Главная » Учебные материалы » Системы автоматического управления (САУ) (МТ-11) » Курсовые работы » МГТУ им. Н.Э.Баумана » 11 семестр (3 семестр магистратуры) » Вакуумная малогабаритная установка формирования покрытий магнетронным распылением
Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Системы автоматического управления (САУ) (МТ-11)Вакуумная малогабаритная установка формирования покрытий магнетронным распылениемВакуумная малогабаритная установка формирования покрытий магнетронным распылением
2017-12-22СтудИзба

Курсовая работа: Вакуумная малогабаритная установка формирования покрытий магнетронным распылением

Описание

Готовая курсовая работа, которая была защищена в 2011-м году

Расчетно-пояснительная записка к курсовому проекту

по курсу

«Основы проектирования систем автоматического

управления оборудованием электронных технологий»

на тему

«Малогабаритная вакуумная установка
магнетронного рапыления
»

Москва — 2011 г



ЗАДАНИЕ

на курсовой проект по курсу «Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий».


Тема проекта: Малогабаритная вакуумная установка
магнетронного рапыления


1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.

2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.

3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Дать техническое задание и техническое предложение на САУ и основные элементы машины.

4. Разработать принципиальную электрическую схему элемента САУ или САУ в целом.


Содержание графической части.

  1. Процессная модель машины..................................................1 л.
  2. Экран пользователя................................................................1л.
  3. Комплексная принципиальная схема....................................2 л.
  4. Принципиальная электрическая схема..................................1 л.


Содержание расчетно-пояснительной записки.

  1. Введение. Описание целевого, механического и энергетического интерфейса спроектированной технологической машины.
  2. Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
  3. Техническое задание и техническое предложение на систему управления машины по приведенной в Приложении 1 форме.
  4. Описание комплексной принципиальной схемы ФС. Обоснование структурно-компоновочного решения, выбор и согласование уровней потоков элементов.
  5. Документы, сопровождающие комплексную принципиальную схему:
  6. перечень элементов ПЭ;
  7. перечень потоков и сигналов ПС;
  8. технические задания на основные подсистемы и узлы машины ТЗ.
  9. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов ОЭ.
  10. Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
  11. Заключение.

Содержание

Введение. 4

1.1 Откачка рабочей камеры.. 6

1.2 Напуск рабочего газа и регулирование потока газонатекания. 7

1.3 Процесс нанесения. 7

1.4 Процесс завершения работы установки. 8

1.5 Процесс аварийного отключения. 8

1.6 Таблица процессов. 8

1.7 Выбор сервисных функций. 9

1.8 Выбор функций коррекции цели. 10

1.9 Программа управления технологическим процессом.. 10

1. 2 Функциональная схема установки. 12

2.1 Система питания и энергообеспечения. 15

2. 3 Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ.. 20

3.1 Контроллер PLC.. 20

3.2 Исполнительные элементы.. 21

3.3 Источники питания. 27

3. 4 Электрическая схема соединений. 28

Заключение. 29

Литература. 30

3.1. 30



Введение


Целью курсового проекта является автоматизация процессов нанесения тонкопленочных покрытий на малогабаритной установке формирования покрытий методом магнетронного распыления.

Малогабаритная вакуумная установка предназначена для нанесения плёнок металлов методом магнетронного распыления материала мишени при проведении научных исследований, отработки технологических процессов и мелкосерийного производства.


Рис. 1. Объёмное изображение малогабаритной вакуумной установки.


Технические характеристики:

  • Диаметр пластин, мм 50 - 100
  • Количество одновременно обрабатываемых пластин - 4
  • Остаточное давление в камере реактора, не хуже, мм.рт.ст. - 1*10-5
  • Рабочее давление в реакторе в диапазоне, мм.рт.ст. - 10-2÷5*10-3
  • Технологический газ - аргон
  • Система откачки – безмасляным турбомолекулярным и форвакуумным насосами
  • Датчики давления – на весь диапазон давлений


Установка должна работать с кремниевыми пластинами диаметром до 100мм и отвечать требованиям стандартов SEMI в том числе и по базовому срезу. Загрузка пластины в камеру ручная. Помимо подложкодержателя и магнетрона, в камере находится заслонка цилиндрического типа и нагреватель подложек. Заслонка служит для того, чтобы можно было проводить вакуумную очистку магнетрона без вреда для пластин. Нагреватель универсальный необходим для нагрева образцов, с целью лучшей адгезии покрытия на поверхности подложек.

Вакуумная камера откачивается до рабочего давления при помощи стандартного, покупного вакуумного откачного поста Turbolab, в который входят турбомолекулярный высоковакуумный безмасляный насос и форвакуумный (мембранный) насос.

В данном курсовом проекте будет произведена автоматизация процессов нанесения тонкопленочных покрытий на малогабаритной вакуумной установке формирования покрытий методом магнетронного распыления.

Характеристики курсовой работы

Список файлов

  • Вакуумная малогабаритная установка формирования покрытий магнетронным распылением
  • Задание.doc 27,5 Kb
  • Лист (1).pdf 296,58 Kb
  • Лист (2).pdf 65,77 Kb
  • Лист (3).pdf 33,98 Kb
  • Лист (4).pdf 251,76 Kb
  • Лист (5).pdf 99,37 Kb
  • Презентация.ppt 1,3 Mb
  • Прочти меня.txt 141 b
  • САУ.doc 1,04 Mb
  • Чертежи.dwg 683,72 Kb
Картинка-подпись
Хочешь зарабатывать на СтудИзбе больше 10к рублей в месяц? Научу бесплатно!
Начать зарабатывать

Комментарии

Поделитесь ссылкой:
Цена: 1 200 руб.
Расширенная гарантия +3 недели гарантии, +10% цены
Рейтинг-
0
0
0
0
0
Поделитесь ссылкой:
Сопутствующие материалы
Свежие статьи
Популярно сейчас
Как Вы думаете, сколько людей до Вас делали точно такое же задание? 99% студентов выполняют точно такие же задания, как и их предшественники год назад. Найдите нужный учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Нашёл ошибку?
Или хочешь предложить что-то улучшить на этой странице? Напиши об этом и получи бонус!
Бонус рассчитывается индивидуально в каждом случае и может быть в виде баллов или бесплатной услуги от студизбы.
Предложить исправление
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
5076
Авторов
на СтудИзбе
455
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее