Неофициальный отзыв 4 (Экспериментальное исследование источника вакуумного ультрафиолетового излучения на основе ртутного разряда низкого давления с высокой плотностью тока)

МИНОБРНАУКИИКСИИ Ученому секретарю диссертационного совета Д 212,157.12, доценту Ромизевичу Г.В. Направляем отзыв на автореферат диссертационного исследования Шункова Ю.Е, на тему «Экспериментальное исследование источника вакуумного ультрафиолетового излучения на основе ртутного разряда низкого давления с высокой плотностью тока», представленного на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.09.07 - Светотехника. Приложение.

Отзыв на автореферат на 2 стр. — 2 экз. Проректор по научной работе М.Н. Махмудов ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСтВЕИНОЕ Б)О гОКЕтНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧ1 Ез«ЛЕНИЕ ВЫС!ПЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ «Рязанский государственный университет имени С.А. Есенина» (РГУ имени С.А.Есенина) Саободы ул., я, 46, г. Рязань, 390000 Тол, 14912) 281435, 280389 Факс: (4912) 281435 Е-нга!1; гзцгеогзгьсда.гн Ьггрдвм:гг.ьз~~ сг1н,гн ОКПО 02079997 ОГРН 102620126830! ИНН 623!016055 КПП 623401001 ,"9" 7У „Ж;<.": №; 3' -- .:-~~У На№ от 111250, Москва, Ф1 БОУ ВПО «Национальный исследовательский университет «МЭИ», ул.

Красноказарменная, д. 13, ауд. Е-513 отзыв на автореферат диссертации Шун кона Юрия Квгеньевича «Экспериментальное исследование источника вакуумного ультрафиолетового излучения на основе ртутного разряда низкого давления с высокой плотностью тока», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.09,07 - Светотехника. В диссертации Шунковым 1О. Е. решается актуальная задача, исследования генерации ВУФ излучения ртутным разрядом низкого давления с высокой плотностью тока, В УФ излучение (185 нм) находит применение в технологиях, направленных на решение различных научно-технических задач (ад~апсей охЫапоп ргосезз — АОР процессы, обработка полимерных соединений и др.).

При этом, генерация ВУФ излучения мощными ртутными лампами с высокими плотностями тока разряда (>0,4А/см ) мало изучена как г экспериментально, так и теоретически. В качестве научных положений автором были предложены методика и результаты измерения потоков и КПД генерации ВУФ излучения. Диссертантом получены значимые новые результаты: — методика измерения потоков линий 185 и 254 нм ртутной лампы низкого давления с учетом изменения характера пространственного распределения излучения в процессе эксплуатации, без прямого измерения кривой силы излучения (КСИ); — зависимости мощности и КПД генерации ВУФ излучения ртутного разряда низкого давления в присутствии смеси инертных газов (Хе-Аг) от частоты разрядного тока (10-80 кГц); — зависимость мощности и КПД генерации ВУФ излучения ртутного разряда низкого давления от состава и давления наполняющей лампу буферной смеси инертных газов (Ме-Аг) при работе с высокими плотностями разрядного тока, при этом, впервые установлено, что наибольший КПД генерации ВУФ излучения достигается с использованием смеси из 30'.4 неона и 70',о аргона; — зависимость мощности и КПД генерации В УФ излучения от плотности разрядного тока в диапазоне 0,5 - 1,2 А/см .

Полученные автором результаты использованы при разработке газоразрядных источников ВУФ излучения, что подтверждается актом о внедрении. Заслуженный деятель науки и техники РФ, дфмн, профессор, заведующий кафедрой общей и теоретической физики и МПФ Рязанского государственного г' университета имени С.А. Есенина В.А.Степанов 18.05.2015 г.

Работа не лишена недостатков, к которым можно отнести следующие: — недостаточно внимания и места уделено обсуждению результатов измерений, которые и составляют научную ценность диссертации; — в тексте диссертации присутствуют некоторые шероховатости стиля, не всегда выдержана орфография. Работа Шункова Ю.Е. может быть квалифицированна как законченное научное исследование, удовлетворяющее требованиям ВАК РФ, предъявляемым к диссертациям, представленным на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.09.07 Светотехника. Автор диссертационной работы Шунков 1О.Е.

заслуживает присуждения ему искомой ученой степени кандидата технических наук. .