Курсовая работа: Вакуумная малогабаритная установка формирования покрытий магнетронным распылением
Описание
Расчетно-пояснительная записка к курсовому проекту
по курсу
«Основы проектирования систем автоматического
управления оборудованием электронных технологий»
на тему
«Малогабаритная вакуумная установка
магнетронного рапыления »
Москва — 2011 г
ЗАДАНИЕ
на курсовой проект по курсу «Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий».
Тема проекта: Малогабаритная вакуумная установка
магнетронного рапыления
1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.
2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.
3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Дать техническое задание и техническое предложение на САУ и основные элементы машины.
4. Разработать принципиальную электрическую схему элемента САУ или САУ в целом.
Содержание графической части.
- Процессная модель машины..................................................1 л.
- Экран пользователя................................................................1л.
- Комплексная принципиальная схема....................................2 л.
- Принципиальная электрическая схема..................................1 л.
Содержание расчетно-пояснительной записки.
- Введение. Описание целевого, механического и энергетического интерфейса спроектированной технологической машины.
- Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
- Техническое задание и техническое предложение на систему управления машины по приведенной в Приложении 1 форме.
- Описание комплексной принципиальной схемы ФС. Обоснование структурно-компоновочного решения, выбор и согласование уровней потоков элементов.
- Документы, сопровождающие комплексную принципиальную схему:
- перечень элементов ПЭ;
- перечень потоков и сигналов ПС;
- технические задания на основные подсистемы и узлы машины ТЗ.
- Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов ОЭ.
- Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
- Заключение.
Содержание
1.1 Откачка рабочей камеры.. 6
1.2 Напуск рабочего газа и регулирование потока газонатекания. 7
1.4 Процесс завершения работы установки. 8
1.5 Процесс аварийного отключения. 8
1.7 Выбор сервисных функций. 9
1.8 Выбор функций коррекции цели. 10
1.9 Программа управления технологическим процессом.. 10
1. 2 Функциональная схема установки. 12
2.1 Система питания и энергообеспечения. 15
2. 3 Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ.. 20
3.2 Исполнительные элементы.. 21
3. 4 Электрическая схема соединений. 28
Целью курсового проекта является автоматизация процессов нанесения тонкопленочных покрытий на малогабаритной установке формирования покрытий методом магнетронного распыления.
Малогабаритная вакуумная установка предназначена для нанесения плёнок металлов методом магнетронного распыления материала мишени при проведении научных исследований, отработки технологических процессов и мелкосерийного производства.
Рис. 1. Объёмное изображение малогабаритной вакуумной установки.
Технические характеристики:
- Диаметр пластин, мм 50 - 100
- Количество одновременно обрабатываемых пластин - 4
- Остаточное давление в камере реактора, не хуже, мм.рт.ст. - 1*10-5
- Рабочее давление в реакторе в диапазоне, мм.рт.ст. - 10-2÷5*10-3
- Технологический газ - аргон
- Система откачки – безмасляным турбомолекулярным и форвакуумным насосами
- Датчики давления – на весь диапазон давлений
Установка должна работать с кремниевыми пластинами диаметром до 100мм и отвечать требованиям стандартов SEMI в том числе и по базовому срезу. Загрузка пластины в камеру ручная. Помимо подложкодержателя и магнетрона, в камере находится заслонка цилиндрического типа и нагреватель подложек. Заслонка служит для того, чтобы можно было проводить вакуумную очистку магнетрона без вреда для пластин. Нагреватель универсальный необходим для нагрева образцов, с целью лучшей адгезии покрытия на поверхности подложек.
Вакуумная камера откачивается до рабочего давления при помощи стандартного, покупного вакуумного откачного поста Turbolab, в который входят турбомолекулярный высоковакуумный безмасляный насос и форвакуумный (мембранный) насос.
В данном курсовом проекте будет произведена автоматизация процессов нанесения тонкопленочных покрытий на малогабаритной вакуумной установке формирования покрытий методом магнетронного распыления.Характеристики курсовой работы
Список файлов
- Вакуумная малогабаритная установка формирования покрытий магнетронным распылением
- Задание.doc 27,5 Kb
- Лист (1).pdf 296,58 Kb
- Лист (2).pdf 65,77 Kb
- Лист (3).pdf 33,98 Kb
- Лист (4).pdf 251,76 Kb
- Лист (5).pdf 99,37 Kb
- Презентация.ppt 1,3 Mb
- Прочти меня.txt 141 b
- САУ.doc 1,04 Mb
- Чертежи.dwg 683,72 Kb
Начать зарабатывать