Майсел Л. - Справочник - Технология тонких плёнок, страница 5

В ряде случаев последнее условне требует учега коэффициента Е. 3) Данные по давленню паров. Данные о давлеиин паров большинства хнмнческнх злемептов получены рядом авторов. Температуры, прн которых давление паров обеспечнвает необходнмые, с практнческой точкн зрения, скороств испарения, оказываются довольно высокнмн н.обычно превосходят 600с С. Измерение давления паров прн повышенных температурах наталкивается на серьезные акспериментэльные трудностн нз-за ошибок в нзмеренян температуры испарения, прнсутствня нзбыточного давления остаточных газов н реакцнй между конденснровзнным кспаряемым вежеством н материалом нспарнтеля. По атой прнчнне точность полученных данных ограничена н значения давления паров, приводимые разными авторами, отличаются. Поэтому к табличным данным, особенно еслн втя данные относительно старые, следует подходить крптнческя.

Чтобы пояснить зто на првмере, рассмотрнм данные по давлению паров жидкого алюминия, представленные нз рнс. 1. Среди экспериментальных данных есть дзннйе различных авторов, которые были выбраны Несмеяновым )5) кзк наиболее надежные. На основе зтнх .данных он вывел соотношение !ой д' (мы рт. ст.) — 15,993 Т-'+ 12,409-0,999 !ой Т вЂ” 8,52 10-' Т. 21 Гл, 1.

Вак умнов нспаренне Атб' (Т) = 65,680 — 43,72Т + + 4,6! 1ой Т. На основе этого выражения, нс. пользуя уравнение (16), можно Рассчитать зввнснмость дэнлення парэ от температуры, которая также предстанленв на рнс. 1, Кубашевскнй [6) на основе данных, не использованных Несмепновым ) !8), получил следующее выражение для давлення пара !й р' (мм рт.

ст.) 16,480Т ' + + 12,36 — 1,023 !ой Т. Как видно из рис. 1, данные этих аэтороэ существенно различаются. Следует отметить, что величины, использованные Хоиигом [!9) (зачерненные кружка), хорошо совпадают с кривой Кубашевского. 2ЙЭУ 1290 1199 ' Мд 1999 1799 15йг 1ИГ ут" Рлк.

Ь Злзктаылттз дазлглкл зараз мкдкэгэ злыылкак кт теывзрктурьп — рзччеткые дзккмз, лолучекиые зэтарлмк Нз различных урзккекиа длк дазлткэк Эзреэ~ ФЭФ Лзкаыэ йр тлоуллрозлллые хоиигои !191; О О О. х х х, ь ь л — зктлеримтнтзлькые дзккые. Дуг 217 ЯугУГ Три уравнения для давленая паров приводят в соответствнн с уравне наем (20) к трем различным значенням стандартных энтальпнн н энтропия, которые сведены в следующую твблнпу а, з шээ>, ккзл ноль 'Х Хгрзх ' дср, квл кель-'.грзх-' Эт Н (9991, кккл каль-' — 1,99 — 3,2Х!О-з Т вЂ” 2,0 — 2,03 Несмеяпов [5] Келли [17) Кубэшеэсхий [61 30,28 30,32 29,77 Удельная теплоемкость для жидкого алюминия состввляет7,00 калХ Х моль-'.

К-'! эта же величина для паров алюмнння известна более точно и равна Ср 4,97+ 1,2 ° 10з Т-' кал моль"т ° К т [11). Вследствие неопределенности в велнчане энтэльпии в Ср бессмысленно учитывать члены третьего порядка. О неопределенностн в велнчнне ен. Кривая, изображающая эту эавяснмость, также представлена на рнс. 1, По данным Келли [17) выражение для сьободной энергии нспарення нмсет зад 2.

