ФХОМНТ_Журнал_катод_распыление (журналы и методы по фхомнту для всех 8ми семинаров также лекций чутка)
Описание файла
Файл "ФХОМНТ_Журнал_катод_распыление" внутри архива находится в папке "Семинар 8 Катодное распыление". Документ из архива "журналы и методы по фхомнту для всех 8ми семинаров также лекций чутка", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "формирование вакуумной среды и измерение её параметров (фхомнт)" из 3 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. .
Онлайн просмотр документа "ФХОМНТ_Журнал_катод_распыление"
Текст из документа "ФХОМНТ_Журнал_катод_распыление"
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Кафедра ИУ-4
«Проектирование и технология производства ЭС»
Журнал
практических работ
по курсу: «Физические основы микроэлектроники»
Для студентов приборостроительных специальностей
20 / учебный год
Студент Группа
(фамилия, и. о.)
Преподаватель_______________ Допуск к экзамену (зачету)___________ Подпись____________
(фамилия, и. о.) (число)
Москва
2019
Программа
к учебному плану направления подготовки 551100 (654300)
ПРОЕКТИРОВАНИЕ И ТЕХНОЛОГИЯ ЭЛЕКТРОННЫХ СРЕДСТВ,
специальностям
220500 Проектирование и технология электронно-вычислительных средств и
200800 Проектирование и технология радиоэлектронных средств.
| № | Виды учебных работ | Объем работ в часах | ||
| Всего | 6 сем. | |||
| На дисциплину | 144 | 144 | ||
| 1 | Аудиторная работа | 85 | 85 | |
| 1.1 | - лекции | 51 | 51 | |
| 1.2 | - семинары | 17 | 17 | |
| 1.3 | - лабораторные занятия | 17 | 17 | |
| 1.4 | Самостоятельная работа: | 59 | 59 | |
| Домашние задания: | - | - | ||
| Курсовая работа | - | - | ||
| Самостоятельное изучение раздела | ||||
| 1.5 | Виды отчетности по дисциплине | |||
| Контрольная работа | ||||
| Рубежный контроль | РК3 (15) | |||
| Зачеты | - | - | ||
| Экзамены | экзамен | |||
| Отчет по практической работе № 8 «Расчет технологических параметров катодного распыления поверхности мишени потоком ионов» | |||
| дата | Оценка | Бонус за сложность | подпись |
Цели работы:
Задачи работы:
Задание повышенной сложности (бонус за сложность – 5 баллов):
-реализация в среде MATLAB методики расчета нижеприведенных режимов катодного распыления с автоматизированным построением графика.
Краткий конспект теоретической части (ответы на контрольные вопросы в файле Катодное распыление.pdf)
| 1._________________________________________________________________________________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ 2. _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ 3. _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ 4. ____________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ 5._________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ 6. _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ 7. ______________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ 8._______________________ ________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ 9. _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ 10. _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ 11. _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ Табл.A. Ознакомление с необходимыми исходными данными:
Этапы расчетов и представления результатов _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ _____________________________________________________________________________ |
Номер варианта задания соответствует порядковому номеру ФИО студента в списке группы. Свой вариант задания следует выбрать из приложения №1 к данному журналу.
-
Расчет скорости осаждения материала мишени на подложку.
На рис.1 представлена модель распыления.
Атомы мишени
Подложка
Охладитель - Вода
Рис.1 Модель распыления
.
-
Определяем длину свободного пробега атома вещества мишени с массой М2, имеющего тепловую
![]()
энергию в газе аргон, состоящем из атомов массой М1.
где; d1 и d2 – эффективные диаметры атомов газа и мишени соответственно, нм.
p – давление газа, Па;
Величина d2 изменяется от 0,3 нм при М2 = 20 а.е.м. до 0,45 нм при М2 = 150 а.е.м. Для аргона d1 ~ 0,25 нм.,
Выбираем согласно варианту значение М1= [ а.е. ]
Выбираем согласно варианту давление Р= мм.рт.ст и преобразуем его в Па
P = Па
