Приложения (Пассивная элементная база ГИС СВЧ)
Описание файла
Файл "Приложения" внутри архива находится в папке "Пассивная элементная база ГИС СВЧ". Документ из архива "Пассивная элементная база ГИС СВЧ", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "электронные технологии (мт-11)" из 7 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "элионные технологии или тио" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "Приложения"
Текст из документа "Приложения"
Приложение 1. Технологические требования процеса нанесения тонких пленок из некоторых сплавов
| Материал | Метод напыления | Режимы напыления | |||||||
| Температура прогрева подложек до напыления, (ºС) | Предварительный вакуум до нагрева, (мм.рт.ст.). | Давление в камере при напылении, (мм.рт.ст.). | Время напыления на заслонку, (мин). | Скорость вращения барабана (карусели), (об/мин). | Температура стабилизации резистивного слоя, (ºС) | Время стабилизации резистивного слоя, (мин) | Температура подложки при разгерметизации камеры, (ºС) | ||
| РС-3710 | Ионно-плазменный | 190-210 | 2·10-5 | (4,5-7,5)·10-4 | 10-15 | 50-100 | 190-200 | 15 | 75-85 |
| РС-3710 | Термический | 300-320 | 5·10-5 | до 5·10-5 | 0,25 | 50-100 | 300-320 | 15 | 300-320 |
| Хром | Термический | 290-310 | 5·10-5 | до 5·10-5 | 0,25 | 50-100 | 290-310 | 15 | 75-85 |
| Нихром | Термический | 290-310 | 5·10-5 | до 5·10-5 | 0,25 | 50-100 | 290-310 | 15 | 75-85 |
| МНКБ | Ионно-плазменный | 190-210 | 2·10-5 | (4,5-7,5)·10-4 | 15 | 50-100 | 190-210 | 15 | 75-85 |
28
Приложение 2. Расчетные значения тонкопленочных резисторов из некоторых РС сплавов
| Номинал, Ом | Мощность рассеяния, Вт | РС-1004 | РС-1714 | РС-3001 | РС-3710 | РС-4400 | РС-4800 | ||||||
| Ширина, мкм | Длина, мкм | Ширина, мкм | Длина, мкм | Ширина, мкм | Длина, мкм | Ширина, мкм | Длина, мкм | Ширина, мкм | Длина, мкм | Ширина, мкм | Длина, мкм | ||
| 100 | 0,125 | 68,92 | 689,20 | 22,36 | 223,61 | 7,07 | 70,71 | 21,21 | 212,13 | 19,36 | 193,65 | 8,66 | 86,60 |
| 0,25 | 97,47 | 974,68 | 31,62 | 316,23 | 10,00 | 100,00 | 30,00 | 300,00 | 27,39 | 273,86 | 12,25 | 122,47 | |
| 0,5 | 137,84 | 1378,40 | 44,72 | 447,21 | 14,14 | 141,42 | 42,43 | 424,26 | 38,73 | 387,30 | 17,32 | 173,21 | |
| 200 | 0,125 | 48,73 | 487,34 | 15,81 | 158,11 | 5,00 | 50,00 | 15,00 | 150,00 | 13,69 | 136,93 | 6,12 | 61,24 |
| 0,25 | 68,92 | 689,20 | 22,36 | 223,61 | 7,07 | 70,71 | 21,21 | 212,13 | 19,36 | 193,65 | 8,66 | 86,60 | |