Основы термодяивмики и кинетической теории газов Ь | 00 й$ эз 5035 5030 5ДЯ5 5070 грб лпублиы50анил бннлосн рлс. т. Стандартные ыллогы лсллрелие подлого ллеыллле, рессолсеооые Не сыееооеыы 151 оо олузллеоееолыы дел. оыы дееленле злрое. Зля давления паров других металлов характерна та же неопределенность, что и для паров алюминия. Данные по даиленяю паров и коэффициентам уравнения [!9), собранные в виде таблиц, опубликованы различными заторами [5, 5, 17, 20, 21). Широко пользуются картемн Хоннга [19), с помощью которйх можно быстро оценить давление при данной темпера.

туре. Зги данные приведены в табл. 2, н на них в дальнейшем мы будем ссылаться. Б. Кинетическая теория газов Микроскопическая модель процесса испарения основывается на кинетической теории газов, которая рассматривает газ нак систему, состоящую из большого числа атомов илн молекул одинаковой массы н радиуса. В большинстве случаев формой и внутренней структурой этих частиц можно пренебречь и рассматривать моленулы как упругие шарики, диаметр которых много меньше среднего расстояния между ними. Кроме того, предполагается, что молекулы находятся в состоянии непрерывного беспорядочного движения, стзлннваясь друг с другом и с окружающими их стенками сосуда.

По аналогии с уравнением для идеального газа, описывающим мзкроскопическое поведение газа, в микроскопической модели предполагается, что между молекулами, за нсключеинем момента столкнове. ния, отсутствуют силы взаимодействия. В соответствии с микроскопической моделью давление газа яз стенки сосуда возникает вследствие пере. дачи степке сосуда пмнульса от каждой молекулы при их столкновении. 1) Физический смысв понятий давления и температуры газа. Сущест. вует несколько более илн менее строгих выводов соотношения между макоскопическим давлением газа и кинетнчесной энергией молекул газа.

!усть частица имеет полную скорость л н компоненты скорости и, р н ю, взаимно перпендикулярные друг другу. 23 тальпии можно получить представление из рис. 2, на котором приведены значения стандартной зитальпни, рассчитанные Неснеяновым [5) из данных по давлению паров, полученных различнымн авторами в разное время. Результаты, полученные в последние годы, дают величину, близкую к 75 ккал моль-'. Следовательно, величины давления паров, приводимые Кубзшевскнм [6) и Хонигом [19), являются наиболее надежнымн.

Величина знтальпин, полученная нз уравнения Несмеянова для давления пэров, соответствующего точке, заключенной в скобки на рис. 2, находится в про. тиворечни с его утверждением о том, что наиболее вероятной величиной стандартной энтальпии явлнется 75 ккал моль-' (см. [5), стр. 433). ГЛ. 1. ВМУ14МНЕЕ ВЕЪЪаРЕаЕ ь о 4 о 4 о 4 о 4 ь о О о оооо«л лю Ь ЕС'ее« Ъ ЪЕЪ Сь лоооааьвл о и и э- саэ 4о~ оь ъъоъъма «44 44 ф Ъ Ф ю . Оаиа ило е ъ с3ью 4« с ( :.~ьа 4-'» О Юаее с ~$ш ~ оъъ есао и е аа а ь« оиоа «съ „Сесс-Ю ЭЬЬ В Ъ У- СЪСИ С С а!(31!11~1!1131 Яээфоъъъсеъъэфа юл аюи»юлоа эаэ сфе ъ лаЯФ ос еъ о О. Ф с ЪОСНИ~ э и и е э о О 3 й О и ° 4 е М м й О О.

