Автореферат диссертации (Исследование взаимодействия низкотемпературной плазмы с неоднородной поверхностью электродов в газоразрядных приборах), страница 5
Описание файла
Файл "Автореферат диссертации" внутри архива находится в папке "Исследование взаимодействия низкотемпературной плазмы с неоднородной поверхностью электродов в газоразрядных приборах". PDF-файл из архива "Исследование взаимодействия низкотемпературной плазмы с неоднородной поверхностью электродов в газоразрядных приборах", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "физико-математические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "диссертации и авторефераты" в общих файлах, а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст 5 страницы из PDF
Установлены закономерности процесса распыления в тлеющем разряде катода с тонкой диэлектрической пленкой, толщина которой периодически изменяется вдоль его поверхности. Показано, что уже при достаточномалой неравномерности толщины пленки бомбардирующий ее ионный потокявляется неоднородным и максимален на участках с наименьшей толщинойпленки. Это происходит вследствие существования фокусировки ионов наних, обусловленной нарушением однородности электрического поля у катода. Эффективный же коэффициент распыления принимает минимальные значения на участках с наименьшей толщиной пленки в результате того, что наних преимущественно фокусируются ионы с малыми энергиями, претерпевшие последнюю перезарядку вблизи катода. Поток распыленных атомов сучастков пленки с ее наименьшей толщиной имеет наибольшую величинувследствие большей плотности бомбардирующего их ионного потока, чтодолжно приводить к увеличению неравномерности толщины пленки в процессе ее распыления и к образованию в ней пор с течением времени.Основные результаты диссертации отражены в следующих работах:1.
Кристя В.И., Йе Наинг Тун. Влияние неоднородности ионного потокана распыление мишени с поверхностным рельефом в тлеющем разряде // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2013.№3. С. 109-112 (0,25 п.л./0,1 п.л.).2. Кристя В.И., Йе Наинг Тун. Расчет вклада ионов и быстрых атомов внеоднородность распыления мишени с поверхностным рельефом в тлеющемразряде // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2014. №3. С. 68-73 (0,38 п.л./0,18 п.л.).3.
Кристя В.И., Йе Наинг Тун. Моделирование влияния диэлектрическойпленки на поверхности электрода на переход тлеющего разряда в дуговой// Известия РАН. Серия физическая. 2014. Т. 78, № 6. С. 753-757 (0,3 п.л./0,1 п.л.).4. Кристя В.И., Йе Наинг Тун. Влияние оксидной пленки на поверхностикатода на энергетические распределения ионов и быстрых атомов в тлеющемразряде // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования.
2015. № 3. С. 74-80 (0,44 п.л./0,2 п.л.).5. Кристя В.И., Йе Наинг Тун. Влияние оксидной пленки на поверхностикатода на характеристики ионного потока, бомбардирующего его в тлеющемразряде // Тезисы докладов XLIV Международной конференции по физикевзаимодействия заряженных частиц с кристаллами. М.: МГУ, 2014. С. 146(0,06 п.л./0,04 п.л.).156. Кристя В.И., Йе Наинг Тун. Влияние диэлектрической пленки на поверхности катода на динамику перехода тлеющего разряда в дуговой // Взаимодействие ионов с поверхностью: Труды XXI Международной конференции.
Ярославль: ЯрГУ, 2013. Т. 2. С. 496-499 (0,25 п.л./0,1 п.л.).7. Кристя В.И., Йе Наинг Тун. Моделирование энергетических спектровпотоков частиц у искривленной поверхности электрода в тлеющем разряде// Наукоемкие технологии в приборо- и машиностроении и развитие инновационной деятельности в вузе: Материалы Всероссийской научнотехнической конференции. М.: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2012.
Т. 2. С. 141144 (0,25 п.л./0,15 п.л.).8. Кристя В.И., Йе Наинг Тун. Влияние неоднородности ионного потокана эффективный коэффициент распыления мишени с поверхностным рельефом в тлеющем разряде // Тезисы докладов XLII Международной конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. М.: МГУ,2012. С. 91 (0,06 п.л./0,02 п.л.).9. Кристя В.И., Йе Наинг Тун. Моделирование ионного распыления искривленной поверхности электрода в тлеющем разряде // Наукоемкие технологии в приборо- и машиностроении и развитие инновационной деятельности в вузе: Материалы Всероссийской научно-технической конференции.
М.:МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2013. Т. 3. С. 145-148 (0,25 п.л./0,12 п.л.).10. Кристя В.И., Йе Наинг Тун. Расчет вклада быстрых атомов в распыление мишени с поверхностным рельефом в тлеющем разряде // Тезисы докладов XLIII Международной конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. М.: МГУ, 2013. С. 68 (0,06 п.л./0,02 п.л.).11.
Кристя В.И., Йе Наинг Тун. Моделирование распыления поверхности электрода с диэлектрической пленкой переменной толщины в тлеющемразряде // Наукоемкие технологии в приборо- и машиностроении и развитиеинновационной деятельности в вузе: Материалы Всероссийской научнотехнической конференции. М.: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014. Т. 2. С. 300303 (0,25 п.л./0,15 п.л.).12. Кристя В.И., Йе Наинг Тун. Расчет характеристик распыления катодас диэлектрической пленкой переменной толщины в тлеющем разряде // Взаимодействие ионов с поверхностью: Труды XXII Международной конференции.
М.: МИФИ, 2015. Т. 3. С. 264-267 (0,25 п.л./0,1 п.л.).16Йе Наинг ТунИсследование взаимодействия низкотемпературной плазмы с неоднороднойповерхностью электродов в газоразрядных приборахАвтореферат диссертации на соискание ученой степеникандидата физико-математических наукПодписано в печать 14.10.2015г. Формат 60х84 1/16.Бумага офсетная. Печать офсетная. Печ. л. 1.Усл. печ.
л. 0,93. Тираж 100 экз. Заказ № 70Отпечатано в Редакционно-издательском отделеКалужского филиала МГТУ им. Н.Э. Баумана248000, г. Калуга, ул. Баженова, д. 2, тел. (4842) 57-31-87.
