Курсовая работа: Установка осмирования катодных узлов ЭВП
Описание
Расчётно-пояснительная записка
к курсовому проекту по курсу
"Системы автоматического управления"
Тема проекта:
“Установка Осмирования катодных узлов ЭВП”
Москва, 2010 г.
ЗАДАНИЕ
на курсовой проект по курсу
«Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий».
Тема проекта: Установка осмирования катодных узлов ЭВП
1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.
2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.
3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Дать техническое задание и техническое предложение на САУ и основные элементы машины.4. Разработать принципиальную электрическую схему элемента САУ или САУ в целом.
Содержание графической части.
1. Процессная модель машины..................................................1 л.
2. Комплексная принципиальная схема....................................2л.
3. Принципиальная электрическая схема..................................1 л.
1.Введение. Описание целевого, механического и энергетического интерфейса спроектированной технологической машины.
2.Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
3.Техническое задание и техническое предложение на систему управления машины.
4. Описание комплексной принципиальной схемы ФС. Обоснование структурно-компоновочного решения, выбор и согласование уровней потоков элементов.
5. Документы, сопровождающие комплексную принципиальную схему:
-перечень элементов ПЭ;
-перечень потоков и сигналов ПС;
6. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов ОЭ.
7. Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
8. Заключение.
Содержание
Реферат...................................................................................................... 4
Введение................................................................................................... 5
Целевой интерфейс........................................................................... 6
Механический интерфейс................................................................. 7
Энергетический интерфейс............................................................... 7
Информационный интерфейс............................................................ 7
Процессная модель.................................................................................... 7
Деление технологии напыления на процессы................................... 9
Выбор сервисных функций............................................................. 15
Выбор функций коррекции цели..................................................... 15
ТЗ и ТП на САУ установкой................................................................... 17
Построение аппаратной части САУ........................................................ 18
Документы, сопровождающие КПС........................................................ 20
Перечень элементов........................................................................ 20
Перечень потоков и сигналов.......................................................... 21
Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ.................................................................................................... 22
СPM902........................................................................................... 22
DIM714............................................................................................ 24
DIM713............................................................................................ 25
DIM760............................................................................................ 26
DIM719............................................................................................ 27
AIM726............................................................................................ 28
AIM731............................................................................................ 29
OM750............................................................................................. 30
Расчет и описание принципиальной электрической схемы.................... 39
Заключение............................................................................................. 40
Список литературы................................................................................. 41
Курсовой проект содержит 4 графических листа, выполненных в пакете AutoCAD 2007. Расчетно-пояснительная записка выполнена в Microsoft Word 2007, содержит 40 листов. В проекте разработана система автоматического управления установкой нанесения пленок тугоплавких металлов на различные поверхности.
1-ый лист (К6-2-12.00.00.000ПМ) содержит процессную модель работы САУ. На нем же содержатся 9 алгоритмов работы отдельных процессов.
2-ой и 3-ий листы (К6-2-12.00.00.000ФС) содержат комплексную принципиальную схему установки с указанием всех энергетических и управляющих сигналов, на листах так же представлена схема блочного соединения САУ.
На 4-ом листе (К6-2-12.00.00.000Э) представлена схема соединений САУ.
1.Описание интерфейсов установки
Основной целью курсового проектирования является закрепление знаний, полученных при изучении дисциплины САУ, применение их на практике в процессе разработки документации на САУ установки осмирования катодных узлов ЭВП. Данная установка предназначена для ионного травления и напыления пленок осмия (Os) на различные катодные узлы. Поставлена задача разработки максимально эффективной САУ с учетом особенностей установки и протекающих процессов.
Общий вид установки представлен ниже (рис 1):
Рис. 1
Основными элементами являются:
·Вакуумная система (турбомолекулярный и пластинчато-роторный механический насосы, система клапанов, вакуумные датчики)
·Камера (нержавеющая сталь, цилиндр: ø520 мм, высота 420 мм)
·Система напыления (АИИ+ магнетрон)
·Газовая система (баллон с азотом или аргоном, система клапанов)
·Система пневмо-приводов (подъем крышки камеры и работа вакуумного затвора)
Технические требования:
1.Напряжение питания 3 50 Гц, 380 В/ 220 В
2.Давление охлаждающей воды 1,5 атм, расход не менее 0,5 м /ч, температура от 5 до 20 С
3.Сопротивление системы заземления не более 4 Ом
Технические характеристики:
1. Предельное давление в камере – 10-7 Торр
2. Рабочее давление АИИ - 5*10-3 Торр
3. Рабочее давление магнетрона (3..8)*10-3 Торр
4. Время достижения в камере давления 10-2 Торр - порядка 20 мин
5. Ток разряда магнетрона - 0,6..2,2 А
6. Подача рабочих газов (аргон, азот) с точностью поддержания
заданного расхода - не более 1%
7. Частота вращения подложки – 10 об/мин , нерегулируемая
8 Внутренний диаметр камеры - 500 мм
9. Эксцентриситет магнетрона и подложки - 25 мм
Напыляемые катодные узлы устанавливаются на оснастку и с помощью карусели перемещаются от АИИ к магнетрону.
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- Установка осмирования катодных узлов ЭВП
- Презентация.ppt 816,5 Kb
- Прочти меня.txt 141 b
- САУ.docx 3 Mb
- Чертёж (1).dwg 152,5 Kb
- Чертёж (2).dwg 89,22 Kb
- Чертёж (3).dwg 95,03 Kb
- Чертёж (4).dwg 75,38 Kb
Начать зарабатывать