Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Системы автоматического управления (САУ) (МТ-11)Установка вакуумного напыления реактивным магнетронным методомУстановка вакуумного напыления реактивным магнетронным методом
2017-12-22СтудИзба

Курсовая работа: Установка вакуумного напыления реактивным магнетронным методом

Описание

Курсовой проект по САУ, который был выполнен, сдан и защищён в 2014-м году
Чертежи в PDF

«ОСНОВЫ ПРОЕКТИРОВАНИЯ СИСТЕМ АВТОМАТИЧЕСКОГО

УПРАВЛЕНИЯ ОБОРУДОВАНИЕМ ЭЛЕКТРОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ»


по теме:

УСТАНОВКА ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ РЕАКТИВНЫМ МАГНЕТРОННЫМ МЕТОДОМ


г. Москва, 2014


Реферат

Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ, а также правилами и методами составления технического задания на программное обеспечение САУ.

Курсовой проект содержит 5 графических листов, выполненных в пакете КОМПАС-3D V13. Записка по проекту объёмом 38 страниц машинописного текста, выполнена в программе Microsoft Word 2010. Отчёт содержит введение; пять основных разделов, содержащих 24 рисунка, 2 таблицы, заключение и список использованных источников.

1-й лист (КПС) содержит комплексную принципиальную схему САУ.

2-й лист (ФС) содержат комбинированную функциональную схему установки с указанием всех энергетических и управляющих сигналов.

3-й и 4-й листы (ЭЗ) содержит принципиальную электрическую схему соединений САУ

5-й лист (ПМ) содержит процессную модель САУ.



Ключевые слова:

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА, РЕАКТИВНОЕ МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, СИСТЕМА АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ.



Содержание


Введение. 6

1 Описание установки и ее интерфейсов. 7

2 Процессная модель. 9

2.1 Целевые функции. 9

2.2 Сервисные функции. 11

2.3 Программа управления. 12

3 Описание комплексно-принципиальной схемы.. 14

3.1 Перечень сигналов системы управления. 14

3.2 Перечень элементов системы.. 17

4 Информационный поиск элементов САУ и исполнительных механизмов. 18

4.1 Элементы САУ.. 18

4.1.1 Контроллер ADAM-5510E/TCP. 18

4.1.2 Блок управления шаговыми двигателями SMSD-1.5. 19

4.2 Элементы вакуумной системы.. 19

4.2.1 Механический насос Edwards E2M40. 20

4.2.2 Турбомолекулярный насос Edwards Next400D.. 20

4.2.3 Отсечные электромагнитные клапаны VAT KE61. 21

4.2.4 Натекатель атмосферы электромагнитный. 22

4.2.5 Термопарный датчик вакуума APG.. 22

4.2.6 Датчик вакуума WRG.. 23

4.2.7 Затвор тарельчатого типа VAT 651 AG.. 24

4.3 Элементы газовой системы.. 24

4.3.1 Отсечной электромагнитный клапан SMC XSA 1. 24

4.3.2 Регулятор расхода газа. 25

4.4 Элементы нагревательной системы.. 26

4.4.1 Нагревательный узел. 26

4.4.2 Датчик термопарный ТП.ХК(L) 26

4.5 Элементы охлаждения. 27

4.5.1 Клапан для водяного охлаждения PF2D5. 27

4.5.2 Датчик расхода. 27

4.6 Электродвигатель FL20STH.. 28

4.7 Источники питания. 29

4.7.1 Магнетрон. 29

4.7.2 Автономный источник ионов PLATECH DPS-5C-BV1700. 30

4.7.3 Нормирующего преобразователя ОВЕН НПТ1. 30

4.7.4 Блок питания 24 В RS-75-24 (RS-150-24, RS-15-24) 31

4.8 Силовое оборудование. 31

4.8.1 Рубильник ABB OT25F4N2. 31

4.8.2 Автоматический выключатель ABB S 203-D 20 NA.. 32

4.8.3 Автоматический выключатель ABB S 203-C 6. 32

4.8.4 Реле ABB CR-P024DC2. 33

4.8.5 Клеммы Conta-Clip ZSRK 2.5. 34

5 Описание принципиальной электрической схемы.. 35

Заключение. 36

Приложения. 38


Введение

Автоматизация производства – это процесс в развитии машинного производства, при котором функции управления и контроля, ранее выполнявшиеся человеком, передаются приборам и автоматическим устройствам. Автоматизация производства - это основа развития современной промышленности, генеральное направление технического прогресса. Его целью является повышение эффективности труда, улучшение качества выпускаемой продукции, создание условий для оптимального использования всех ресурсов производства. Без управляющей электроники уже не может обойтись ни одна отрасль промышленности, особенно, электронное машиностроение, где необходимо управление множеством технологических параметров при высочайшей точности и жестких требованиях к соблюдению технологии.

При реактивном магнетронном распылении, из-за наличия реактивного газа, мишень может находиться в двух состояниях: «отравленном» и «неотравленном». В каждом состоянии параметры процесса нанесения покрытия различаются. Процесс перехода из «неотравленного» в «отравленное» протекает очень быстро, а обратно -медленно и требует уменьшения потока газа. В результате процесс протекает нестабильно. Для стабилизации процесса необходимо следить за множеством параметров и при их изменении принимать решения по стабилизации. Оператору данная работа не по силам, в то время как компьютер справляется с задачей хорошо. Это связанно с тем, что процесс реактивного магнетронного распыления хорошо изучен, и разработаны алгоритмы стабилизации процесса.



Характеристики курсовой работы

Список файлов

  • Установка вакуумного напыления реактивным магнетронным методом
  • Презентация.pdf 648,38 Kb
  • Прочти меня.txt 141 b
  • САУ.docx 1,57 Mb
  • Чертёж (1).pdf 36,79 Kb
  • Чертёж (2).pdf 443,17 Kb
  • Чертёж (3).pdf 42,39 Kb
  • Чертёж (4).pdf 23,93 Kb
  • Чертёж (5).pdf 64,15 Kb
Картинка-подпись
Хочешь зарабатывать на СтудИзбе больше 10к рублей в месяц? Научу бесплатно!
Начать зарабатывать

Комментарии

Поделитесь ссылкой:
Цена: 1 200 руб.
Расширенная гарантия +3 недели гарантии, +10% цены
Рейтинг-
0
0
0
0
0
Поделитесь ссылкой:
Сопутствующие материалы
Свежие статьи
Популярно сейчас
Зачем заказывать выполнение своего задания, если оно уже было выполнено много много раз? Его можно просто купить или даже скачать бесплатно на СтудИзбе. Найдите нужный учебный материал у нас!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Нашёл ошибку?
Или хочешь предложить что-то улучшить на этой странице? Напиши об этом и получи бонус!
Бонус рассчитывается индивидуально в каждом случае и может быть в виде баллов или бесплатной услуги от студизбы.
Предложить исправление
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
5075
Авторов
на СтудИзбе
455
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее