (Д К Ковалев) 3.1.2. Оборудование для производства изделий квантовой электроники (Д. К Коеалее) .......... 194 201 213 221 232 237 242 3.1.3. Виды и основы построения шлюзовых систем (В. В. Одинокое) ............................. 3.1.4. Использование шлюзовых систем в вакуумном оборудовании (В. В. Ойамхсе) .....

3.1.5. Типы приводов исполнительных механизмов оборудования ди производства изделий электронной техники (К А. Деулин) 3.1.6. Конструкции приводов на основе управляемой упругой деформации (А. Т. Алексаидроеа) .............. 3.1.7. Проектирование механизмов и компоновка элементов вакуумного технологическогого оборудования по критерию минимума привносимой дефектности (Ю. В. Панфилов) .

3.1.8. Методы расчет и регулирования числа и размеров микрочастиц износа, генерируемых внутрнкамервакуумного оборудования (С. В. Степан- чиков) ........ 3.1.9. Устройства на основе 1-координатных механизмов (В. П. Платов)..., СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ ............. Ела)умные и пюовые системы (редактор А. Т.

Алексам)уела) ..... 3.2.1. Общие принцицы создания и поддержания вакуума (В. В. Мииайчел) ......... 3.2.2. Вахуумные насосы и ловушки (В. В. Мииайчее) ............,...... 3.2.3. Вакуумные клапаны, ттворы и натекатеви (О. К. Курбатов) ............................. 269 273 292 297 303 305 ОГЛАВЛЕНИЕ 399 411 411 412 414 417 421 Глава 3.3 Глава 3.4. 3.2.4. Методы и средства измерения параметров вакууз5имх и ивовых среД (И В. Тааграгоа) л'.................... 332 3.2.5. Мегоды расчета и выбора параметров вакуумных систем (В.

Е. Мииабааа) ......... 339 3.2.6. Материалы, применяемые в электронном машиностроении (А. Т. Алаксаифюаа) ..................... 334 3.2.7. Элементная база газовых систем (А, Т. Е)р ц ) .....„,............ 354 СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ ............. 371 Чистые производственные иомещеввя в оборудование для волучевия чистых теыюиоп$- тх еров (В. Н Коракеян),.........,.....

371 Общая харжтеристика чистых производственных помещений,,..........,., „,, 371 3.3.2. Материалы и оборудование чистых производственных помещений .....„„.„„„381 3.3.3. Технологический михроклимат чистых производственных помещений и его обеспечение ...,............ 387 3.3.4. Подпповка и контроль чистых газовых технологических сред „„„.„„„,..., „, „„390 3.3.5. Чистая вода и иидкие технологические среды ................. 395 СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ .........,...

398 Сверхвыеово вакуумное физико-аналитическое в теяиолопшеекое оборудовавве (редактор В. Н Кратаюга) ......... 399 3.4.1. Оборудование для контроля и анализа поверхности твердого тела методами электронной и ионной спектроскопии (О Д Щютоианаа) ................ 3.4.2. Оборудование дтя формирования поверхности и микро- объемов твердого тела 3.4.2.1. Особенности (В. ХХ Кротенко) ......... 3.4.2.2. Оборудование дня молекулярно- лучевой опитаксии (В. М Енина) .............. 3.4.2.3. Технологические комгшексы (Н Е. Махов).......

3,4.2.4. Оборудование Ллв осэхщения слоев (Е. Л Черняк) .............. СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ .............. Раздел 4. СИСТЕМЫ АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМ ОБОРУДОВАНИЕМ (редактор М. И. Кузиецоа) .............. Глава 4.1. Обвыв характервстика 4.1.1. Взаимодействие материаньных, энергетических и информационных потоков прн функцио ниро вани м технологического оборудования.

Функции систем автоматнчммого 1р щ (В. Т. Рябое) 4.1.2. Этапы автоматизации электронного машиностроения (Е С Ермакоа) ..................... 4.1.3. Взаимосвязь этапов развития технологий энекгронного машино строеньи и систем автоматического управления технологическим оборудованием (Р. В. Корнилоа) СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ .............. Глава 4.2. Особенности систем ввтоматачеекого унрввлаввя техволюншееяим оборудовмвмм электровв~й техвяви .... 421 421 425 431 432 432 ОГЛАВЛЕНИЕ 472 490 498 511 Глава 5.3. 511 511 518 529 Глава 5.4 Часть П. ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ .......,.. 459 530 459 459 459 407 472 472 555 4.2А. Кяассификшвш (М. Л, «у некое) ......... 4.2.2.

