Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Системы автоматического управления (САУ) (МТ-11)Установка осмирования катодных узлов ЭВПУстановка осмирования катодных узлов ЭВП
2017-12-22СтудИзба

Курсовая работа: Установка осмирования катодных узлов ЭВП

Описание

Курсовая работа по САУ 2010-го года (сдана и защищена)

Расчётно-пояснительная записка

к курсовому проекту по курсу

"Системы автоматического управления"


Тема проекта:

“Установка Осмирования катодных узлов ЭВП”


Москва, 2010 г.



ЗАДАНИЕ

на курсовой проект по курсу

«Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий».


Тема проекта: Установка осмирования катодных узлов ЭВП


1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.

2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.

3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Дать техническое задание и техническое предложение на САУ и основные элементы машины.
4. Разработать принципиальную электрическую схему элемента САУ или САУ в целом.


Содержание графической части.

1. Процессная модель машины..................................................1 л.

2. Комплексная принципиальная схема....................................2л.

3. Принципиальная электрическая схема..................................1 л.


Содержание расчетно-пояснительной записки.

1.Введение. Описание целевого, механического и энергетического интерфейса спроектированной технологической машины.

2.Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.

3.Техническое задание и техническое предложение на систему управления машины.

4. Описание комплексной принципиальной схемы ФС. Обоснование структурно-компоновочного решения, выбор и согласование уровней потоков элементов.

5. Документы, сопровождающие комплексную принципиальную схему:

-перечень элементов ПЭ;

-перечень потоков и сигналов ПС;

6. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов ОЭ.

7. Расчет и описание принципиальной электрической схемы.

8. Заключение.



Содержание

Реферат...................................................................................................... 4

Введение................................................................................................... 5

Целевой интерфейс........................................................................... 6

Механический интерфейс................................................................. 7

Энергетический интерфейс............................................................... 7

Информационный интерфейс............................................................ 7

Процессная модель.................................................................................... 7

Деление технологии напыления на процессы................................... 9

Выбор сервисных функций............................................................. 15

Выбор функций коррекции цели..................................................... 15

ТЗ и ТП на САУ установкой................................................................... 17

Построение аппаратной части САУ........................................................ 18

Документы, сопровождающие КПС........................................................ 20

Перечень элементов........................................................................ 20

Перечень потоков и сигналов.......................................................... 21

Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ.................................................................................................... 22

СPM902........................................................................................... 22

DIM714............................................................................................ 24

DIM713............................................................................................ 25

DIM760............................................................................................ 26

DIM719............................................................................................ 27

AIM726............................................................................................ 28

AIM731............................................................................................ 29

OM750............................................................................................. 30

Расчет и описание принципиальной электрической схемы.................... 39

Заключение............................................................................................. 40

Список литературы................................................................................. 41



Реферат

Курсовой проект содержит 4 графических листа, выполненных в пакете AutoCAD 2007. Расчетно-пояснительная записка выполнена в Microsoft Word 2007, содержит 40 листов. В проекте разработана система автоматического управления установкой нанесения пленок тугоплавких металлов на различные поверхности.

1-ый лист (К6-2-12.00.00.000ПМ) содержит процессную модель работы САУ. На нем же содержатся 9 алгоритмов работы отдельных процессов.

2-ой и 3-ий листы (К6-2-12.00.00.000ФС) содержат комплексную принципиальную схему установки с указанием всех энергетических и управляющих сигналов, на листах так же представлена схема блочного соединения САУ.

На 4-ом листе (К6-2-12.00.00.000Э) представлена схема соединений САУ.



Введение.

1.Описание интерфейсов установки

Основной целью курсового проектирования является закрепление знаний, полученных при изучении дисциплины САУ, применение их на практике в процессе разработки документации на САУ установки осмирования катодных узлов ЭВП. Данная установка предназначена для ионного травления и напыления пленок осмия (Os) на различные катодные узлы. Поставлена задача разработки максимально эффективной САУ с учетом особенностей установки и протекающих процессов.

Общий вид установки представлен ниже (рис 1):


Рис. 1




Основными элементами являются:

·Вакуумная система (турбомолекулярный и пластинчато-роторный механический насосы, система клапанов, вакуумные датчики)

·Камера (нержавеющая сталь, цилиндр: ø520 мм, высота 420 мм)

·Система напыления (АИИ+ магнетрон)

·Газовая система (баллон с азотом или аргоном, система клапанов)

·Система пневмо-приводов (подъем крышки камеры и работа вакуумного затвора)

Технические требования:

1.Напряжение питания 3 50 Гц, 380 В/ 220 В

2.Давление охлаждающей воды 1,5 атм, расход не менее 0,5 м /ч, температура от 5 до 20 С

3.Сопротивление системы заземления не более 4 Ом

Технические характеристики:

1. Предельное давление в камере – 10-7 Торр

2. Рабочее давление АИИ - 5*10-3 Торр

3. Рабочее давление магнетрона (3..8)*10-3 Торр

4. Время достижения в камере давления 10-2 Торр - порядка 20 мин

5. Ток разряда магнетрона - 0,6..2,2 А

6. Подача рабочих газов (аргон, азот) с точностью поддержания

заданного расхода - не более 1%

7. Частота вращения подложки – 10 об/мин , нерегулируемая

8 Внутренний диаметр камеры - 500 мм

9. Эксцентриситет магнетрона и подложки - 25 мм

Напыляемые катодные узлы устанавливаются на оснастку и с помощью карусели перемещаются от АИИ к магнетрону.

Характеристики курсовой работы

Список файлов

  • Установка осмирования катодных узлов ЭВП
  • Презентация.ppt 816,5 Kb
  • Прочти меня.txt 141 b
  • САУ.docx 3 Mb
  • Чертёж (1).dwg 152,5 Kb
  • Чертёж (2).dwg 89,22 Kb
  • Чертёж (3).dwg 95,03 Kb
  • Чертёж (4).dwg 75,38 Kb
Картинка-подпись
Хочешь зарабатывать на СтудИзбе больше 10к рублей в месяц? Научу бесплатно!
Начать зарабатывать

Комментарии

Поделитесь ссылкой:
Цена: 1 200 руб.
Расширенная гарантия +3 недели гарантии, +10% цены
Рейтинг-
0
0
0
0
0
Поделитесь ссылкой:
Сопутствующие материалы
Свежие статьи
Популярно сейчас
Почему делать на заказ в разы дороже, чем купить готовую учебную работу на СтудИзбе? Наши учебные работы продаются каждый год, тогда как большинство заказов выполняются с нуля. Найдите подходящий учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Нашёл ошибку?
Или хочешь предложить что-то улучшить на этой странице? Напиши об этом и получи бонус!
Бонус рассчитывается индивидуально в каждом случае и может быть в виде баллов или бесплатной услуги от студизбы.
Предложить исправление
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
5076
Авторов
на СтудИзбе
455
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее