Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Технология и оборудование микро и наноэлектроникиДЗ вариант 17ДЗ вариант 17
2022-05-312022-05-31СтудИзба
ДЗ 1: ДЗ вариант 17 вариант 17
-42%
Описание
Не только копировать, а нужно понимать!
Компоновка автоматической линии для формирования пленочных структр микросхем методом молекулярно-лучевой эпитаксии.
1 – унифицированный технологический камер-модуль
2 – транспортный коридор
3 – шиберный затвор
4 – шлюзовая камера
5 – реечный транспортер
6 – шибер (затвор)
7 – шибер (затвор)
8 – магнитный манипулятор
На составленной циклограмме изобразены длительности рабочих и холостых ходов.
Для повышения цикловой производительности установки, необходимо уменшить длительность рабочих ходов , значит надо использовать осветитель (в технологических камер-модулах) хорошей мощности с оптимальной длиной волны.
Характеристики домашнего задания
Учебное заведение
Семестр
Номер задания
Вариант
Программы
Просмотров
48
Покупок
0
Качество
Идеальное компьютерное
Размер
478,29 Kb
Список файлов
- 1.docx 478,29 Kb
Привет всем! Я автор на Студизбе. Я надеюсь что, не только дам Вам файлы с ответом но и знание. Не только копировать, а нужно понимать! Вставьте 5 звезд и позитивные комментарии сразу дам Вам подарок