КП_РЕФЕРАТ (Всякие документы к курсовому проекту)
Описание файла
Файл "КП_РЕФЕРАТ" внутри архива находится в папке "Всякие документы к курсовому проекту". Документ из архива "Всякие документы к курсовому проекту", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "электронные технологии (мт-11)" из 7 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "элионные технологии или тио" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "КП_РЕФЕРАТ"
Текст из документа "КП_РЕФЕРАТ"
Реферат
Обеспечение и контроль топологической точности многослойных структур
Записка 45 стр., 50 рисунков, 1 таблица.
Ключевые слова:
Фотолитография, топологические погрешности, зондовый контроль, погрешности размеров, прогнозирование, выход годных, Экспонирование, Оптические системы.
Графические работы в объеме 5 листов выполнены на ПК с помощью программы AutoCAD 2000 и CorelDraw 9.
Записка выполнена с использованием среды Word.
Целью настоящего проекта является проведение анализа проблемы достижения требуемой топологической точности многослойных микроструктур и контроля параметров точности в реальных производственных условиях.
Оценены требования к топологической точности основных изделий микротехнологии - интегральных микросхем, печатных плат, изделий микросистемотехники, рассмотрены особенности формирования и совмещения их топологических слоев.
На основании анализа методов экспонирования (проекционное, контактное и экспонирование со сканированием) выявлены основные факторы, влияющие на качество формируемого изображения.
Проведен расчет профиля изображения для печатных плат и с помощью программного обеспечния подобраны режимы экспонирования.
Показано, что для контроля совмещаемости и точности размеров наиболее перспективен зондовый метод, обладающий высокой производительностью и универсальностью. Проведен анализ тестовых структур для этого метода контроля.
Рассмотрены основные узлы и составляющие установок экспонирования. Выбрана принципиальная схема устройства для контактного экспонирования и для него спроектирована оснастка.
