Артефакты_Рубцова (Артефакты СЗМ)
Описание файла
Файл "Артефакты_Рубцова" внутри архива находится в папке "Артефакты СЗМ". Документ из архива "Артефакты СЗМ", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "метрология, стандартизация и сертификация (мсис)" из 11 семестр (3 семестр магистратуры), которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "лабораторные работы", в предмете "метрологическое обеспечение инновационных технологий" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "Артефакты_Рубцова"
Текст из документа "Артефакты_Рубцова"
Московский государственный технический университет имени Н.Э.Баумана
Ж У Р Н А Л
практического занятия
«Артефакты СЗМ»
Фамилия и инициалы студента____Рубцова Л.А.______________________
Факультет _____МТ________ Группа _____11-38_____ 2016 учебный год
Практическое занятие
«Артефакты СЗМ»
-
Цель работы:
Изучение источников артефактов в сканирующей зондовой микроскопии. Восстановить реальную геометрию объектов.
-
Анализ возможных искажений изображения вследствие неидеальности сканера
Заполните недостающие ячейки в таблице 1.
Таблица 1
| Источник искажения | Вид искажения |
| Нелинейность пьезокерамики | Изображение объектов микроструктур одинакового размера, отсканированных в начале и конце сканирования, будут иметь разные размеры |
| Гистерезис пьезокерамики | При прямом и обратном сканировании может возникнуть сдвиг области сканирования и изображения |
| Ползучесть пьезокерамики | При больших площадях и скоростях сканирования может возникнуть искажение начального участка |
| Температурный дрейф пьезокерамики | Температурный дрейф вдоль координаты z приводит к наклону плоскости образца на изображении. Вдоль координат x и y приводит к масштабированию изображения |
| Упругие деформации | Под действием зонда получаемое изображение искажается, что приводит к масштабированию изображения. Объекты, сравнимые с величиной деформации неразличимы |
| Конволюция зонда и образца | Появляется искажение реальной поверхности изображения |
| Загрязнение зонда | Происходит размазывание отображаемых деталей |
| Разрушение зонда | Иногда приводит к раздвоению изображения |
-
Описание исследуемого образца и параметров зонда (при наличии)
Заполните недостающие ячейки в таблице 2 сведениями об образце, соответствующем фрейму ________9____________ файла ________mt11.mdt______
| Параметр | Значение |
| Материал образца | Сферы SiO2 на поверхности ситалла |
| Особенности | Отдельные сферы или соприкасающиеся между собой |
| Геометрические параметры особенностей | Диаметр сфер 150..300 нм |
| Геометрические параметры зонда | Диаметр зонда 17.5 нм |
-
Анализ изображения образца и составление расчетной схемы
Изобразите расчетную схему для определения латеральной разрешающей способности.
где:
R и r – радиус кривизны зонда и объектов, Z – предел разрешения, d – латеральный предел
-
Результаты расчета ___________________________________________
Заполните таблицу 3
Таблица 3
| Значения геометрических параметров | Расчетное выражение | Результат расчета |
| R=17.5 нм r=75 нм Z=27 нм Θ=1 |
| d=151,4 нм |
|
| r≈76 нм |
-
Выводы
Сформулируйте краткие выводы по работе.
Исходя из того, что на точность измерения с помощью АСМ влияет множество факторов, которые связаны с особенностями зонда, материала, размерами и т.д., полученный рельеф отличается от реального. На практике, зная факторы, которые влияют на точность, можно приблизить полученные результаты к реальным.
Отметка о защите практической работы ___________________Дата_________________
ФИО преподавателя_______________________Подпись преподавателя______________
