Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Системы автоматического управления (САУ) (МТ-11)Установка вакуумного нанесения тонких пленокУстановка вакуумного нанесения тонких пленок
2017-12-22СтудИзба

Курсовая работа: Установка вакуумного нанесения тонких пленок

Описание

Курсовой проект по САУ (Системы автоматического управления), который был выполнен в 2015-м году

«Установка вакуумного нанесения тонких пленок»


Москва, 2015


Оглавление

1. Введение. Описание интерфейсов установки. 4

2. Описание комплексной принципиальной схемы. 6

3. Описание процессной модели. 8

4. Описание программы управления установкой. 12

Работа с программой. 12

5. ТЗ и ТП на САУ установкой. 13

Общие требования к алгоритму управления. 13

Функции системы.. 13

Режимы работы. 13

Основные целевые процессы.. 14

Сервисные процессы.. 14

Построение аппаратной части САУ.. 14

Система исполнительных механизмов. 15

Система электропитания и электроавтоматики. 15

6. Документы сопровождающие комплексную принципиальную схему. 15

Перечень потоков и сигналов (ПС) 17

7. Информационный поиск элементов САУ.. 20

Модуль микроконтроллера CPU188-5. 20

Панель релейной коммутации TBR-8 Fastwel 22

Программируемые шаговые приводы.. 25

Шаговые двигатели AD-200-21. 25

Наиболее подходящий Программируемый блок управления шаговыми двигателями SMSD-4.2. 27

Рубильник ABB OT25F4N2. 42

Автоматический выключатель ABB S 203-D 20 NA.. 43

Автоматический выключатель ABB S 203-C 6. 43

Автоматический выключатель ABB S 201-C 3 NA.. 44

8. Расчет и описание принципиальной электрической схемы.. 46

Для определения места положения и порядка соединения элементов КПС при сборке или ремонте разработана принципиальная электрическая схема (Лист 4 – «Блок управления. Схема электрическая принципиальная» ). На схеме соединений представлены элементы БЭА и МП и их соединения. 46

9.Заключение. 47

10.Список литературы. 48



Аннотация

Курсовой проект содержит 5 графических листов, выполненных в пакете АСКОН КОМПАС V15. Расчетно-пояснительная записка выполнена в Microsoft Word 2010, содержит 48 листов. В проекте разработана система автоматического управления установкой нанесения тонких пленок металла.

1-ый лист (САУ К6-2-6.00.00.000 ПМ) содержит процессную модель работы САУ. На нем же содержатся 4 алгоритма работы отдельных процессов. Алгоритмы максимально облегчены для более понятного чтения, в РПЗ содержится подробное описание работы САУ.

2-ой и 3-ий листы (САУ К6-2-6.00.00.000 ФС) содержат комбинированную функциональную схему установки с указанием всех энергетических и управляющих сигналов, а также схема блочного соединения САУ.

На 4-ом листе (САУ К6-2-6.00.00.000 Э3) представлена принципиальная электрическая схема соединений САУ.

На 5-ом дополнительном листе представлен предполагаемый экран оператора с перечнем отображаемой информации на нем.


1.Введение. Описание интерфейсов установки

Основной целью курсового проектирования является закрепление знаний, полученных при изучении дисциплины САУ, применение их на практике в процессе разработки документации на САУ установки вакуумного нанесения тонких плёнок методом магнетронного распыления. Данная установка является установкой лабораторного типа. Поставлена задача разработки максимально эффективной САУ с учетом особенностей установки и протекающих процессов.

Общий вид установки представлен ниже:

Рис.1.1 Общий вид установки

Основными элементами являются:

·Вакуумная система (спиральный и турбомолекулярный насосы, система клапанов, вакуумные датчики)

·Камера (сталь 12Х18Н10Т, Vкам. = 13 )

·Газовая система (2 баллона с азотом и метаном, система клапанов)

·Система приводов (на подложкодержатель, на заслонку)

Технические требования:

1.Напряжение питания 3 50 Гц, 380 В/ 220 В

2.Давление охлаждающей воды 1,5 атм, расход не менее 0,5 м /ч, температура от 5 до 20 С

3.Сопротивление системы заземления не более 4 Ом

Технические характеристики:

1. Предельное давление в камере: Па

2. Время достижения в камере давления Па 62 мин

3. Ток разряда магнетрона - 0,6..2,2 А

4. Подача рабочих газов (аргон, метан) с точностью поддержания заданного расхода - не более 1%

5 Объём вакуумной камеры Vкам. = 13

Напыляемые образцы крепятся на оснастку внутри камеры, перемещения образцов осуществляется над магнетроном, процесс напыления прекращается по достижении пленкой определенной толщины.

Целевой интерфейс

Установка предназначена для вакуумного нанесения тонких пленок металла с использованием магнетрона на образцы с оптимальными габаритами 48х60 мм. Производительность зависит от конструкции оснастки.

Характеристики курсовой работы

Список файлов

  • Установка вакуумного нанесения тонких пленок
  • Лист (1).bak 476,97 Kb
  • Лист (1).cdw 171,64 Kb
  • Лист (1).jpg 1,16 Mb
  • Лист (1).pdf 220,42 Kb
  • Лист (2).cdw 563,21 Kb
  • Лист (2).jpg 1,22 Mb
  • Лист (2).pdf 185,18 Kb
  • Лист (3).cdw 275,2 Kb
  • Лист (3).jpg 1,53 Mb
  • Лист (3).pdf 119,63 Kb
  • Лист (4).cdw 479,24 Kb
  • Лист (4).jpg 1,53 Mb
  • Лист (4).pdf 159,45 Kb
  • Лист (5).cdw 545,72 Kb
  • Лист (5).jpg 1,45 Mb
  • Лист (5).pdf 165,42 Kb
  • Презентация.pptx 3,61 Mb
  • Прочти меня.txt 141 b
  • САУ.docx 3,49 Mb
Картинка-подпись
Хочешь зарабатывать на СтудИзбе больше 10к рублей в месяц? Научу бесплатно!
Начать зарабатывать

Комментарии

Поделитесь ссылкой:
Цена: 1 200 руб.
Расширенная гарантия +3 недели гарантии, +10% цены
Рейтинг-
0
0
0
0
0
Поделитесь ссылкой:
Сопутствующие материалы
Свежие статьи
Популярно сейчас
Почему делать на заказ в разы дороже, чем купить готовую учебную работу на СтудИзбе? Наши учебные работы продаются каждый год, тогда как большинство заказов выполняются с нуля. Найдите подходящий учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Нашёл ошибку?
Или хочешь предложить что-то улучшить на этой странице? Напиши об этом и получи бонус!
Бонус рассчитывается индивидуально в каждом случае и может быть в виде баллов или бесплатной услуги от студизбы.
Предложить исправление
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
5076
Авторов
на СтудИзбе
455
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее