Майсел Л. - Справочник - Технология тонких плёнок

Технология тонких пленок Справочник Под редакиией Л.МАР1ССЕЛА, Р, ГЛЭНГА Перевод с английского иод редакиией М, И. ЕЛИНСОНА, Г. Г. СМОЛКО Москва «Советское радио» 1977 бфО.3 Т36 УЛК 539.216.2.002,(031) Техногогни тонких пленок (справочннк1. Под ред. Л. Майссела, Р. Глвнга. Нью-Йорк. 1970. Пер. с англ. Под ред. М. И. Елинсоиа, Г. Г. Смолко. Т.

1. М., аСов. радно», 1977, 664 с. Справочник по технологии тониях пленок — наибгщге современное и фундаментальное издание, посвященное тонким пленкам твердых веществ, находящйы широкое приме. пенне в мнкрозлектроиике, оптике магнитной технике, СВЧ н космической ~ехннке и др Справочник нздаегса в двух томах. В т. 1 включены гл ! — 7, и т. 2 — гл. 6 — 21.

В т. ! справочника читатель найдет исчерпывающие сира. вочные данные по различным методам получения тонких пленоя (техника высокого вакуума, физический механизм распыления материалов под действием ионной бомбарач. розки, методы получения пленок путем ионного распыле. пня); технологические рааъемы, а также параметры необхо. димой анпаратуры.

Книга является уииверсильным справочным пособием для широкого круга инженеров н конструкторов радиозлектронной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и раднозлектронных алементоа, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующнхса в области микрозлектроники, физики н технологии изготовленна тонких пленок. Редакции литературы ио влеитроииой телик!ге 30407.038 г -ивет~)- м ~~ © Перевал иа русский язык, Иадательство зСоветсков радист, 1977 г.

ОГЛАВЛЕНИЕ Том 1 7 8 Преднсловне редвкторое русского паданка Преднслоянв Часть ! ИЗГОТОВЛЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК Г л в в е 1. Вакуумное кспвоеяне. й. 0 1 а п Я (перевод Г. В. Сгле. валова) 9 Г л в ° е й. Техника высокоге вакуума. й. 0!а п б, й. А. Н а ! пг. м о о б, е. А К из 1з (леретод В. И Покалякала)..... 175 Г л в в в 3, Фавнческнб мехвннам распылевня материалов под дей станем нонной бомбврдпровкв (ванное расныленне). О. К. 97 а Ь- п а г, О. $.

Д п б е г з о п (перевод 4. Д. Омередмга) . . . 859 Г л в е а 4. Полученне плеюк матовом юнкого рвсвылевня, Ь. 1. М в ! а з е ! (лерезод 4 . Д. Оасередоеа) . . . . . . . 495 Г л в в е 5. Осажденне тонких пленок хнмнческпмн методамв, О.

5. О е пг р Ь е 1 ! (нерееод К). Д. Бологлоескоео) . . 461 Г л в в в 6. Подиомкв для тоннах пленок. й. В г о м п (лернюд В. В. Русакова).. 491 Г л в е в 7. Ягормпрояанне рнсунвов в тонвнх пленках. й. 0 ! а п б, 1. т7, 0 г е й о г (перевод В. Д. Же*минского) ....... 558 Предметный указатель 653 Том 2 Предкслоеке редекгорое русского падения Прсднслоене Часть П, ОСОБЕННОСТИ ТОНКИХ ПЛЕНО(4 Г л а в е 8. Конденсапня, образование зародышей н рост топках пленок, С А М е и о е Ь з и е г (лерсеод Т Н Паискер!... 7 Г л в в е 9. Исследование структуры пленок.

8. М в б ег (лервюд Л 4. Сальникова).......,...,... 67 Г л е в в 10. Рост н структуре монокрястзллнческнх плеюк. 1, Н. К Ь в п (перевод Е 4. Королевол) ....... 97 Г л а в в 11. Толщина нхнмичесвнй состав пленок. )У. А. Р 1 ! е Ь ! п, $. 1, Е а п ! п (перевод В. В. Баглаеила) ....,.... 176 б Часть П!. свопствд тонких пленОк Г л а в з 12. Механические свойства тонких пленок. О. 5. С з гп .

р Ь е 1 1 (перевод Л. А. Сальникова), . . . . , . . . . . 246 Г л а в а !3. Электрические свойства металлических тонких пленок, 1.. !. М а 1 з з е ! (перевод Ю. И. Калашникова) .. ° ° 305 Г л а в а 14. Прохождение тока сквозь тонкме диэлектрические пленка. 3. О. 5 ! га гп о п з (перевод Л. А. Авдеевой), . 345 Г л а в а !5. Пьеэоэлектрическне свойства н льезосопротнвлеине пленок.

Ы. Р. Р о з ! е г (перевод Т. Н. Никскер),... 400 Г л в в а 16. Двэлектрвчесане свойства тонких пленок. Р. Л Н а гг о р, П. 5. С а т р Ь е!! (перевод Ю. И. Калашникова! ° ° 433 Г л а в а !7. Ферромаппгтные свойства п,телок. М. 5. С о Ь е п (перевод Л. Л. Голкки). 477 Часть ! Ь(. ПРИМЕНЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК Г л з о я !8. Тонкопленочные резисторы. Ь, 1, М в ! з з е ! (лере. вод В. Н. Заболоцкого, Э. А. Маркарьякца) .

