proektirovanie_tekh_protsessov_chast_2 (Шульга В.Г., Данилов И.И. - Проектирование технологических процессов изготовления интегральных микросхем)

УЛК 62! 382 8075 8! БГК 30 88 Ш 95 Ровен.юнтьг ЕИ Ем!он Е Б Сохозое Шумна ВХ., Данилов И.И. Ш9з Про кгггроаазшг тсхгголггп1сскнх пхнюссов ннюонмппн юг езрыгыып микро х м. Уяеопос посей ~е но кута! *Техз олопзю ориборос~роенггя» — т1 П, Опрс,м.нннс зсмгзлогюгескггх парахгюров х~схаюггсског! о05рабоын поз.ю ск июепзапмых микросхем М Изз-во МГ7У нм П й Б гунны, 2002 — 2'*.

в ~ 15Вг" 5-7038-2071-5 тг, зг х.а 37!К 82!.382!075л! ББК 30Ы !. ОПРЕДЕЛЕНИЕ РЕЖИМОВ ОБРАБОТКИ В соответствии с нертсжом кремниевой пл руегся се Лнамотр и форма кромки, профиль к мн техюогескнма уславнямн может бань зала трапепснлгюьпым Лля олнавременною обсе!ге ров применяют обраб якг кромки пластинь по ни!но из риоунка обьем материала который н кромки плаюинм, опренеыатся плон!аваль гргггз !ВНЯВ! где Я, — расстою ие от нензра шгастнпы Ло уры ЯЯСЦЕА Плошал! фигуры 5„ВВ, опрсвелюоз по ф Н!4! — лН! ~ВГЯЕА юе Н вЂ” рзлнус нрофнзн кромки пластины, края нсхолной п.юстины ло вснжза обраб панн !.— г, г Н л !месь г, и г — рагнусы иготовкн и готовой всьшо! Знаяенис Я опрелсннюг по бюрьгуле с.

8НЯ 47Н. г,гН 8Н гас Я=» — г — Н Выражая сбьем у!жалемого слоя терез наст румепта н детали, иолу шем ы„гй»Я аП а — ! ЗМ2В О.12 — о,аа гэут — в,а7 и а Лабегаяа )х„ Д; — ~~ 11С Г»а И М вЂ” ЧашатЫ ВРаШЕНИЯ ИНСтРУМЕНта И Н.игознязм, Саат1я1а шю. розга, 1 - зуго.1 коншьта ннсцзуиецта с пластиной в .шпш.1н моьясп~ времени, ркц к — коэффициент иятеисивности н эяяппяя ашш матери ~ 1а л1астипы при обработке ашазнмм ином Ряхзсгнг М ЯШ 1ИШК Я ИюяаЛШУЕ1СЯ В Лаюшы С,г)яас ДЛЯ ОПРЕДЕ- ниша м1кяию,а на11 па п ~я з, шх как при обработке ыа конир. лм м1о ь,,»аи* агм бзлуз обеспечивать звданньш сьси мзцзршпэ пюхзшпд и п1 и О п,шсй лшзсльностп операции).

В табл 1 приведены зиаюния козффидгшнтг К и зависимости ог разяяера элмазнага зерна 1я конценграпии алмэзяых зерен для ипацзумеша на медной связке прн обработке кромки пдаатины лиаметром 200 мм и толшиной 700 мкм с силой примнмя 0,7 Н. 2. ОПРРЛЯЛЕНИЕ РЕЖИМОВ ОБРАБОТКИ НА ОПЕРАЦИИ ШЛИФОВАНИЯ Основными фактарзмы. аггрезеляпошими тошасз» абрааотки и калитва обработанной поверх 1ости, явля1аюя характеристики аарашвных материалов гззазьяер абразивных зерен, роз абразива, сооп ошепие шердай и жидзюй состааляюшнх в абразиаыой счсгмнзпи и чр) хюясмэзичесю с,1арамешы пронесся 7соотноа1енгяс угловых скоростей и линейнык рашеров звеньев исполнитсзьнога механиз яа сгзика1, всгичнна и харе — е1 распрсдстыяня по поверхности контакта раба 1вй нагрузки; геометрические параметры процесса (точность ярармы рабочей поверхности инструмента, размеры змотовак ядр ) Пра этом, если качссзво поверхности плаятиьы пасте шлифования опрсдслястая прсимушсствгнно характеристиками абразивных материалов и соогпошениеи твердостей заютавки.

