36_avt_svid_EAD_1531735 (Патенты Деулина Е.А часть 3)

СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГОСУДАРСТВЕННОМ КОМИТЕТЕ СССР ПО ПАУКЕ И ТЕХНИКЕ ( госкомиеОБРвтениЙ) Иа основании полномочий, предоставленных Правительством СССР, Госкомизобретений выдал настоящее авторское свидетельство иа изобретение: УещОИОИВО дпя изжиОэиенип ЗиекщОВакууииш нзибОрез". Лвтор ~автоР"'-): ЛЕТИИ ЖЗГ9ИИИ. АИЕКОЕЕЗИЧ, ЯХИадИЕВ ДИИ РамдинОВ~Я, Я9392дРВ сеРУеи РениадьйзиЯ» ООЗОза инина БиатОпииуевйа и Оапеко Йзиеаай ЕЗНО4аещ®".: ",' .,: .

-.. Заявитель: Мщу ДН Н Э БяМця Заявка № Приоритет изобретения Зарегистрировано в Государственной реестре иеобретеиий СССР 22 Ота 19%г. Действие авторского св страняется на всю терри Председажеое Ьомиивео1а моФ Гозмама. 1988. зак. 3083. 1531735 16> размещенных в отверстиях фпанцев 13 и 12, и гайки 17, закрепленной на фпанце 8, На фланце 8 закреплены направлякщие втулки 1В, во внутреннее отверстие которых входят стержни 11.

Герметизация механизма поступательного перемещения осуществляется гибким герметизирукщим элементом 19> присоединенным одним концом к фланцу 8, а другим - к корпусу вакуумной каме-, ры 1' Приспособления для обработки приборов 2О расположены над посадочными местами гребенок. Гребенки 2 и 3 снабжены центрирующими элементами для установки на них оправки с узлами фЗП> Устройство работает! следующим образом. Узлы приборов, закрепленные в оправках 21, поступают в рабочую. камеру 1, Транспортирование оправок осуществляется механизмом перемещения оправок. При этом подвижная гребенка 2 подводится парой зубъев 22 под оправку 21, установленную на одну нз пар зубьев неподвижной гребенки 3, при помощи привода поступательного перемещения.

Ввод вращения 9 передает вращение от электродвигателя 10 на первый стержень 4, и гребенка 2 поднимает оправку 21 над неподвижной гребенкой 3. Механизм поступательного перемещения (электродвигателем 14, пинт 15> гайка 17) перемещает подвижную гребенку 2 с оправками 21 до 35 последующей пары зубьев неподвижной гребенки 3. После этого подвижная гребенка 2 при помощи ввода 9 опускается и оправка 21 устанавливается на неподвижную гребенку '3. Затем по окон- 4!! чакки техпроцесса обработки ФЭП цикл повторяется. Возможно перемещение' как одной, так и партии оправок. Необходи>еяй угол поворота рычага 5 определяется по формуле: В+2С А=агсз5п( — — - ) . град ° > В где В - сумма толщнн гребенок с центрнрующими элементами; С - зазор между гребенками в край .

50 них положениях подвижной гребенки! К - расстояние от оси первого стержня до вершин зубъев подвижной5 гребенки. При вертикальном расположении ме" хеяизма поступательного перемещения, в случае карусельной компоновки уст ройства, работа устройства происходит в следующем порядке. Оправки с узлами прибора поступают иэ камеры 23 на вилки 24, Подвиж-' ная гребенка 2, выполненная в виде диска с внлообразвыми захватами, подводится с помощью ввода 9 н механизма поступательного перемещения под оправку 2 1 и снимает ее с вилки 24.

Вилка 24 уходит в камеру 23, при этом затвор 25 закрывается., Передача оправок 2! в камеру 23 из рабочей камеры 1 производится в обратном порядке. Неподвижная гребенка 3 выполнена в виде отдель>кях вилообраэнь>х захватов, сопряженных с захватамн диска.

Диск поднимает оправку над поверхностью захватов..Ввод 9 подводит оправки 21 на диске под захваты, Затем диск опускается, устанавливая оправки 2! ва захваты. Затем в обратном порядке происходит сьем оправок 21 с захвата. Возможно перемещение как одной> так и партии справок« Использование изобретения позволит значительно повысить надежность ме'ханизма перемещения, т.к, напряженнодеформнрованное состояние гибкого герметизирукщего элемента наиболее благоприятно.

Кроме того> схема механизма перемещения оправок такого устройства унифицирована, что позволяет использовать его при разных компоновках установок. формула и з обретения 1; Устройство для изготовления электровакуумиых приборов, содержащее соединенные шлюзовыми затворами вакуумные камеры, каждая нз которых снабжена механизмом перемещения оправок, выполненным в виде двух встречно расположенных горизонтальных гребенок, при этом первая из гребенок соединена рычагом с механизмом поступательного перемещения, а вторая гребенка жестко закреплена на корпусе камеры, о т л'и ч а к> щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности и расширения технологических возможностей, механизм поступательного перембщения выполнен в виде цилиндрической втулки с фпанцем, кннематически связанной с расположенным внутри нее первым стержнем, ,первый и второй концы которого жест- 5 1531735 б ' ко соединены соответственно с перпенди- нательного перемещения ориентирован кулярным к стеРжню Рычагом н вводом вра- вертикально, при этом ввод вращения ' щения, герметично установленным на снаб-.

выполнен дискретным для перемещения щенном приводом дискретного поступатель- звеньев первой гребенки расположен- 5 $ ного перемещения 4ланце цилиндрической ных по окружности, на один шаг. втулки, соединенном гибким гермети- 3. Устройство по п. 1; о т л и ч азнрукщим звеном с корпусом камеры и ю щ е е с я тем, что механизм посту- установленном на направляющих стерв- нательного перемещения ориентирован нях> расположенных снаружи вакуумной 1б горизонтально, прн зтом шаг привода камеры параллельно первому стержню. дискретного поступательного переме- 2,'Устройство по и.1,.

о т л и ч а- щения выбран равным шагу линейно ю щ е е с я тем, что механизм посту- расположенных зубьев гребенок, 1531235 Составитепь Д.Рау Техред И.Дидык Редактор М.Кузнецова Корректор О„Кравцова . Заказ 2498/ДСП Типаж 332 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям прн ГКНТ СССР 113035„ Москва, Ж-35, Раушская наб., д.

4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул. Гагарина, 101 ф Ъ о Ф э х б О й о О Г. й 6% Й О б Е 4 и з" \ о Я л х а~ В Я Ф а ~' а о Ф я о ~С й Ф Я О и ~б б й « Ю ~ ь Ф а О о 4 Ы х 5 Р 3' Ф л ~О ."Ф ~> 2 ь 4й 1 ~1 а о я $« ж Ф Ф $ ПЪ с~ Я СФ О, 4 о ~б д Ф о М й О И л д ю 5 Д, Ф М а Г И ~ ~>„\ й О Ш ф 'й. Ф Я о о 4 О О д й й Я Ф о Ю Ф Ф .О Ю Ц о- б Л о ! Х Х й~ Я О с~ Е О 2: Ж О ф ~ф~ СЧ со .