4 лист (Технология создания зеркала)
Описание файла
Файл "4 лист" внутри архива находится в папке "Технология создания зеркала". PDF-файл из архива "Технология создания зеркала", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "электронные технологии (мт-11)" из 7 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "элионные технологии или тио" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Àíàëèç ìåòîäîâ íàíåñåíèÿ òîíêîïëåíî÷íûõ ïîêðûòèé è èõ òåõíîëîãè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâÌàãíåòðîííîå ðàñïûëåíèåÐàñïûëÿåìûé ìàòåðèàëÏîäëîæêàÌàãíèòÇîíà êîíöåíòðàöèèïëàçìû òëåþùåãîðàçðÿäàÌåòîä íàèìåíüøèõ êâàäðàòîâÝëåêòðîííî ëó÷åâîå èñïàðåíèåÍàãðåâàòåëüïîäëîæêèÍàïûëÿåìûéñëîéÊàìåðàÊàòîäÏîòîê ïàðà2,35ÇàñëîíêàÝëåêòðîííàÿïóøêàArÇàâèñèìîñòü âûõîäíîãî ïàðàìåòðàîò êîëè÷åñòâà êèñëîðîäà â ñèñòåìå (â %)2,32,25Îòêà÷êàâàêóóìà2,22%ÊàìåðàÏîäëîæêàÄåðæàòåëü ïîäëîæåê(ìîæåò áûòü àíîäîì)Ñèëîâûå ëèíèèìàãíèòíîãî ïîëÿè ïîëíîì îòñóòñòâèè êàïåëüíîé ôàçû;Ïðåèìóùåñòâà Ïëîòíàÿ ìèêðî- (íàíî-) êðèñòàëëè÷åñêàÿ ñòðóêòóðàìåòàëëè÷åñêèõ è êåðàìè÷åñêèõ ïîêðûòèé ïðè ïîëíîì îòñóòñòâèèêàïåëüíîé ôàçû;Âîçìîæíîñòü íàíåñåíèÿ ïîêðûòèé íà òåðìî÷óâñòâèòåëüíûåìàòåðèàëû ïðè íèçêèõ òåìïåðàòóðàõ;Íàèáîëåå øèðîêèé ñïåêòð ïîêðûòèé ðàçëè÷íîãî íàçíà÷åíèÿ;Âûñîêàÿ ñêîðîñòü îñàæäåíèÿ;Âûñîêèå ñâîéñòâà ìåòàëëè÷åñêèõ è êåðàìè÷åñêèõ ïîêðûòèé.ÍåäîñòàòêèÐàñïëàâëåííûéìåòàëëÏîâåðõíîñòüèñïàðåíèÿ5%2,157%15%2,1ÂîäîîõëàæäàåìûéòèãåëüÌàãíåòðîííîå ðàñïûëåíèåðàõÝëåêòðîííûéïó÷îê20%Èñïàðÿåìûéìàòåðèàë2,05Ýëåêòðîííî-ëó÷åâîå íàïûëåíèå2Âûñîêàÿ ñêîðîñòü îñàæäåíèÿ.
Âîçìîæíîñòü ïîëó÷åíèÿòîëñòûõ ïîêðûòèé (äî 200 ìêì);1,950Âûñîêàÿ ÷èñòîòà ïîêðûòèé (ìèíèìóì ïðèìåñåé).5001000150020002500Ðåçóëüòàòû èñïûòàíèé íà äëèíå âîëíû 500 íì:Îòíîñèòåëüíàÿ ñëîæíîñòü òåõíè÷åñêîé ðåàëèçàöèè ìåòîäà ïðèïîëó÷åíèè ðåàêòèâíûõ (êåðàìè÷åñêèõ) ïîêðûòèé.Òðóäíî îáåñïå÷èòü ðàâíîìåðíîñòü òîëùèíû è ñòåõèîìåòðèèíà èçäåëèÿõ ñëîæíîé êîíôèãóðàöèè.Îòíîñèòåëüíî âûñîêàÿ ñòîèìîñòü îáîðóäîâàíèÿÍèçêàÿ ñòåïåíü çàãðóçêè èçäåëèÿìè îáúåìà ðàáî÷åéêàìåðûÊîëè÷åñòâî O2, % 2571520y, êîýôôèöèåíòïðåëîìëåíèÿ2,2862,2532,20962,18442,3092Ðåçóëüòàòû ïàðàëëåëüíûõ íàáëþäåíèéÀíàëèç òåõíîëîãè÷åñêèõ ôàêòîðîâÂõîäíûå êîíòðîëèðóåìûåè óïðàâëÿåìûå ôàêòîðû?ìàòåðèàë ïîäëîæêè?êîëè÷åñòâî êèñëîðîäà âñèñòåìå?íàïðÿæåíèå?äàâëåíèå ðàáî÷åãî ãàçàÂûõîäíûå ïàðàìåòðû(ôóíêöèÿ îòêëèêà)Ôîðìèðîâàíèåãðàäèåíòíîé ïëåíêèÂõîäíûå êîíòðîëèðóåìûåè íåóïðàâëÿåìûå ôàêòîðû?òåìïåðàòóðà îêðóæàþùåéñðåäû?âèáðàöèè?ìåòîä íàíåñåíèÿ ïîêðûòèÿ?âëàæíîñòü?êîýôôèöèåíò ïðåëîìëåíèÿÂõîäíûå íåêîíòðîëèðóåìûåè íåóïðàâëÿåìûå ôàêòîðû?íàëè÷èå äðóãèõ ãàçîâ âñèñòåìå?íåîäíîðîäíîñòü ïîäëîæêè?íàëè÷èå çàãðÿçíåíèé íàïîäëîæêå?òî÷íîñòü îáîðóäîâàíèÿ¹îïûòàÕ0Y1122,3098 2,30898 …252,292,283372,2372,234415520Y2YiY7YS22,309 2,30922,3*10-8…2,285 2,2868,3*10-8…2,231 2,2343,3*10-82,2088 2,21…2,2110-82,1849 2,1839…2,184 2,1844Óðàâíåíèå ðåãðåññèèY=2,309253-0,00659Õ2,20961,3*10-8.