Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Системы автоматического управления (САУ) (МТ-11)Малогабаритная установка вакуумного нанесения тонких пленокМалогабаритная установка вакуумного нанесения тонких пленок
2017-12-22СтудИзба

Курсовая работа: Малогабаритная установка вакуумного нанесения тонких пленок

Описание

В год конца света по календарю Майя (2012) был выполнен и сдан данный курсовой проект

Курсовой проект


На тему: «Малогабаритная установка вакуумного нанесения тонких пленок»


Расчетно-пояснительная записка


Москва, 2012 г.


Содержание


Содержание. 2

1. Введение. 3

2. Описание процессной модели.. 4

2.1 Деление технологии напыления тонких плёнок методом магнетронного распыления на процессы 4

2.2 Выбор сервисных функций.. 7

2.3 Выбор функций коррекции цели.. 7

3. Техническое задание на программу управления технологическим процессом.. 8

4.Описание комплексной принципиальной схемы... 11

6. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ.. 12

6.1 ТЗ на элементы САУ.. 12

6.2 ТЗ на элементы вакуумной системы... 14

6.3 ТЗ на силовой модуль и источники питания. 16

7. Расчет и описание принципиальной электрической схемы... 18

Для определения места положения и порядка соединения элементов КПС при сборке или ремонте разработана схема соединений (Лист 4 – «Схема соединений» ). На схеме соединений представлены элементы БЭА и МП и их соединения. Исполнительные механизмы на лист не вынесены в силу нехватки места, но на них даны ссылки (контакты поименованы в соответствии с элементом, на который идет сигнал). Ошибка! Закладка не определена.

8. Заключение. 19

Список литературы.. 20


1. Введение


Производственное оборудование становится всё более автоматизированным во многих сферах его применения. Без управляющей электроники уже не может обойтись ни одна отрасль промышленности, особенно электронное машиностроение, где необходимо управление множеством технологических параметров при высочайшей точности и жестких требованиях к соблюдению технологии.

При конструировании необходимо:

  • внимательно изучить и продумать все возможные варианты применения САУ в данной конструкции и выбрать оптимальный из этих вариантов, как по цене, так и по сложности изготовления и эксплуатации;
  • обеспечить проектируемое оборудование более высоким сроком службы, то есть, чтобы его физическое и моральное старение настало как можно позже (для этого в конструкцию изделия заранее закладывают модули, которые легко можно заменить или доработать).

Целью данного курсового проекта является автоматизация процессов нанесения тонкопленочных покрытий на малогабаритной вакуумной установке модульного типа, овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок электронных компонентов оборудования САУ.

К механическому интерфейсу установки относятся:

  • клапана;
  • затворы;
  • вентиля;

К энергетическому интерфейсу установки относятся:

  • блоки питания;
  • контроллеры;
  • ПК.

Задачи проекта состоят в:

  • распределении функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций;
  • постановке четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов;
  • выполнении технической документации на электронные компоненты.

Для упрощения работы оператора и повышения производительности предложен вариант полностью автоматизированной установки вместо существующей установки с ручным управлением.

Курсовой проект выполнен в объеме ___и листов А1 и расчетно-пояснительной записки. На первом листе приведены алгоритм протекания процессов работы установки, таблица процессов (процессная модель). На втором, третьем – комплексная принципиальная схема установки: механика, энергообеспечение, системы автоматического управления. На четвертом листе - принципиальная схема электрических соединений. На пятом листе – общий вид экрана монитора с управляющей программой. В расчетно-пояснительной записке приведены необходимые пояснения и расчеты, отражены принципы построения СУ установки, даны описания листов проекта.


2. Описание процессной модели


В данном курсовом проекте разработана процессная модель автоматического управления малогабаритной вакуумной установкой модульного типа (см. Лист 1 – «Процессная модель» ).


