Седаков А.Ю., Смолин В.К. - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике

м сои Г 1а : о 3 х й Й о, б х ОХ~~ м м . о о ::хй~ ~'о Д ох Я~О о о о ф |о . йх хн„ ао ма 3 о ох о х ох о м хд о х х х й х о о о о, Р Хмоо о о о б ао а ой оах О хо, х О мю О со щ "1'О о~о т и ~х о о. М ' М 5 о о х' х о о х х Д а о х о х хйх х х х я до ~о н х ,х й,о х н мах Б х хх ДК! х о х йоши Мох о хо р хо $.

"." Вз.: о мох ах о х норд ой,хха о, и 2 о до хохХ . юох х" о Хо н х х хх о хо хм Х о о х х 'с) х оО о х х х' а х х о х х Р$ х йоо о 'о н х „" х д р Ы о хо охи ох о. И о о о~ х х~ дР~ о о х х ~ хн х 1о х х м 1 о х о мх х Г: х од й о х н оо о х д ххн о х ох о „х Ьхй Ф о о о о х о о~О х о о о о х ~4 "хх "хо й~б х х о о О хо н хо н 3 Ход н о о И о о2 б~ х х о х х И о о о й х о о, Я о 6 Я х йЕ <ч но, о~ о М х о и х" о хо оо х~ р ~" х м ф Я Я х о ° О м,в ~ ОО м,Д 'о м ~Ф Ы ~4 О о ~ ~и $Ф фД ~ Я н х м х о х а 00 40 оО со~ к Ф Ю 00 м. ю 00 м е4 'о М6 ~ о ~х а а о эИ о о и о с с О О д д' Ф хно х 'хй х х охй х о Ф" о Ф ц хо ~.9" х Д н о, о о о о х )Ж л ~ о.д од о ~ Ъв О 3 >~ ~ д3 м О ОЗ М >И Й, Д о й..

о,о, ао о оох с й- ::Й о х х ох н х ах х но о м ~О ~о м :.л х н о х о ох ххо о х но о хх о хо 5%х ,ох Ц О~= Ц д ох ~ со сч м ~ х о о Я, 'х 1 охх хо х + Б о х х о о Я о, х ох х ц о оо о о 26 д х РИ йЛ Й х х нх м й о о х х х х : о о, :~" з о о о х о о о йоо х х х ар х о хо м м еч о.х хх о ох н хо х ~ох ОО о щ х Иа х о х х 4 о 1й Й а, и Я Рх о о м м 9 '««оа х 9 а х «««а, о а, ~о р о х ы „ х ~ х О оа а о б 6! а «« о о р.-! ч а$ «н о й о НО о о х о а «! о о 6 5 о х оа «х Е Е 3 х х х х «х о ,я, я х «« о х о о !х — Ф И о о х $6 .Я х а 3 !Б « й х л '«ф о х о н $ х о а о о й ! х х 3 $3 о о Я а о х аа Я о 26 х о р, «« о о о ««й ««оЯ а~И О «' «« Ех~ ох .О,а а х.а «« .О, ««х ! «« х ю б ! «" о й ао х о о Я О х;« О а.

6 ччх~ ~$' $:"3 а, о а !, « о о о «р о о О д!6 ч йа о е а! « о о х о а, о о х н а о н а е «о« С'4 М М о В и х х о о о О е л О Йо е а ООО еоа е х ~а цчй ~ОХ х а„ Ц «х а аД ч~- х а «««« о« х«о« л М «« М М О О «- «- М оооо ь о о о Я' о х о ::21 оо3 ххо охх ооо хх х х ыЯ о х оа о Ы а,о Л ео С'3 а ь О а.

И е Б ! Ы Ох «О О ь- Ж ч х а«аа !- О «х о ж «а ~ч аК О О«а. О ас а ~ Ж~ В ~~ Ф ~ Ж ч~~ О ~а~ < Е' Х О Х е «аа 3 еОа а 3 ««« ~- «О И««« х о о ~ мо о а, ~ «о Я ф р Р х" о х о х о „ х сб о х !" 3 о х х о ОО х И:~ ; 'х>х ао;Ео (Р о, :«о а Их о Д>х хах о хо«х ОХхо х о о ох х а«й о'х о!Х ао о оох! х 2 н«м М О ЪС И Ж Ю О Х мю ««$ Ф $ Ю ИЪ рд е $= е ч е а« с х« «О о ', х х' ° о о а.

