Приложение А (Тонкоплёночные микрокоммутационные платы на основании из нитрида алюминия)
Описание файла
Файл "Приложение А" внутри архива находится в папке "Тонкоплёночные микрокоммутационные платы на основании из нитрида алюминия". PDF-файл из архива "Тонкоплёночные микрокоммутационные платы на основании из нитрида алюминия", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "электронные технологии (мт-11)" из 7 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "элионные технологии или тио" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Приложение АЗаданные условия- ширина окна на фотошаблонеW 25- микрозазорz 6.3288635734346 6.329λ 0.18 0.18 - длина волны актиничного излучения2. Краткое описание последовательности выполняемых этаповРасчет проводится в предположении, что окно на фотошаблоне представляет собой длинную узкую щель. Вэтом случае окно можно считать одномерным. Расчетная схема имеет вид, показанный на рис. 1.Рассмотрим положительную область изображения шириной W, в которую входит облас ть геометрической тенишириной W/2 и разобьём её на 30 отрезков.i 0 149n 150Координаты точек :πλk 2 X i iWn- волновое числ оПределы интегрирования для каждой из точекξ1i k W X i ξ2i 2 π z Wk X i 2 π z Интегралы Френеля:ξ1 i ξ2 C1i cos π dξ 20ξ1 i ξ2 S1i sin π dξ 20ξ2 i ξ2 C2i cos π dξ 20ξ2 i ξ2 S2i sin π dξ 20Значеня интенсивности для каждой из точекI i 1222 C2i C1i S2i S1i i Xi ξ1i ξ2i C1i C2i S1i S2i Ii 00-16.56216.562-0.4910.491-0.5170.5171.01610.167-16.78316.342-0.5090.481-0.5170.4981.00520.333-17.00416.121-0.5180.496-0.5040.481130.5-17.22515.9-0.5160.519-0.4920.4941.02240.667-17.44615.679-0.510.505-0.4850.521.01950.833-17.66715.458-0.5030.479-0.4820.5010.96661-17.88715.237-0.4990.506-0.4820.480.96871.167-18.10815.017-0.4980.515-0.4830.5151.0181.333-18.32914.796-0.4990.479-0.4830.5030.96391.5-18.5514.575-0.5030.514-0.4830.4830.983101.667-18.77114.354-0.5090.499-0.4850.5221.015111.833-18.99214.133-0.5150.491-0.4920.4790.978122-19.21213.912-0.5160.515-0.5030.5181.052132.167-19.43313.692-0.5080.483-0.5140.4850.99142.333-19.65413.471-0.4930.518-0.5150.5161.041...........................Профиль распределения интенсивности в плоскости изображения(в положительной области)1.51.125Ii0.750.375001.32.63.95.26.57.89.1 10.4 11.713 14.3 15.6 16.9 18.2 19.5 20.8 22.1 23.4 24.7Xi26.