. . . . . . 578 Г л а в а 19. Тонкопленочные конденсаторы. Р. О е г з 1 е о. Ь е г й (перевод З. А. Маркарьянца) . . . . . . . . . . . 623 Г л а в а 20. Тоннне сверхпроводкщне пленки н устройства на нх основе. й. Е. 3 о у п з о п (перевод Ф. )7. Надя) ° ° 665 Г л а в а 21. Тонкие пленки в интегральных схемах. 1, В 1 е с Ь, Н. 5 е 1! о, 1.. тг. О г е й о г (перевод З. А. Маркарьянца) ..

723 Предметный указатель ............ ° ° .753 ПРЕДИСЛОВИЕ РЕДАКТОРОВ РУССКОГО ИЗДАНИЯ Предлагаемая читателю з русском переводе книга «НадЬоо(г о! ТЫп Гйгп ТесЬпо)обуз является первой в мировой литературе книгой энциклопедического характера, посвященной способам получения, формированию сгруктуры, физическим и химическим свойствам, а также многочисленным практическим применениям тонких пленок. Энциклопедический характер проявляется прежде всего в том, что в книга последовательно рассмотрены асе классы тонких пленок (металлнческие, полупроводниковые, днзлектрнческие, пьезоэлектрические, ферромагнитные н сверхпроводя.

щие) и все существующие типы устройств на основе тонких пленок. Прн этом особое внимание уделено злектронным и в особенности микроэлектронным устройствам. Кинга содержит данные кзк по теоретическим вопросам, связанным с образованием пленок н кх физическими свойствами, так н по используемым методам формирования пленок и применяемой для нх получения аппаратуре. По своему замыслу книга является справочным руководством, причем многочисленным таблицам, графикам н другим справочным материалам предпосланы краткие теоретические сведения н подробные комментарии. В книге имеется много ценных практических рекомендаций.

Своим знциклопеднзмом н объемностью справочного материала предлагаемая книга существенно отличается от монографий, посвященных тонким пленкам книги Л. Холленда, В. С. Данилина, Н. В. Слуцкой, К. Чакра и др ). се разделы книги написаны на высоком научно.техническом уровне. Йз вышесказанного ясно, что книга будет крайне полезной для ниже. перов и научных работников, занятых и области получении н применения тонких пленок, и для лнц, готовящихся к такой деятельности. Она, не.

сомненно, явятся настольной книгой не только для специалистов указан ного профиля, но и для специалистов смежных областей. В процессе перевода книга встретились существенные трудностя. Одне нз них заключалась в значительности обьема, сокращение которого за счет исключения второстепенного материала оказалось безрезультатным.

Однако в ней все же исключены две главы, посвященные пленочным активным ° лементам (гл. 20) н устройствам иа основе ферромагнитных пленок (гл 2|). |!ерзая потому, что опа почти полностью повторяет главу под тем же незнанием а книге Л. Холленда «Пленочная микроэлектроника«. Вторая показалась нам несяолько односторонней, ибо в ней отсутствуют новейшн» устройства на основе полупроводниковых и диэлектрических ферромагнитных пленок.

Друга» трудность была связана с терминологическими аопросани. Это объясняется тем, что во-первых, в ряде случаев терминология еще не установилась в, во.вторых, тем, что по ряду вопросов имеетсн некоторое расхождение между американской н отечественной терминологией. При переводе книги мы использовали отечественную терминологию э тех случаях, когда отечественные и американские термины полностью ° квнвалентны. В остальных случаях мы сохранили амеряканские термины со ссылками на соответствующие ГОСТЫ по терминологии. Это способствовало сохранению общего стиля и характера книги. С другой стороны, указанные ГОСТЬ| в связи с расширяющимся обменом научной литературой стали более доступными.

Переводчики отдельных глав книги указаны непосредственно в оглавлении. й). И. Елиисои, Г, Р. Смолно у ПРЕДИСЛОВИЕ Настоящая книга задумана как подробное руководство по технологии тонких пленон и введение в различные аспекты физики тонких пленок.

Научно-техническое направление, связанное с получением и применением тонких пленок, в последнее десятилетие претерпело стремительный рост и во многих отраслях современной промышленности в настоящее время занимает ключевые позиции. Книга содержит исчерпывающую информацию по вопросам, связанным с этой областью науки н техники, н будет полезной для научных работников, занятых в этой области, а также для специалистов смежных областей.

Она может также служить учебным пособием для студентов старших курсов и аспирантов университетов, поскольку в ней широко освещаются основы н принципы вакуумной и тонкопленочной технологии. Книга состоит нз четырех разделов. В первых двух рассматриаа1отся соо~ветствснио способы получения н природа тонких пленок. Третий раздел посвящен свойствам пленок, а четвертый — нх практическому применению. Последнее рассматривается, в основном, применительно к электронной технике, в иоторой тонкие пленки в настоящее время являются элементами устройств крупносерийного производства. Для чтения книги необходимы достаточный уровень математических знаний н энакомстио с физикой твердого тела.

Современные концепции в книге рассматриваются с соответствующим общефизическим введением. Несмотря на то, что при написании книги было стремление использовать наиболее современный материал, однако не следует забывать, что тонкопленочная и вакуумная технологКн находятси в состоянии стремительного развития. Кроме того, обширность задачи не позволила включить весь объем материала, желательный некоторым из читателей.