:О о х:хо о нх~Р о о хх оооо хх о о«а~ «! й ~: :.:'й й Х ! ф О .;оах о ' О Н д '-оо :ао х ~.:ф~х о а ~о М Ы о х х о $ с н у )х 6 о у СО$О~СОаОО ухо о о Он„ оханфсхоХО ао ха™ х о хнсо у„д Е о х о 6 О а О О о у О О хо~сфЦх«ЯОайо х»у~он""ухунф О О Н Х ОО а 3„ Х х О Хо О Х О ООО СХХОФ, ххо'о Д О У Х Х О О Х ф Х о х с» Я о «О с) Я о о Х О Х У Х Х О . «О О" ф ДХОохйдХ,ХО О ф ф О оф Х ф оф О Ф О й оно„хаФ ф х охфхоххфоо хх,афхххоох О ~ О " Х Х О Х» Х ф ОЯ" Х ф )Х О О О О ахоОО ф~фхххннх ихоВххр ахар хо х о х (~ й х Л д нх„ ф с« о х «) х осу и 2ме х,« д у х ао охо у О В Д Л о о О,ф »2 х ) х ф О х Я М » о х М фонам ф о»'" ф о ф о о хоо о о со о о ф ф О О О о хф ф аФ'" х» ) х о,«) о Д ОО', с» х хо хс О Я о с у О фффххх х ахи оххх о Х О х о о ф О »' о х о о ф о х ох й": ~" о х ф х 5 с» о О о Р д о х )х Фх М о с» а~ х, О М х жи „н » о )х х х д о ф х О О х д о, О с» «\ х о о н, а х ю х Ю й о ф х о, х о х „- о о сй р о о о о х х о ф ) д ,» Я » )х !» о а Д О Х Х О х И х о х х х о п х О Д! ф у х о Дй д о с) ~ о о х о и И.

о О 4 х х х й о х х й х о й х х о Б о О о ф Оф о ф Х О 'х ф фО р И~ с.) О, а .9 ) с са ф 4 х о ф ф о о о О, у О и Й » О СУ О о ф 3 о ф О $ О О с О с у О ф о и Е О. О Ы $ Е % х х О У ф с О5 о ° н )» ах О О, О й о о д )Я о )» о Ь4 лу 'фн" а О уй о ~ ~о О у ) Ц ~ ) О .е Ь о о ф у с), х й о оО о с- о аф" ~. х о х О о а Д у О о О О В И о ф Ф О'" О $у х х о ОО Офа хо о ФХ О о ф1ф Я О д у О -ф о О О «) О О с') р,у с) 0 Й Я О О Х х ф о О а а *о р $ ф а х О ,. ) ф О О О о ф ОО О о о и, Он о о у 'О" С О, о О О » 2 ф о ф »" С И 3 О М и х о Е 3 й: :© д. .~= йй „, О ~>щйб ~и~ ф ц~ ж ~ ~~ М р 6Ъ %40 О М й.

~.~ й. сй М ~- М ДЫОРЕ .":Е М Х а'Я "Б )х Х О О Х Х ~3 О о а» Х » Б ах Я Х О х >х а о И о а о \Х О о о М х и о х Х,й х х й о о Х Хх. х х О О И Ы од О О аД о х х' Мхх о х - ю ХНО д х х Х о Л О х н Б й х О х . Б Х О О О, х х о О н О О 0 О х Б О х й я Я й Д ф Б хф х О О Х О ~М Б ' а'О х х о ххоа О, о о х е н О О О ХОХХО 5 „хй х О О О О Х "Я О О О О М о х о о х,х Б х Ы з Ох Х О.

Б ~О Ц О О И Д О, Д Х х" Я о йБ ах 1О О о х $- х к3 ХО Ю х О о д ох ы х О Х Ох х Х О" О" Х Х Х М х 'хха х х х о х н о ах Х $о й Б м х1х х Х ОХ охо х о 6 я хх о о Б о Б2 о х Х И х а»х Я Х о о о д й Х Х о х Б й Э Х н Б М ф о х Я Х .й" я х Б х х х „ И О О о о й » ~ Х Х ББ х о р~Й Б и" хн х Ы й ,й ,Ф О О ц х о О о х й О х х й О х а Х Б . :Б Х Х о ах Ф о О Х о о М А О, х х о О О И Б ь м О, Х Х х Х О х а 22 о 8 Б.

