Заключение дисс.совета (Исследование взаимодействия низкотемпературной плазмы с неоднородной поверхностью электродов в газоразрядных приборах), страница 2

Выборведущей организации обоснован тем, что ФГБНУ «Научно-исследовательскийинститут перспективных материалов и технологий» активно занимается исследованиями в области радиационного материаловедения и моделированияфизических процессов в электронных приборах.Диссертационный совет отмечает, что на основании выполненных соискателем исследований:разработана математическая модель физического процесса распыления катодной поверхности с диэлектрической пленкой в тлеющем разряде, учитывающая полевую электронную эмиссию из металлической подложки катода;предложена модель катодного слоя тлеющего разряда у катода с тонкой диэлектрической пленкой, учитывающая нагрев катода и рабочего газа потокомтепла, выделяющегося при протекании в газе электрического тока, которая,кроме ионно-электронной и полевой эмиссии электронов, принимает во внимание также термическую электронную эмиссию, возникающую при нагревекатода до достаточно высокой температуры;доказано, что полевая эмиссия может приводить к существенному снижениюкатодного падения напряжения разряда, а следовательно, к уменьшению энергий бомбардирующих катод частиц и эффективного коэффициента распыления материала катода в разряде;4введена в качестве характеристики диэлектрической пленки на поверхностикатода величина ее эмиссионной эффективности, равная доле электронов, эмитированных под действием электрического поля из металлической подложки впленку, которая поступает из нее в разрядный объем.Теоретическая значимость исследования обоснована тем, что:доказана справедливость утверждения, что полевая эмиссия может приводитьк существенному снижению катодного падения напряжения разряда, а следовательно, к уменьшению энергий бомбардирующих катод частиц и эффективного коэффициента распыления материала катода в разряде;применительно к проблематике диссертации результативно (эффективно,то есть с получением обладающих новизной результатов) использованы разработанные в ней стационарная и нестационарная модели катодного слоя разряда и процесса распыления катода при наличии на нем тонкой диэлектрической пленки;изложены результаты исследования распределений плотностей потоков ионови быстрых атомов, а также эффективного коэффициента распыления и плотности потока распыленных атомов, в том числе вдоль искривленной поверхностиметаллического катода в тлеющем разряде;раскрыты особенности распределений плотностей потоков ионов и быстрыхатомов, а также эффективного коэффициента распыления и плотности потокараспыленных атомов вдоль катода с диэлектрической пленкой переменнойтолщины;изучены вклады ионов и быстрых атомов в неоднородность распыления катода с поверхностным рельефом в тлеющем разряде;проведена модернизация существующих моделей катодного слоя тлеющегоразряда и процесса распыления поверхности катода газоразрядного прибора.Значение полученных соискателем результатов исследования для практики подтверждается тем, что:разработаны методы теоретического изучения влияния неоднородности поверхности катода на характеристики катодного слоя разряда, определяющиеинтенсивность ее распыления;определены характеристики рельефа поверхности катода, определяющие интенсивность его распыления при различных разрядных режимах;создана методика расчета эффективного коэффициента распыления катода споверхностной диэлектрической пленкой переменной толщины и сделан вывод, что поток распыленных атомов с участков пленки с ее наименьшей толщиной имеет наибольшую величину, в результате чего должно происходитьувеличение неравномерности толщины пленки в процессе ее распыления и образование в ней пор с течением времени;представлены результаты оптимизации процесса нагрева катода в тлеющемразряде с целью ускорения его перехода в дуговую форму в приборах дуговогоразряда.5.