Учебник-9 (Условие второго домашнего задания (циклограммы))

пря>кеиность магнитного поля на равновесной траектории состав- ',;;:" ляет 100 кА/м (8000 Э), что позволяет разделять пучки ионов в ' диапазоне масс 1...200 а. е, м. на промежуточной энергии ионов -... 15 кэВ. Питание обмоток электромагнита осуществляется от ста-: билизированного источника питания. В магнитном поле устройства сканирования 3 ионный пучок ",.' отклоняется на определенный угол. Поскольку отклонять необхо-:: димо пучок ионов, одинаково заряженных и имеющих одинаковое ': значение импульсов, то угол отклонения будет зависеть только от;: напряженности магнитного поля и его протяженности вдоль тра-,' ектории ионов. Форма, размеры полюсных наконечников и межполюсиого зазора обеспечивают однородность магнитного поля во,', всей области его действия на ионный пучок.

Системы ускорения 5 выполнена в виде одч>озазорного проме- 1 жутка, образуемого двумя нзолнрованнымн друг от друга щелевыми электродами. Первый электрод находигся под потенциалом земли н представляет собой вогнутую диафрагму, проходное сече-, ние которой можно изменять в зависимости от геометрии сечения '' пучка. На второй электрод подается ускоряющее напряжение, он:,. имеет прямоугольну>о форму с вогнутой входной гранью, В приемной камере 10 размещен контейнер 11 в виде барабана,, на котором устанавливаются подложки 8. Они располагаются в сменных кассетах; !00 подложек 075 иаи 54 подложки Я!00, нлн; 24 подложки к>150 мм. Для подготовки подложек к имплантации:.

используются нагреватели 12. В процессе легирования барабан ' непрерывно и равномерно вращается с помощью привода 13 с час-, тотой 20 мни-'. Этим обеспечивается механическое сканирование:! подложек в горизонтальной относительно пучка ионов плоскости.;. Измерение дозы н контроль равномерности легировапия осуществляется универсальными дознметрами 9. Для настройки ионной ' оптики служит подвижный цилиндр Фарадея 4. Вакуумная система установки выполнена на б>азе высоковаку-:; умного паромасляиого агрегата АВП-250(630 и обеспечивает тре-: буемое разрежение в зоне источника ионов, зоне пролета ионного; пучка и в приемной камере. Для улучшения вакуумных условий в '„ приемной камере применяется заливная азотная ловушка 6.

Вакуумный объем приемной камеры отделен от других объемов плоским затвором 7 шнберного типа с проходным сечением 120Х .', Х400 мм. Установки ионной имплантации, предназначенные для легпрования больших и малых доз ионами высоких и низких энергиш,;. групповым илн индивидуальным методом, отличаются взаимным.' расположением функциональных элементов (рис. 5.2). Так, наноолее распространенным типом являются установки с системой:.

ускорения 5, расположенной после масс-сепаратора 3 (рис. 5,2,а)," т, е, осуществляющие ускорение уже отсепарированного, изотопно. чистого ионного пучка. Сепарация относительно низкоэнергетичес-, 70 .