Учебник-1 (Условие второго домашнего задания (циклограммы))
Описание файла
Файл "Учебник-1" внутри архива находится в следующих папках: Условие второго домашнего задания (циклограммы), Учебник. PDF-файл из архива "Условие второго домашнего задания (циклограммы)", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
ВНЗ, Рабочая зона карусели закрыта съемной крышкой иэ органического стекла. Частота вращения карусели 0,5... 5 мин '. Шпиндель представляет собой цилиндр 3, перемещающийся в станине на шариковых направляюгцих 2. На наружной поверхности цилиндра нарезана трапецеидальная резьба, ввернутая в гайку червячного колеса 4, Подача шпинделя по высоте осуществляется вручную маховиком 5 через червячную пару либо автоматически от электродвигателя 6. Для предварительной выборки всех осевых зазоров шпиндель оттягивается вверх противовесом 1, вес которого на 250...350 П болыие, чем вес подвижной части шпинделя.
Внутри цилиндра 3 на высокоточных шариковых радиально- упорных подшипниках установлен вал шпинделя 14, на котором закреплен чашечный алмазный круг !3, Вал приводится во вращение через цептробежнук> мягкую муфту 15 электродвигателем 16 типа П-42, питаемым током высокой частоты. Частота вращения шпинделя составляет 9000...14 000 мин '. Смазка опор шпинделей осуществляется масляным туманом, который создается внутри станины специальным устройством.
В нижней части шпинделя имеется устройство для подачи охлаждакицей жидкости в зону шлифования через внутреннюю полость чашечного алмазного круга. О>водится охла>кдаюц!ая жидкость с верхней плиты станины. В станках плоского >плифования СПШ-1, СПШП-!, МШ259 шпиндели имеют частоту вращения около 3000 мнн ', карусель— 200...
400 ми>г ' Пластины обычно наклеиваются на блоки, устанавливаемые на карусель. Алмазный круг прижимается к пластинам весом шпинделя. В зону обработки подается смазываю ще-охлаждающая жидкость, В новом поколении станков этого типа возможна установка пластин на вакуумные присоски. Так, в станке МКВ-1х600 фирмы Оеог~» М61!ег (ФРГ) стол имеет вакуумные присоски по всей его площади, что позволяет резко увели пыь шсло загружаемых пластин и соответственно производительность станка, При диаметре стола 600 мм одновременно загружается 36 пластин диаметром 75 мм.
Диаметр >алифовального круга составляет 300 мм. После шлифования перед химико-механпческим полированием па пластине снимается фаска, необходимая для предотвращения сколов граней прн ее последующей обработке н транспортировке. Фаска снимается при промежуточном травлении или на специальных автоматах снятия фаскн, находящих все большее распространение. Конструкция автомата снятия фаскн изображена на рис, 2.13. Автомат имеет прогрессивную блочнэю конструкцию н состоит из четырех основных узлов: механизма загрузки 1, механизма шлифовки 9, автооператора 7 и механизма разгрузки. Конструктивно механизмы загрузки и разгрузки одинаковы н могут применяться в любом оборудовании, где требуется пластину нз кассе- 31 .