1Mathcad_-_Kulikova_2_002 (Технология литографии субмикронной точности)
Описание файла
PDF-файл из архива "Технология литографии субмикронной точности", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "электронные технологии (мт-11)" из 7 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "элионные технологии или тио" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Приложение БРасчёт профиля распределения интенсивностиРасчет проводится в предположении, что окно на рентгеношаблоне представляет собойдлинную узкую щель. В этом случае окно можно считать одномерным.Рассчитан профиль распределения интенсивности в микроизображении, формируемомрентгенолитографией с точечным источником излучения с параметрами, заданными втаблице, где W - ширина окна на рентгеношаблоне, z - микрозазор, λ - длина волныактиничного излучения.Дано:W 32z 1λ 0.75k 2πλРазбиваем положительную область изображения на подложке на N отрезк ов, получаем N+1точку,в которой будем определять интенсивность излучения.N 1000n 0 NX n nWNПределы интегрирования для каждой из точекζ 1 nW X kπzn2ζ2 nk X n Cζ2 nζ 2 nπzW2Интегралы Френеля Cζ1 nζ 1 n π ζ2 dζcos 2 0 π ζ2 dζ 2 cos 0 Sζ1 nζ 1 n π ζ2 dζsin 2 0 Sζ2 nζ 2 n0 π ζ2 dζ 2 sin Расчитываем значения интансивности излучения в каждой из точек по формулеI n12 Cζ2 n Cζ Sζ2 n Sζ1 n 1 n22X n ζ1 nnζ2 nCζ1 nCζ2 nSζ1 nSζ2 nI n00-26.12826.128-0.4890.489-0.5060.5060.99110.032-26.1826.076-0.510.499-0.5070.4881.00420.064-26.23226.023-0.5030.512-0.4880.5041.00730.096-26.28525.971-0.4880.491-0.5020.5090.99140.128-26.33725.919-0.5070.496-0.510.4881.00150.16-26.38925.867-0.5070.512-0.490.5021.01160.192-26.44125.814-0.4880.493-0.4970.510.98970.224-26.49425.762-0.5020.494-0.5120.4890.99780.256-26.54625.71-0.5110.512-0.4940.51.01790.288-26.59825.658-0.4910.494-0.4920.5110.988100.32-26.6525.605-0.4950.493-0.5110.490.989110.352-26.70325.553-0.5120.512-0.5010.4991.024120.384-26.75525.501-0.4970.494-0.4890.5110.991130.416-26.80725.449-0.490.493-0.5070.490.98140.448-26.85925.396-0.5090.513-0.5070.4991.029150.48-26.91225.344-0.5040.494-0.4890.5110.998160.512-26.96425.292-0.4880.494-0.4990.4890.97170.544-27.01625.24-0.5020.513-0.5120.5011.027180.576-27.06825.187-0.5110.493-0.4950.511.008190.608-27.12125.135-0.2930.496-0.4910.4880.791200.64-27.17325.083-0.4940.512-0.510.5031.019...........................1Inrn0.501 0.50X n Y n 0.5 0.50.51Y n WnNВычисляем пределы интегрирования для каждой из точекζ10 n Y kπz Cζ10 nζ 10 nnW2 π ζ2 dζcos 2 0ζ20 nkπzW Y n Cζ20 n2ζ 20 n π ζ2 dζ 2 cos0 Sζ10 nζ 10 n π ζ2 dζsin 2 0 Sζ20 nζ 20 n0 π ζ2 dζ 2 sinРасчитываем значения интансивности излучения в каждой из точек по формулеr n12 Cζ20 n Cζ Sζ20 n Sζ10 n 210 n2.