Решение задачи №335
Условие задачи №335:
Назначение системы сканирования в установке ионной имплантации, принцип действия.Решение
Описание отсутствуетУстройство сканирования ионного пучка направляет сфокусированный ионный луч в нужное место мишени по заданной программе.
В оборудовании ионной имплантации применяются три способа сканирования: механическое, электростатическое и комбинированное. При механическом сканировании ионный луч не перемещается в перпендикулярных его движению направлениях, а перемещается мишень относительно луча в двух взаимно перпендикулярных направлениях. При электростатическом сканировании ускоренный потенциалом U ионный луч отклоняется от направления своего движения потенциалом Ur отклоняющих электродов длиной l и расстоянием между ними d на угол θ
Система сканирования должна обеспечивать однородность легирования поверхности, поэтому необходимо учитывать наклон мишени к направлению движения ионного пучка, неравномерность скорости сканирования луча при различных углах θ, диаметр или стороны сечения ионного пучка, неравномерность плотности ионного тока по сечению пучка