Е ооооооооооовоооооооооооооооо«оооооооо оюлоиюеа РЗООИ«ьа«м«ьифаава» молю«лсъ а»иооа оооо аоф«оээлоаоил лао»аоаэм ° 4«и«ъ е «» еъ ъа 44«44 ъиа е» ее«» еъ и ооооа ооооооааьооаьооооооооьаоооаоооо иолоэчаололвлв«ам«во«оа»оваам ююаал л о а»ламаюМЬЛ»вила«»и»аллмюе а»о«м ао а«и« иа « и м«м ««« «ми«» ««» а « ОВОО «ООРРРЪЪОРИОРОЪЪО ФООО4Ъ ОООО ОРО ОООО ОО ф ю« аио вооюфа»»»»ааь«аа««ююю»юиьлоо фаоол и иоа»«лл»«о оо«амэиив»олллл ао м «« им « е ««м и « « ««ю « ю и-« раооооаоюаооаоооаоооа о аь«»»а»а«миллю»3 юэ ьо«а»аю»оьиь аиле афщлф3ол а оа» овала а лоо«ааааа»о«О и « «« и ««« и ию ю и и ~э — — е оаооофоо»ооо« ооюиоюо «оюооомааооооо« юю»»юо «аоомоэаамаэмюаю«ьеаи юю»»юоеа »оююиааэьооэю ов аааь»оалаоиоаоаиэо и и «ее 4 а ее « ос съао»с о аооаооь еооо.ъсь аоооос оо ооа« овье ьае семь 444,»4 е «ъс юф юоое 4 ое 4-ао» эа»аоиьиаоэлааола аа»а»л аоои»«л»Раве и « — и м и о аао ъъо оооюоюао о аюофоьэюьь ьаь 0 ° Фь» ъ«»О ФФФФФ ъ»»О с О» са ъ«ъаи Фа ъеой еиюис юмюал»льюи»«мамо«»а»«и ю» юа 3 о ъо о о о оо-ооьэ с оооо ас о оо»» р ало ааааиаолиюаоаа люи Фоэ юсъ а и »а»о ил л»фс»юю илию и»««ию«юофюс -4 -Е оюьй ьфааоиьаоаьюиоью«ьооооофмло»омою с е е а ооол еиье.-есюи«эс аооьа и»сеа ае с»ю о ь»имею л«ь»ю»мамо аа»оеа « о«ааф»а м И 44" аю еоооль оо«оооло о Рюаььосоооаеэае с ъо «а е оа 4 юо«»мое и аао е е ас юа.а ъ ее» аэоэ ««ла а фю и«« ьое«юо иеиюоьи ьаю и юэююоаооааоооааьо»33 иоо333ю мыла о о оь оооо аа аоьиа л33аоа«333а а а ааюэ и оооеоююа« ию оюи«э ю«еаю иа ое- све- оюаое оюе.о сое юа«ос еасаао «ф ° ааесв и»о лоом аоию» о амьию»фюмюфо«ююююьею юоф ъ О О ъофс сюс иь аьюи юьое еъеа«с««съ ооф орава»ааоа о эмаа о аоэоааооо« ю ю «и ию»» юмию оиооь 3 «м«ю ас еъо аэааюа ое оа соее еэоь а е се ооое о ' оайоюооьь еа «оьоооооо«4 юоа3оо оааа вава юе л моо«э юоававилова3а а ««ь аал»ю ооиааа»«олооо Ффои »о ооиаоэааоаооаоа юлоооа и« «юа элеаио юолеэоаа»ол »а»ьмюю о ала«ью»ааа «оов«алл» о«вою лаю« »ом ° 4 44 З «О О Свв с 4 у 3«3 Б "34с3майоцйофамм3мое.ъфх1-'-" ий иУ « О.