О Я х Ф Б >х Х Ф я х р ххх О М оХ, о х о Д О 3Бх ай Б но Б о Х Х й О х О х О Х о Х аБ Бох О О х~о х р„Д . Х О ах „ о .а О О И х Ф а Ф И х о О 3 х И ФЭ О х о Яа 11. Ю Э О ~р х а Ь к х х ФФ И .П ФО К ОЗ Ю О о а М $Л Ц О ~4 а а 6 Х й х й о х о х о х О о О, Х Х Я Ы И х О. о о о а й о И о Б и Я й Д Е Б О о Ю 4 Х х х х о н о Ы ф ж й й З Ы 3. $ й И О Б Б х о н о х О ~х О О х о о о х Б х о н о О % о в х Йх а н Б;й о х х й~ Б х х й О о ЮБ О О, Об Х й д о о х н ой х х о Х о ОБ х Б ~о Ж Ц "„Я х Х Х ° )х й д Ю х н х х и О 4 о х о О д О х Б' а )Х О Х х о О Я О х х х Д о о о Х х Х н о щ Х х а Я х о ах х о Х Х М о Б О,х Х О ВХн с~ х в Х й х „о н ХББ о х ~О О е О Я ОН Лхх Х Х О с- О 60 м О О м О" 36 3 и х й и О 34 О ч х а 3« О Ч 3« ь О Д м 6] а о с'] с м м о ,3«О~4 'ЧСООН4ОВД ° 3 О 'О Х х Ф О Ч О Ф 33 Ъ.

О О 3с О и ч 3« е х ,ХО О Ю 3- О 00 \' ы ы «3, М Со Ф О О 3««.3 и« .. о «3 ы мС'3 «3 Е с с Йы «.3 Л О е о П3 х о х Я О н х 3« Р Оа 63 0' сс ы х а х х Ц $ 1» х х со д о х ы $.' х о О ы 63 ы 63 ы и „ и ° ы о М 4 О 33 ы о ]х д-й х ы -1Й д 4 4 ы с 1„и5 аах д х" ы х а О 8 о н их х :С О 8 а М Е а О й Й 43 а ь 43 си и а О со О со м й О ° со м » х 63 Х О ы ы м о 8~ д~ и Й ,«о ы ч 34 ы х ы н х Д ы Д о » х х, о, о о х ЧО о «и ]с о х ы о й ы ]х о '0 с] «3- х Х х х ф Н ы О х ы ы х 6« х ~' а о х о и х р.: а х ы о х ы о а 63 х И Х )й 'Х 000 ис)п ччоовиоовпж венчпи31,~ Х Я4а (Х 000 иОп) чхоонпово«]с]очно) ,Х',О) и 3Х 005' "000 и«3п) винж1ипсов«3 хноиииффоои ииниоО ч Х 'виноввввп иК«иЬпно 3 х-д О Х о м х м х 3« '«о.

х д ,4 3' ы ы 2 4 43 - х ы х ы С'3 м д О 4 3" ы х" Р.. «4 Д О, 5": ха о х и Е" х ы ~,й "И о х о а о о и а]О ы о ч 'о 1 х и о х „ 4 Д и 63 Я д Х 'сч о х !И. и 3 ы о 3] ы ы х х д о И 3- х д а]О Х 3" ы Х )4 со о х и М о , ы О х х Й о х ~ о Я о „ ы со х о 8 Я ф х ы Х 63 ы о й ай Йх СО 4' О ы Р, х о .8х 3« ]х ы ы ы х х х,х мы о м „х х ох о о И Хн О И ха «: о х с] ы ы х О х Ос»сс «'х о ойх д 36 ы ~'03 о о х м ан й х ы]х »Бь хх х х ~ хы .0 ]0 Р а с] Й ы 3]ч х х Я х о смн о о х ы х х- х х Ы ]0 р, О х х х х 4' х о д ы 63 Х 11 о хх о о и х щ д ы ы ы Ы 4 ы д х х ы м й о о О"М хоо м ы Х,4 Д х х х 60 М х х. И' о я4 О Х ]х о ы х х х н м ы х а 63 х" х с« " о хо хнх !~2 ы ]с] о 64 6« х х ы 4 х й и И Р х ы ]х М р м о х 43 й о 43 о 3« д ы х х 43 О о х О 43 Х о х о х си ФЪ 63 Ф~ -3 «"3 ы оы, О 4' х о 33 ы 63 4" х х о ч о а о 63 'х а х О,Х й 63 Я и Р ы „х о х ы 3 Х 63 их х ы хан „хО 'Ю 43 О «-3" нм Д о и 2 5 Д х ы хно з~5 ! ='Е й ,4 И ый х о х ч о ]« х а 3 х о х Р' я ы х Я 6] Ы 4 ы х о 381 ,ц одЦ О, Х сс х х ,4 о Е и й х х х х О х и х о с" и ц ы я' х о х о,х о х хС оххх ]хо с«Ы о ] )3 Д х ох " о О Х н1 ы о о х ыЙ х Вх ы д х ы ы ы м 63 Х ~~ы хх ]« ыа а а 2 хсосо ы О О О о Я 03" х х 63 о о ы х М о ы х о х ы х х 1ь о,о о "Д 3« д ы х и 4 4 4 М 3 ! о и щ щ о щ Д Я щ н х 1~ Рй 4„ 4 а >и ф $ Р 5 3 э Ц 4, Я Ф 4 и И щ о о о х щ Ф» щ и о х )х о ".' В о $Ь и3 и Ю д о о щ Д щ И о и а СЧ о ~ о х Ц, о" оа щ о х э н о о х х Р о О, х >х $ я'и ищ~ о х'~а .8 щ х .'- о х "ж" о х м щ о О, нэ и й х о '6 о хна щ о х О ОХО и о Н О О хэ' хх а а щО Щ щ ощ охн р, х щ щ охи щ оМ ~ о' о щ" х М щ"' щего щ и 2 о о И ао щ И сч щх о о х О хИ О ха Р~ о щ щ о ж И о он О, 4 хх х ~ х а Я Ь- 4 и р и и 1~ 4 ,33 ~ р5 щ 4 44.