инотрумента и абразивиыл зерен. то наибольшее влияние на точность абрабогки оказывагот кинематнческие и ~еомш'римские фаюоры при прогих равных условных процесса Вместе с тем степень сохранения иисзр>ментом 1юходпой ндешшиой пзюской формы завнсиг аг соотношения уг.юаых скорастеи н линейных разямрав звеньев нспалнн1альпога механизма сга1ка Таким образом зазачаи ехнояопя на операпин шлифования яамются обооиованиыя выбор кинсма~ических аараиецзав обраОшки для конкретною с анка Рас гет режимов обработки на оперении лшифовашш сво,штся к апре»зеванию таких параметров, прв которых прежде всего обсспечива.пя бы равномерный изпос плоского пшифоэшшни«а, поскольку этот фактор ог«юывае томинируюшес впаянно иа фзр«гггрование поверкиостгз пластины Критерием износа какай-либо то ~кн п зверхностн пшифовальника сзузкит лллпа пшп репин з~гзгг гочки при се конгмгте с повермшсзыо лета:ги в их опгосггтелыюм лвижепии Прг зло«г»сс ~очкгз, распо.гохгенные на одном ра стоянии от пснтра янструп«пта считахнся изнпниэасмыми одинаково пэ-эа оольшой .'«пггнпносги обработки (20 ЗО эггтггз и м,мого време ш шгнемагического »гекзгэ (0,1 5 су Однако в связи с раэш шеи ингенсивпосп,ю нз нашнгания «татари»«тов иггсгрумегггэ (шк правило, чугуна> и ге»э,п (крелгннк керамики.

снмшлэ и чр( при расчеты также спел«сг Зчптмвшь «липу луги трения точек эстзши прп ее двнхыпли гго позе(юности яяструмснта Любы ~о*гав поверхности пи«пру ген»а оп~ггггез нх поверя ости сп,ю»люй» воосражасмон лшапг олн«яз ыкягтческзгх Пэае зорий (рис 21 зпгпшктюиду. гни»пик гонлу итш псрипик шилу а з гвпсиИшгшэ шш моши ог; отношения кинем:пических парамепзогз обработки Лочно гак ше и лкзбая точка поверхности вопбражаемай «сплошной летал. оншнот на поверхностгг инструмента одну из этих Пыешорий О означив через К и Кэ коэффициента«. пропоршю ншыгые интенсивностям изнашивания соответственно «гагериаэюв »стали н инструменш, шпшпем критерии выбора опшмшы.ых режимои обработтси н вилс (1:ч' — 0',м")К,',с ч Ь, гве 1,пш, 1."и', 1""", 1'"''" — соогветстэег но максим»тьныс и мани«шльные дляны пю«й грсння легали л инструмента при копкршной нэлгдкс съпгка. е и 1» — численные знагспи мвисюпне от требований к точности геометрических паратютров пласпш: шшекс эшз харак«ели»уст казффигшеьг К на ппоршпш штифова.

ггия Знач нпя К"'. К ", а и 6 опрслелию. моголом физического «гогелнроээпнзг фксгтернменгалыго1 Усрезиг«нные значения К-'' н К,',» прпвелсны в шб.г У шв панбо.зес типичных режимов пыпф«- ч»пна г(зргэзгг.згг«згг суспепшсй ьа основе карбида коемншг зелено:о с оаз«герон зерна основной' фрак«гни 10 мкм и гб мк«г На рис. 3 ггрелстэв гены рас штн ы векторные схемы шгя определения Лшпг пугей трения в относигел ных лязгжеггиях долин гп кнструмшпу и шгсгр«мента ло .гетэлям зйстолол«пия анализа веьторньп схем заключается в рассмотрен ш абра«пенного движтшия звеньев исполнительного механизма станка относитслыго детали нян яястр«мента.

с пентрэмн котарьп, связывшш непо,гвижнюо снеге«гу .оорлилат Особенностью с юашог о движения депшп. и ю брал си ног о на рис 3. ». является пепостоянство скорости ее врапгсняя. ак кэк и ас= пря обрабгтгхе положснтн летало в сегпрагорс не фнкснруеюя, у товвя ее юаимозгеисиги с ннсгрумппамн и сепарзюром кзхгегог2отся в пропессе обработка. Поэтому хяорг2442 вьнясления, пины пугк траки я пргдусмюрки»т опредегтиис на нервам »тяте скорости «, Нике пргиелены уславныо обозначеюи партмстроа кгиеьитической схемы (см ряс.

