4 ЛР (5 примеров заполненных журналов все 4 лабы ФХОМНТ (8 сбор))
Описание файла
Файл "4 ЛР" внутри архива находится в следующих папках: микс3.0, 4. PDF-файл из архива "5 примеров заполненных журналов все 4 лабы ФХОМНТ (8 сбор)", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "формирование вакуумной среды и измерение её параметров (фхомнт)" из 3 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. .
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
•московский rосvдаоственный технический университет им.н . э. Бауман~•Кафедра ИУ-4« Проектированиеи технология производства ЭА»Журнал••лабораторных работпо курсу: «Физико-химические основымикро- иVнанотехнологии»..Для студентов приборостроительных специальностей20 м•учебный rод. t1... fJ п.Студент ~/~ ,JJUlvЬ Иf!ttPvГ ()~-Группа(фамилия, и.
о.)Преподаватель ?rottt {(Af Cf /J; ./7. Допуск к экзамену (зачету)_(фамилия, и. о . )...'(число)Подпись.__ __.•, )tfl__·"'••••н/ J.. \Москва2018•.•Отчет по лабораторной работе №«ФОРМИРОВАНИЕ ВАКУУМНОЙ СРЕ [lЪI И ИЗМдатаОценка•4ЕРЕНИЕ ЕЕ ПАРАМЕТРОВ»подпись(max 5)i!.••••п,.1. Краткий конспект теоретической части (отвметодического пособия)еты на контрольные вопросы•••~1i·••5.•6.•(1•••12t1t:~~~ ~лf}ftY~ 1 } ~ ~13..L- - --j() ~••~ rk « ~ tw(.-t,t,{,{-М. uii,9- ·ЖА tцц,,L,хо .'•- - --•1J2. Рисунок или фотография вакуумной установки МANTIS или ВУП-SМ-_-_-_-_-_-_г--.--__ь.:--- _-_-_-_-_-_ -_-_- _-:_-_-_-_-_-_-_- _-_-_-_-_- _-_-_-_- _-_-_-.....,...,._-.
- ,,- _-_--_- _-_-_-_- _- _-_-_-_-_-_--:_-_-_-_-_- _-_-_--:_-_--' -;__-_-_-_-_-_ -_-_' [:].·~,·w..- ~~·, ,"')::1[-~.;.__,_.'411_;;1·•·•.·t· l0-~11__,·-L" -....!!_J•.(i.,.,•·•..'!lt'1..f.l~•------- -~--~-,~·--- ---- ---------- -- --- -..~.1••3. р•~-вoii.: сте8.]а д.ш1 ■сслt.:1овап11 прuцесса по.тучеваява~j1·ма..0k,r-,ruz,11Н><16.,,-,yo,IC,"* '~<;•/:.с.( «,,,~71"•1·~11li---•: ..... ,f~'~•..•••.';.,....ff••.,•1't,•..5. Таблица с экспериментальными и расчетными данными•- ., r /\ТаблицаN°- 1 .
Изменение давления от времени для объема Vl - 1J.№ппВремяt, сДавление Р,tg(A)мм.рт.ст123о';/ Чf19 0;.l._бil..;44567891011l,';1-.2.{'+ч ,f.§)4616f ol4 'Sf 3/,j ? чц ':> 'у10и.r;.3 -?3332•Быстрота откачю1 насосаSн, л/с() or.3~1{5?{:у , 1/ со~рч6 оj1Ч.9112. f, J:z1,(Производительность насосаQ, мм рт.
ст. · л./с••о ()ь/00(!,J5 о39Of 00 О:/ ? .l!.J1.2,о 1?4,;__ ь1tJ, 0 ,(Ч1.? OltY.z. ,;,,rп.О, О -3 §lt ,tl, 0-j fI Ь01 7-rJ,- . Изменение давления от времени для объема V2 ;; 1ЛТаблицаN°2Nопп__ ,Время t, с ..ДавлёниеР,tg(A) --Q,мм.рт. ст12о3456789-Ч~~- i66 +)оI.?Jr{ l._ll9о<. 6101140мм рт. ст.·.;.J;1)r;..
r!U[r~ (,LJJ ч r/о,014 О/ '((,,lj,l_J /,/, 13~ goЦ fоil oр( ч"J5· л./сБыстрота откачки насоса -•tJ.о. I:;'/Р,,!.2fJ б ~о, ои ч'f1), О,(~ц(J,/11.W' г•QI1.( 0о(-·Sн, л/сОlfь3' 1 .,•Производительность насоса••o,2..f'o,rtJ(} 0 1.rТаблица№З- . Изменение давления от времени для объема VЗ№пп'jВремяt, сДавление Р,мм.рт.ст1234567891011tg(A)Производительность насосаБыстрота откачки насосаQ, мм рт. ст. · л./сSн, л/с•••.•.••••r•6. Экспериментальные графики••soo ({ /'fft rr.c,т.11,7SO700650600trssosoo•4S0•fl•400о246810t.,e,800 Р, 1111 f 1'. С7~1{750700бSО600fj550soo•450••-400102040Ю1- ~1~~,_ . _,,1,f'I••••V''"'1/.,,.~••••.,'•1•Контрольные вопросы1.2.3•4.5.Что такое вакуум?6.Что такое производительность насоса? Для чего необходимо знать7.8.9.10.11 .12.13.Назовите типы насосов, применяемых для получения вакуума?В каких единицах измеряется вакуум?Какие средства измерения разряжения?В чём различие схем получения низкого и высокого вакуума?Перечислите свойства вакуума (с позиции реализации в нем технологическихпроцессов) :производительность насоса?Для чего применяется форвакуумный насос?Для чего применяется турбомолекулярный насос?Из каких основных узлов состоит установка МANТIS?Какие технологические операции выполняются на установке МANTIS? ·Из каких основных узлов состоит установка ВУП-SМ?•Для чего используется установка ВУП-SМ?.'••.