Оснояы термодняамнкн н кннетнческой теория гаэоа оолооооаооььоооьоооьоомооооооьь 3 СЧ» 3 ЪВ 4 Оас 3 4 "ЪСЪ 33 34«ЮЮС О ССФ бф Ьо по 3- »мп« опию »аооо с пьп ьаа Ъо 3 иа Вме 3 Ъ 4'4 СЧ О- оолоооомо оооооиооолооаолооьооа о» Оч 3 ОО 04 ФФОС С ьф Оас»ь О» пифа ьпюил лллаоеюю ильфа аьллплвпо ОСЧИЛ И 3 ПС4 ЛПП И С СС С аолооооилоиоооа . Вьиоаьооооооол юьиьюпьаплюиьлиьо-ю лл иа юо ьо ллв~ ф'Ои Ола 'бсчф О сасчюс ОО О 3 0 3 ЪИСЧВ И СЧ» О О оо ооо о о оо оооиоо лль о юо лоаюплл иьпеаюапеп люепюаило пс-Во а а ОС ОЛО Ьь О 3 ООС ПЪ- «3 0»МИ» С С ОС 0 С С П О вЂ” — О О ЛОООООО Ъль ОО ООЬОС Ь Лоаа ЪВОООЬ аб 34 3 обю 000 сс»лс,всю»-Ос Сс по чс »ОЛ 4 О сфб Ьб ЪО ° ф'сффбф ООЕФО и 3 -а и пи 4 с в и и ВПЛЛЬЬ О ООа С ОЬ О ОЛОЬОЬО ллпао 34 чсо -о -поьб 03 04- па л ьаа пс — п с Д вЂ” -3 — С 30— Фоло лиоьапал ллоаооьф «»О О ал««л ю»сч с Ою«- и спю О »ь лал 03 о 03 л 40-съп«оа ъ ОО »ь бьь С«О Ъ\ С«0 Ф ОЬ Оф с и и — Π— О оопоаао аосч.саь «4 'СОО с ООВОО ОИОЛ ОаОО ОООФВОЛОЛОЛОООП СС Ъ ОЮ ЬСООСО»\«ОСОЪ о 3 л »лл а Ъоальи 30 ьас»ьа па и и -с с и с О аолоооо-ваоал «ааь ооьобоооаолоб ъ ои «лабас Фа«» ъллс — »ао ь»-иа ь ЬС Ч'С Лб б'0 ЪФПОС ОО ПФИ Ъ ОВ»И 3 с с сч с и и с« — О о мбс элльиолооаььоаоиооаим ююоюлиьль ьбьь юаипюа ифп Опии илиею льиа пблоллио с с и и Юь ЪО ОЬО баб ФО«»СЧ П и с ллеооо С В$ ЪЬ Ъ С«м ос лалоОлоиьоооамо Оофоеооо Ф ъфф' ° ъф Феба Ф ач'Фсч 3 ВВВ И 34«0 О- 004»ЛЮИ »»0»ПЮО ЪП Ю 0 с с сч Ва аьаоллаболаь ооопилалбапоооа лфблоолм Флфьилилпьаьпьлл алли свчоьи »е поф амс»а»иао »иоьаиоа и 44 'ОО40«б Олф ЧОО О »лоФООО'бсч Оп ОФО ЪО ОО О влиллбь-ваеьапелольаиа ьоо моао ЛЛПЮЮ ЬПЛЬПЬП И ВЮИЛОПИЮЬ ОЛО и сч и 1 аооаао ьааолпооааооаь апиаоьаб Фь с с фоба Олс«а О 0 0 со ис Вс ч»юсч О О 0 О О Ъ 0 ОЬФМЛО ЪФ С'0 ИО ПВИ Офп ЛФ'Ч'Оиф ° и оьпафоппллиол Фльооол аоилпоооа е ььльлп Опофппиоллплааьполиоаа ОЮИ» ЮЮ О '«ВОЮЮ ОЮ'С'040 30»И'ОЮС»Ю ОСОЧ'СЪО Ъ 0 оо а ОЮ»33 3 аоп» ФИФ 1111 ! 1! а оооо ЮСЪ»Ч' Ос» 040 0 03 О О 0 С О 00 ° кк- оло ьоо аоьвип И 040 40 «О офиаос М 44 1111111 О» П« С ью иоо Ис Ва СЪ ЬС»Л ОС Ь И 03 ЯМЯйос»ЙЕ$йййскгсскйггйд Цаавй~й03~и П ВФО ОО иолооьо аа лфаа м и м 11111! ! ПО ОВОС О М» ЬОООО ЛООПС »П 04 И И 44 ПМИ П И 3 О й к 4 Гл.