Технические средства микропроцессорного управления (лб Л. Кузнецов) ...,..... 4.2.3. Системы автоматическото управления дискретными технологическими усшновками и гибкими производственными линиями (М. Н. Кузнецов)..... 4.2.4. Датчики в системах управления технологическими процессами (Е. А. Корнее) 4.2.5. Языки протраммирования микропроцессорных систем автоматического управления (В.

Т. Рябов) СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ .............. Раздел 5. ТЕХНОЛОГИЯ И ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ИНТЕГРА)ГЬНЫХ МИКРОСХЕМ (редактор В. Г. Блохин) ., Глава 5.1. Техиолопи пзпповяенвя ппауяроводвпковых пластин (Ю. Ф. Камее) 5.1.1. Виды и рахимы механической обработки полулроводниковых материалов, параметры оборудова- 5.1.2. Химико-механическая обработка полупроводниковых материалов .....„„„„, „„, СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ ..............

Глава 5.2. Теыюлогня н оборудование яля формпровавня микроструктур ...... 432 438 444 448 455 458 5.2.1. Микролитотрафия (В. В. А(аршинов) 5.2.2. Технологические маршруты формирования микроструктур интехрапьных микросхем (В. Г. Блохин) ..... 5.2.3. Технолоптя микромеханики (Ю. Б. Поенное) .....................

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ .............. Сборка микросхем ...... 5.3.1. Разделение полупроводниковых пластин на кристаллы (О. А. Кузнецов),....... 5.3.2. Монтаж и герметизация (В. А. Валкое) СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ ............,. Измерение и ковтроль в микроэлеатро вике (О. П. Глулкин) .....,... 5.4.1. Общие сведения о методах и средствах измерения ................... 5.4.2. Электрические параметры иэделий микроэлектроники н методы нх измерения 5.4.3. Системы измерения основных электрических параметров интегральных микросхем ....,..............,....

5.4.4. Основные методы измерения статических параметров ......... 5.4.5. Основные методы измерения дифференциальных параметров ........................,..... 5.4.6. Основные методы измерения параметров интегральных микросхем в импульсных режимах ............... 5.4.7. Основные методы измерения параметров эквивалентных схем .............,............. 5А.8. Шумовые характеристики полупроводниковых приборов и методы их измере- 530 535 538 540 543 551 553 10 ОГЛАВЛЕНИЕ 602 603 603 629 648 648 648 5.4.9.

Измерение электрических параметров конденсаторов, резисторов, катушек индуктивностей,.......,... СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ .............. Раздел 6. ПРОИЗВОДСП)О ПЕЧАТНЫХ ПЛАТ И ИНДИКАТОРОВ (редакгоР Ю. А. 3(зинков) ...-----. Глава 6.1. Печатные шшты ...,....

6.1.1. Основные термины и этапы развнпш (Ю. А. 3бшиисв) ... 6.1.2. КлассиФикация и конструирование (Ю. В. Маркесе),.......,. 6.1.3. Технолопш изготовления (М А. Балаиюв) ......................... 6.1.4. Оригиналы и Фотошаблоны (Ю. В. Маркесе) 6.1.5. Испытюцш, контроль и оапщартизация (Е. С. Полова) ... 6.1.6. Сборка печатных узлов радиоэлехтронной аппаратуры (В. Н. Кувырки) ........... СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ .............. Глава 6.2. Индикаторы ...,.....,: 6.2.1. Приборы отображения инФормации (Н Я Лвмичвв) ...........

6.2.2. Конструкция и технология изготовления электролюминесцентных индикаторов (В. А. Хиласов) ............ 6.2.3. Жидкокристаллические приборы отображения инФормацни. Особенности конструкции, принцип действия и технология изготовления .............. 6.2.3.1. Жгщкие кристаллы и эФФекты изменения их оптических свойств (Ю. П. Бобылев) .............,...,.... 6.2.3.2. Элементы конструкций и технолопщ 556 557 557 557 557 559 568 575 575 577 592 592 592 594 599 599 изготовления (В. М Шавок) .......... СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ .............. Разаал 7. ТЕХНОЛОГИЯ И ОБО- РУДО ВАНИЕ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ (редактор Ю. Р. Оиекаимии) ........