Курсовая работа: Виброизолирующая система установки ионной имплантации
Описание
Курсовой проект
На тему: «Виброизолирующая система установки
Ионной имплантации »
Москва, 2010 г.
Содержание
Реферат…………………………………………………………… | 2 |
Введение…………………………………………………………. | 3 |
1. Описание процессной модели……………………………….. | 6 |
1.1. Функции системы…………………………………………………….. | 6 |
1.2. Целевые процессы……………………………………………………. | 6 |
2. Комплексная принципиальная схема………………………... | 10 |
2.1. Механический интерфейс МР-привода……………………………… | 10 |
2.2. Энергетический интерфейс МР-привода……………………………. | 10 |
2.3. Информационный интерфейс МР-привода………………………….. | 11 |
3. Техническое задание на элементы и узлы САУ……………. | 12 |
3.1. Механическая часть САУ…………………………………………….. | 12 |
3.2. Энергетическая часть САУ…………………………………………… | 15 |
3.3. Информационная часть САУ…………………………………………. | 17 |
4. Расчет проектируемых компонентов САУ………………….. | 24 |
Заключение………………………………………………………. | 36 |
Список литературы………………………………………………. | 37 |
Приложения………………………………………………………. | 38 |
Реферат
к курсовому проекту
Виброизолирующая система установки
ионной имплантации.
Записка содержит 38 стр., 25 рис., 1 табл.
Графические работы выполнены на ПК с помощью программ: КОМПАС-3D V12 записка выполнена в Microsoft Word 2007.
Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ.
Задачи проекта:
- распределить функции машины между различными компонентами и обосновании этих функций;
- постановить четкое техническое задание перед разработчиками отдельных компонентов;
- выполнить техническую документацию на электронные компоненты.
Курсовой проект выполнен в объеме 4 листов формата А1 и расчетно-пояснительной записки. На первом листе приведены алгоритм работы, таблица процессов. На втором и третьем листах - комплексная принципиальная схема виброизолирующей системы магнитореологического привода (МР-привода): механика, энергообеспечение, системы автоматического и ручного управления. На четвертом листе - принципиальная электрическая схема блока усилителей токовых. В приложении приведена документация на все элементы платы блока усилителей. В расчетно-пояснительной записке приведены необходимые пояснения и расчеты, отражены принципы построения САУ МР-приводом, даны описания листов проекта. В приложении приведены описания всех элементов, используемых в САУ.
Введение
Описание виброизолирующей системы установки ионной имплантации
Сверхвысоковакуумный имплантационный модуль фокусированных ионных пучков ( СВВ модуль ФИП Имп) относится к группе модулей нанолокальных технологий. Эти модули
предназначены для проведения процессов последовательной локальной модификации поверхности с использованием фокусированных ионных пучков и острийных зондов, включая процессы роста, травления, распыления, имплантации и др.
СВВ модуль ФИП Имп- высокотехнологичная установка, совмещающая достоинства технологии ФИП с методом ионной имплантации, что позволяет существенно оптимизировать процесс создания наноструктур с заданными свойствами размером порядка десятков нанометров. Модуль ФИП Имп предназначен для модификации поверхности подложек диаметром до 100 мм.
Схема установки приведена на рисунке 1. |
|
Рис.1. Принципиальная схема установки.
Установка состоит из насосной станции, виброизолирующей системы и вакуумной системы. Виброизолирующая система состоит из 4 МР приводов. Каждый привод имеет 5 гидроцилиндров, в каждом из которых имеются 2 МР дросселя. МР привод работает по принципу МР эффекта (изменения характеристик МР жидкости под действием магнитного поля). МР жидкость подается приводам с помощью насосной станции.
Виброизолирующая система должна обеспечивать постоянное положение вакуумной камеры (она колеблется под действием колебанияХарактеристики курсовой работы
Список файлов
- Виброизолирующая система установки ионной имплантации
- ЗАДАНИЕ_.doc 29 Kb
- Исходник чертежа (1).cdw 162,34 Kb
- Исходник чертежа (2).cdw 77,72 Kb
- Исходник чертежа (3).cdw 235,76 Kb
- Исходник чертежа (4).cdw 82,12 Kb
- Презентация.ppt 2,35 Mb
- Приложение
- AO16-VC.pdf 145,22 Kb
- Ao16_Mn.pdf 347,54 Kb
- CPU188-5v3_DS.pdf 154,07 Kb
- Cpu188-5v3_UM.pdf 595,59 Kb
- DOC000056282.pdf 75 Kb
- DOC000196707.pdf 168,26 Kb
- DRB-15FA - Бурый Медведь.pdf 172,11 Kb
- Fastwel.xls 188 Kb
- TB-01A - Бурый Медведь.pdf 167,48 Kb
- Wieland Electric GmbH 70.300.1640.0.pdf 111,05 Kb
- cement.pdf 121,96 Kb
- lm7815.pdf 515,16 Kb
- lm7815_2.pdf 336,34 Kb
- Керамические резисторы __ ДАРТ Электроникс.pdf 207,34 Kb
- Операционные усилители AD8051, AD8052, AD8054.pdf 78,75 Kb
- Прочти меня.txt 141 b
- САУ.doc 6,74 Mb
- Чертёж (1).jpg 572,07 Kb
- Чертёж (2).jpg 486,92 Kb
- Чертёж (3).jpg 858,31 Kb
- Чертёж (4).jpg 526,25 Kb
Начать зарабатывать
zzyxel
