лист4 (Пассивная элементная база ГИС СВЧ)
Описание файла
Файл "лист4" внутри архива находится в папке "Пассивная элементная база ГИС СВЧ". PDF-файл из архива "Пассивная элементная база ГИС СВЧ", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "электронные технологии (мт-11)" из 7 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "элионные технологии или тио" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Рассчет резистивной базыВарианты реализации элементной базыИсходный вид кристаллаНоминалы: 100 Ом, 1000 Ом, 10000 ОмКристалл кремнияМедная разводкаКоличество резистивных элементов на одном кристалле: 10Rmax = 10000 ОмRmin = 100 ОмRmax=10*R, -последовательное соединение резистивных элементов с сопротивлением RКонтактные площадкиРезистивный элемент– параллельное соединение резистивных элементовНаходим, что R=1000 ОмРассчет геометрии резистивного элементаНазначаем полосковый вид резисторов, соответственно выбираем коэффициент формыКф=10Кристалл с сопротивлением R=100 ОмКристалл с сопротивлением R=1000 ОмТехнологическая операция получения: фотолитографияДопуски, обеспечиваемые технологией: Δl=5 мкм и Δb=5 мкмВыбираем сплав РС 5400 : R = 1000 Ом / , αR =2 ⋅ 10–4 °С-1, P0 = 20 мВт/мм2Все резисторы соединены параллельноВсе резисторы соединены последовательноXrт = 2⋅ 10-4 (100 − 20) 100 % = 1.6%,XКФдоп = 5 –1.6 − 2,5 − 0,3 =0.6 %1точн ≥ (Δ1 + Δb ⋅КФ) / XКФдоп,= (0,005 + 0,005 ⋅ 10) / 0,006=0.9 ммlтехн=0,8 мм1расч ≥ mах {lтехн, 1точн, 1р},=0.9 ммbрасч = 0.1 ммlполн = 1топ + 2 ⋅ 1К .= 0.9 + 2 ⋅0.1=1.1 мм10.9 мм100 мкм100 мкм0.1 ммS = lполн⋅b= 0.9*1.1=0.99 мм22 независимых резистора по R=200 Ом3 ммРезистор 1Вывод: резисторы, выполненные по групповой технологии накристалле могут обеспечивать широкий выбор номиналов засчет разных вариаций последовательных и параллельныхсоединений резистивных элементов, а также создаватьнесколько резисторов на одном кристалле3 ммРезистор 2.