Щ щ 44 4 и'" О О 44 О О й й о сч 4 о щщ о Щ 44 х и о м щ щ Д о о ио 3~ 4 о о о о 3 о о о Ц о о о 3 й о Щ й 5 3 и % $ х Ф щ о и щ Ф ,3 в ,"3 О щ о щх х 4В нщэ О е х 1- щ Х (и148) 'чьэоннонойюппэ ~ Х 'кинэьлкиьэО иКькйэпиэ.) ,и)Н О Оо ииькжэ иОп чьооньодц ,иГН ', От . О нннэжкьэкО нй» чээоньо<1ц нХ', О) .н С) ООГ' "ООО иоп) кинхЬппэкО ьнэнпиффэон иинпэбд о $ 15 о о 4 Й" Л щ Д ар х сэ о х ~~3 о И о К й . '„ х Ф ~О о х И о х о щ о ~а О х о х х о х щ о о щ м 3 4 о о х о о 4' О о о о я сэ .б о о х щн х х 41 о О о 5 о о о х о о а х о о щ щ М о О, х о о х о х о х И $ х О щ О, х о о О о о 6 6 о о О, И х )4 о о о хо щ щ их о х щ 4 д хщо а а'о И~ Е Ц 41 Ш о х о о х 2 д о сч х "о ~ И О, х Л аИ х ща и .„х Г~" ГЧ 4Э о х щ х ай О о о о И !° х И 4 Д щ О х И а щ щ х ~» о о о о 3 м ~,щ щ а~ х о~~ и щ о х „-' $ ~ и ах щ о х щ о и о щ оо О,Х О, х хо и о Я х о щ)х х о х Х О, и и в що и щно р о,х а - Я щ о "8 о х.х щИР а 1." 4щ $ о ~,О,Я О, х а Е а а 'О 3 И $ Р о 3 й о 33 и х Х с о, о о о о О, » Я о а" х а Д о а сХ Х сс И й на а ху о а х Д о Д ;4,", 33 хо 33 М о е о о М Ц х о И м а х х а о о х а М о 5а й о 3 о сн Д'о 33 Я "ОО И х хоо о о х Сс Д х о 33 ~Р~ о си о 3 аф м о $ о а о х 4~~ Н 1 3 ." о о сх о х а о 33 х й й х а х х о а 33 о х !$ 43 О, д о м а о о х х х х Н хн о х о И о х о а" х О са о о 33 4 а о х о а Хо о а х о о хи 33 о о ,4 Х О о о о х о со х 03 о х о о о И х Ц о а о о н '8» о ',4 о х х 33 О а х хо о о о о о х ха 43 аН 33 ооо оо» й О Хс сс о да Йхх а хо х о и 8 а о Нх о Н о о ох о ход х онн 4 о ох о х о д р~х - о о хИ 4 сс х х о х х х х а о о о о о 33 а о а х х о х х о о х о о х а х О с'\ о о о а ао о оа о са х „ х ом о О х 5 "' о о о "а Йй 43 м » о а х ох х х х м о о х Д 4' х о х а о о х о 4 Ц Я ~Ив аЯ б а а а 43 м о 3- О о о о о х х а О 3Х х Я О сс Со М о 5 е са х о а О, о х о О о о са о х о а Хх о х о х Сс х О' са 8 'И Сс о И а х о :Д х о о ох хСО а о о а й Б хоо Оно о ~~ асх о о мах х2% а х ийФ 8~ ц о ~ о й „са Сс Х О а 4 Х 33 о о м х о о х а о о о о х а о хо х о х о о о о х х о ~32 х о Я о хааа а о о й 33 а „ о о и о х о х~ д о И !р аа 33 О о й о о о,х о о о '" И И х а "х а о х х о 4' 33 а х ха х а х о о х о ",.