3, о, о ) абсиютнсл )главна скора и, смяаратара с детюямн (векюра 4„) — м: абсоиотнав )тлоямг скорость условною водила (вектора ОВ=У ) — а абсалкпны усювые скороаи нтглисго и юрхнего няг-.грумснтов— абсгмютная упюввг скоросп пчасгины — и . а расстояние от петпра инситумента до центра гегзаратара (ОВ ) — г„; внутренний радиус кольцсаага инструмеяи — г: расстоядие от центра сенаратора до центра детали (ВС ) — г; 2' наружный ралнус котьггсною инсгрумента — г, 2' расстояния ог цеюра детали до мгновенного центра врппенги (МПВ) сооиеюгвенна в системах »силь — нижний инструмент я де- таль — ворхний инструмент — 64, Ьт, чиюга Летзлей в сепараторе — К: ралву зетюгв — г .

число злементарных ристкав разбиенти траектории относительною лвижеяия в пределах кянемюическою пиита — ебг зтительность кинематнческого цикла — г в ' время лнакенкя точки ннсгруменгв (легаля) по лаю»и (инструмен- ту) в прелкхих злсментарного учасп:а — лг; мамегп нпервни п.истины прн вратцепии вокруг собственной ося — .2, угол, харакирвзтювпги по»ажеине пиикны я сепараюре.

— г; углы, харакирвз)зодиа нвпраюение си.|трения впарахдсталь— верхний янсгрумип я летать — ннжнии инстр. мент, — а, а: 4' 2' козффнци."нт трения в опгосююгьном двнжеггии лет иь — верхний (нижний) инструмент к детаяь — сепврат ар (в случае итдь24о2а сепарат- ораа) — у, разтгосгь угловьн скоростей звеньев исполнительнога механизма, непа»ьзуемых при апре»едепкк режимов обраби ки (см рис 3, а) Ю вЂ” Г~ = и 2, и ,— Э .=Га И -и .-44 расстояние ог центра внирумента ло г-й то тки на ега по2ирхностн (ОЛГ) (см. рис, 3, а) — В; расстояние от центра деилн до г-и тачки гы поверхности инстру- мента (СМ) — р .

и — ю, = и,т (см рис. 3, о). ю — и„= м 2 24' и„— ю =а 4' Мг И4 42 4' а 4 И' 2 ' (ГЭ252 2йэ (у 5 »2 5.2»'гзсоэр» (5) и=а ьи, 1 1 32й (2) )( 1; ) ' " (,"' ) — 2 1' Р с о» а 1 г Ш1 ' с 25 Э УЭ»5 (5) 10 расстояние от цен»ра летали ло г-й эочки на ее поверхности (ОМ) -й, расстояние от цетпра инс»румента ло г-й»очки на поеерхиосп» лета- ли (ОМ) — р Ниже приведоны алтари»мы опраделення длин дутой трения деткчт» до инсгрументу и инструмента ао детала (слелуот отметить, что расчетньге векторные схемы щ»я планещрных и аксцонтрико- вых станков иден гичныэ.

Шщ! Оргзнизапия дики по оптимизируемым пара»гетрам м (аэ). а (и ), у,(у„) Шаг й Вьппсленне .ыюсльнастя ки нема пг.ескою цикы двюксдна сспара»ор» с детю ям 5 «щс иэк»ьно кис»русен ге (Оез учеа ю От гс, ОН (ййаг 3 Органа жди 5»!»по а но е!жмени Ы= — ' Я Д(аг 4 Опр:леление начального положения МНВ летщи ощосительно инструментов (а, — О ). 52 )даг 5. Вычисление !глав а .а„,а, опрс»ща»ошнх поправления 2' сьл ц5ения в парах легаль — в рхняй инструмент и летать — нижний инстрэщент' ,2 0 г ж„ а ; атосов 2йх(!5" г 2г„г соьр ~.2 2 Шаг й Вщгисленнс лвюкуг»щл моментов вращения. дейстиующих на пяестину, и момента сопротивления вращению. у2 .