| 0,5 | 97,47 | 974,68 | 31,62 | 316,23 | 10,00 | 100,00 | 30,00 | 300,00 | 27,39 | 273,86 | 12,25 | 122,47 | |
| 300 | 0,125 | 39,79 | 397,91 | 12,91 | 129,10 | 4,08 | 40,82 | 12,25 | 122,47 | 11,18 | 111,80 | 5,00 | 50,00 |
| 0,25 | 56,27 | 562,73 | 18,26 | 182,57 | 5,77 | 57,74 | 17,32 | 173,21 | 15,81 | 158,11 | 7,07 | 70,71 | |
| 0,5 | 79,58 | 795,82 | 25,82 | 258,20 | 8,16 | 81,65 | 24,49 | 244,95 | 22,36 | 223,61 | 10,00 | 100,00 | |
| 505 | 0,125 | 30,67 | 306,69 | 9,95 | 99,50 | 3,15 | 31,47 | 9,44 | 94,40 | 8,62 | 86,17 | 3,85 | 38,54 |
| 0,25 | 43,37 | 433,73 | 14,07 | 140,72 | 4,45 | 44,50 | 13,35 | 133,50 | 12,19 | 121,87 | 5,45 | 54,50 | |
| 0,5 | 61,34 | 613,38 | 19,90 | 199,01 | 6,29 | 62,93 | 18,88 | 188,80 | 17,23 | 172,35 | 7,71 | 77,08 | |
| 1000 | 0,125 | 21,79 | 217,94 | 7,07 | 70,71 | 2,24 | 22,36 | 6,71 | 67,08 | 6,12 | 61,24 | 2,74 | 27,39 |
| 0,25 | 30,82 | 308,22 | 10,00 | 100,00 | 3,16 | 31,62 | 9,49 | 94,87 | 8,66 | 86,60 | 3,87 | 38,73 | |
| 0,5 | 43,59 | 435,89 | 14,14 | 141,42 | 4,47 | 44,72 | 13,42 | 134,16 | 12,25 | 122,47 | 5,48 | 54,77 | |
|
29 2000 | 0,125 | 15,41 | 154,11 | 5,00 | 50,00 | 1,58 | 15,81 | 4,74 | 47,43 | 4,33 | 43,30 | 1,94 | 19,36 |
| 0,25 | 21,79 | 217,94 | 7,07 | 70,71 | 2,24 | 22,36 | 6,71 | 67,08 | 6,12 | 61,24 | 2,74 | 27,39 | |
| 0,5 | 30,82 | 308,22 | 10,00 | 100,00 | 3,16 | 31,62 | 9,49 | 94,87 | 8,66 | 86,60 | 3,87 | 38,73 | |
| 3000 | 0,125 | 12,58 | 125,83 | 4,08 | 40,82 | 1,29 | 12,91 | 3,87 | 38,73 | 3,54 | 35,36 | 1,58 | 15,81 |
| 0,25 | 17,80 | 177,95 | 5,77 | 57,74 | 1,83 | 18,26 | 5,48 | 54,77 | 5,00 | 50,00 | 2,24 | 22,36 | |
| 0,5 | 25,17 | 251,66 | 8,16 | 81,65 | 2,58 | 25,82 | 7,75 | 77,46 | 7,07 | 70,71 | 3,16 | 31,62 | |
| 5000 | 0,125 | 9,75 | 97,47 | 3,16 | 31,62 | 1,00 | 10,00 | 3,00 | 30,00 | 2,74 | 27,39 | 1,22 | 12,25 |
| 0,25 | 13,78 | 137,84 | 4,47 | 44,72 | 1,41 | 14,14 | 4,24 | 42,43 | 3,87 | 38,73 | 1,73 | 17,32 | |
| 0,5 | 19,49 | 194,94 | 6,32 | 63,25 | 2,00 | 20,00 | 6,00 | 60,00 | 5,48 | 54,77 | 2,45 | 24,49 | |
| 10000 | 0,125 | 6,89 | 68,92 | 2,24 | 22,36 | 0,71 | 7,07 | 2,12 | 21,21 | 1,94 | 19,36 | 0,87 | 8,66 |
| 0,25 | 9,75 | 97,47 | 3,16 | 31,62 | 1,00 | 10,00 | 3,00 | 30,00 | 2,74 | 27,39 | 1,22 | 12,25 | |
| 0,5 | 13,78 | 137,84 | 4,47 | 44,72 | 1,41 | 14,14 | 4,24 | 42,43 | 3,87 | 38,73 | 1,73 | 17,32 | |
