Учебник-19 (Условие второго домашнего задания (циклограммы))

18 и блока собачек 17, перемешение которых осуществляется гид.:;~ роцнлиндром !6, Такой поворот возможен благодаря использова-::( нию обгонной роликовой муфты 19. Точность угла поворота обес- ", печивается применением двух собачек, одна из которых предназ-:: начена для поворота храпового колеса !8, а другая для его фик- '. сации. Подача подложек в рабочую камеру и их выгрузка производится через люк в стенке камеры 1, который открывается и закрыва- ': ется с помошью двух пневмоцилиндров 8 и 14. При открытии люка: сжатый воздух сначала подается в цилиндр 8, шток которого че- . рез систему рычагов отводит крышку люка. Затем сжатый воздух подается в цилиндр 14, н крышка поднимается вверх, освобождая доступ к внутренней полости камеры 1.

С помощью манипулятора устройства загрузки осушествляется автоматическая загрузка пластин в рабочую камеру из загрузочной кассеты 22 (рис. 5.10,б) и выгрузка обработанных подложек нз камеры в приемную кассету 24, Манипулятор состоит из пневмозахвата 7, который с помощью каретки !! может перемешаться на расстояние до 320 мм по направляющим 9.

Движение на каретку 11 передается через скользяшую опору цилиндрического зубчатого колеса 12, которое обкатывается по неподвижно закрепленному зубчатому колесу 10. Обкатка колеса 12 производится благодаря соединенному с ним водилу 13, которое приводится в движение через зубчатую передачу электродвигателем М!. Длина перемещения пиевмозахвата с подложкой контролируется бесконтактными фотоэлектрическими датчиками. Электродвигатели МЗ, М4 и ходовые винты 25 служат для перемещения кронппейнов 27, на которые устанавливаются загрузочная 22 и приемная 24 кассеты. Для транспортировки подложек из кассеты к пневмозахвату предназначен пневмолоток 23.

Перемен!ение пластины по лотку осуществляется с помошью воздушной подушки. В режиме загрузки кассета 22 опускается на шаг, подложка выкладывается на лоток 23 и с помощью воздушнои подушки перемешается по лотку до упора 26. Попадая под пневматический захват 7, подложка притягивается к нему, вместе с захватом вводится в рабочую камеру 1 н опускается на электрод 4. Для загрузки следующеи подложки пневмозахват 7 возвращается в исходное положение (пад пневмототком 23), электрод 4 поворачивается на заданный угол, кассе~а 22 опускается еше на один шаг и цикл загрузки повторяется.

После заполнения подложками электрода 4 крышка люка с помощью ппевмоцилиндров 8 и !4 закрывается и производится про цесс травления. Выгрузка обработанных подложек осуществляется перемещением их с помо~пью ппевмозахвата 7 нз рабочей камеры па пневмолоток и по нему в приемную кассету 24, которая периодически поднимается вверх на один шаг. Групповая обработки подложек в установке плазмохимическо- 90 .