Перед нанесением тонкопленочного покрытия методом магнетронного распыления очищенная подложка закрепляется на подложкодержатель-анод внутри камеры установки. Затем производится предварительная откачка камеры до низкого давления, дальнейшая откачка камеры до высокого вакуума (10-1 Па) и получение покрытия путем распыления мишени из наносимого материала. В момент начала и в процессе осаждения одновременно с подачей напряжения и тока производится замер давления в камере (предусмотрена подача рабочих газов в камеру и регулировка потока натекания).

Измерение температуры проводятся с помощью термопары (помещенной внутрь камеры), сигнал с которой через нормализующий преобразователь НП002 поступает на микроконтроллер и в последствии обрабатывается. Давление в камере определяется обработкой сигналов ac_WRG от вакуумметра WRG. Подача рабочих газов и регулировка потока натекания осуществляется регулятором расхода газа PSV1 и PSV2 по соответствующим сигналам.



Характеристики курсовой работы

Список файлов

  • Малогабаритная установка вакуумного нанесения тонких пленок
  • ОБОРУДОВАНИЕ
  • IMG_0003.pdf 468,1 Kb
  • RS401.pdf 53,55 Kb
  • Дат_Темп
  • ADAM-3011_MN.pdf 153,82 Kb
  • ADAM-3013_DS.pdf 54,22 Kb
  • ADAM-4118_DS.pdf 88,17 Kb
  • ADR391_392_395.pdf 425,12 Kb
  • OP196_296_496.pdf 287,98 Kb
  • Pt-R_Терраэл
  • 700S.pdf 791,66 Kb
  • HEL-700-T-1.pdf 586,68 Kb
  • HEL-700-U-1.pdf 586,68 Kb
  • HEL-705-T-1-12-00.pdf 25,77 Kb
  • HEL-707-T-0-12-00.pdf 25,77 Kb
  • hstimagebroschuere.pdf 857,75 Kb
  • Дат_Платан.pdf 101,82 Kb
  • Схема.doc 30 Kb
  • SMD_dim.pdf 186,67 Kb
  • TIP31.pdf 37,67 Kb
  • rie_npt_918.pdf 220,1 Kb
  • trm1.pdf 327,08 Kb
  • trm502.pdf 198,17 Kb
  • xtr116.pdf 425,76 Kb
  • xtr116_нов.pdf 227,02 Kb
  • Архив
  • Д_т.dwg 171,84 Kb
  • Д_т1.dwg 215,97 Kb
  • Д_т1.dwg 215,97 Kb
  • Д_т2.dwg 257,59 Kb
  • Д_т2_С.dwg 253,88 Kb
  • Испытания.xls 21 Kb
  • Нал_резистор.doc 23 Kb
  • Описание_схемы.doc 132,5 Kb
  • Описание_схемы_.doc 162 Kb
  • Подкл_ДТ.jpg 30,57 Kb
  • Расч_сх1.jpg 36,24 Kb
  • Расчет (version 2)(1).xls 41 Kb
  • Расчет (version 2).xls 38 Kb
  • Расчет(1).xls 33 Kb
  • Расчет.xls 33 Kb
  • Схема1.jpg 61,08 Kb
  • ДрайвераШД
  • SMC-program.doc 122 Kb
  • cp210x
  • cp210x.doc 60,5 Kb
  • CP210x
  • CP210xManufacturing.dll 80 Kb
Картинка-подпись
Хочешь зарабатывать на СтудИзбе больше 10к рублей в месяц? Научу бесплатно!
Начать зарабатывать

Комментарии

Поделитесь ссылкой:
Цена: 1 200 руб.
Расширенная гарантия +3 недели гарантии, +10% цены
Рейтинг-
0
0
0
0
0
Поделитесь ссылкой:
Сопутствующие материалы
Свежие статьи
Популярно сейчас
А знаете ли Вы, что из года в год задания практически не меняются? Математика, преподаваемая в учебных заведениях, никак не менялась минимум 30 лет. Найдите нужный учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Нашёл ошибку?
Или хочешь предложить что-то улучшить на этой странице? Напиши об этом и получи бонус!
Бонус рассчитывается индивидуально в каждом случае и может быть в виде баллов или бесплатной услуги от студизбы.
Предложить исправление
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
5076
Авторов
на СтудИзбе
455
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее