Курсовая работа: Малогабаритная вакуумная установка модульного типа
Описание
Расчетно-пояснительная записка
к курсовому проекту по курсу
«Основы проектирования систем автоматического управления оборудованием электронных технологий »
на тему:
«Малогабаритная вакуумная установка модульного типа ».
Москва, 2009 г.
ЗАДАНИЕ
на курсовой проект по курсу
«Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий».
Тема проекта: Малогабаритная вакуумная установка модульного типа
1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.
2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.
3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Дать техническое задание и техническое предложение на САУ и основные элементы машины.
4. Разработать принципиальную электрическую схему элемента САУ или САУ в целом.
Содержание графической части.
- Процессная модель машины.....................................................1 л.
- Комплексная принципиальная схема.......................................2 л.
- Принципиальная электрическая схема..................................1 л.
Содержание расчетно-пояснительной записки.
- Введение. Описание целевого, механического и энергетического интерфейса спроектированной технологической машины.
- Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
- Техническое задание и техническое предложение на систему управления машины по приведенной в Приложении 1 форме.
- Описание комплексной принципиальной схемы ФС. Обоснование структурно-компоновочного решения, выбор и согласование уровней потоков элементов.
- Документы, сопровождающие комплексную принципиальную схему:
- перечень элементов ПЭ;
- перечень потоков и сигналов ПС;
- технические задания на основные подсистемы и узлы машины ТЗ.
- Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов ОЭ.
- Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
- Заключение.
СОДЕРЖАНИЕ
Содержание ...................................................................................... .....................3
Введение ...................................................................................... ..........................4
1. Описание процессной модели ........................................................................7
1.1 Деление технологии напыления на процессы ................................7
1.2 Выбор сервисных функций ..............................................................14
1.3 Выбор функции коррекции цели ....................................................14
2. Описание комплексной принципиальной схемы ....................................16
3. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ ...............................................................................................18
3.1 ТЗ на элементы САУ ..........................................................................18
3.2 ТЗ на элементы установки .........................................................21
3.3 ТЗ на силовой модуль и источники питания ................................29
4. Расчет и описание принципиальной электрической схемы ..................33
Заключение ...................................................................................... ...................34
Список литературы ............................................................................................35
Приложение .........................................................................................................36
Введение
Производственное оборудование становится всё более автоматизированным во многих сферах его применения. Без управляющей электроники уже не может обойтись ни одна отрасль промышленности, особенно электронное машиностроение, где необходимо управление множеством технологических параметров при высочайшей точности и жестких требованиях к соблюдению технологии.
Рис. 1 – Малогабаритная вакуумная установка модульного типа
При конструировании необходимо:
- внимательно изучить и продумать все возможные варианты применения САУ в данной конструкции и выбрать оптимальный из этих вариантов, как по цене, так и по сложности изготовления и эксплуатации;
- обеспечить проектируемое оборудование более высоким сроком службы, то есть, чтобы его физическое и моральное старение настало как можно позже (для этого в конструкцию изделия заранее закладывают модули, которые легко можно заменить или доработать).
Целью данного курсового проекта является автоматизация процессов нанесения тонкопленочных покрытий на малогабаритной вакуумной установке модульного типа, овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок электронных компонентов оборудования САУ.
К механическому интерфейсу установки относятся:
- клапана;
- затворы;
- насосы
- манипулятор;
- вентилятор;
К энергетическому интерфейсу установки относятся:
- блоки питания;
- контроллер;
- ПК.
Задачи проекта состоят в:
- распределении функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций;
- постановке четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов;
- выполнении технической документации на электронные компоненты.
Для упрощения работы оператора и повышения производительности предложен вариант полностью автоматизированной установки вместо существующей установки с ручным управлением.
Курсовой проект выполнен в объеме 4-х листов А1 и расчетно-пояснительной записки. На первом листе приведены алгоритм протекания процессов работы установки, таблица процессов (процессная модель). На втором, третьем – комплексная принципиальная схема установки: механика, энергообеспечение, системы автоматического управления. На четвертом листе - принципиальная схема электрических соединений.
В расчетно-пояснительной записке приведены необходимые пояснения и расчеты, отражены принципы построения СУ установки, даны описания листов проекта.
1. Описание процессной модели
В данном курсовом проекте разработана процессная модель автоматического управления малогабаритной вакуумной установкой модульного типа (см. Лист 1 – «Процессная модель» ).
Перед нанесением тонкопленочного покрытия методом резистивного испарения очищенная подложка устанавливается на держатель манипулятора через загрузочную камеру. Затем производится предварительная откачка рабочей и загрузочной камеры до низкого давления. Затем с помощью манипулятора подложка перемещается в рабочую камеру до срабатывания конечного выключателя и закрепляется на подложкодержателе, к которому прикреплен нагреватель. После закрытия затворов и переключения на высоковакуумную откачку, производится откачка рабочей камеры до высокого вакуума (10-3 Па) и получение покрытия путем испарения материала со спирали. В момент начала и в процессе осаждения одновременно с подачей напряжения и тока производится замер давления в камере.
Измерение температуры проводятся с помощью термопары (помещенной внутрь камеры), сигнал с которой через нормализующий преобразователь НП002 поступает на микроконтроллер и в последствии обрабатывается. Давление в камере определяется обработкой сигналов ac_P2.
Давление в загрузочной камере и в форвакуумной магистрали измеряется по средством вакуумных датчиков Р1 и Р3 соответсвенно.
1.1 Деление технологии напыления на процессы
В работе установки можно выделить следующие основные процессы:
1. Загрузка подложки
- В загрузочную камеру
- В рабочую камеру
2. Откачка:
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- Малогабаритная вакуумная установка модульного типа
- Лист (1).cdw 165,62 Kb
- Лист (2).cdw 122,64 Kb
- Лист (3).cdw 152,2 Kb
- Лист (4).cdw 214,81 Kb
- Презентация.ppt 5,51 Mb
- Прочти меня.txt 141 b
- САУ.doc 3,28 Mb
- приложение
- CPU
- CPU188-5v3_DS.pdf 154,07 Kb
- Cpu188-5v3_UM.pdf 595,59 Kb
- TB20
- TBxx.pdf 63,69 Kb
- TBI24
- tbi.pdf 135,63 Kb
- TBR8
- TBR-8_Ds.pdf 65,79 Kb
- БП_IQ-60D
- IQ60.pdf 72,74 Kb
- БП_JWS240P-24
- JWSP.pdf 360,15 Kb
- БП_ZUP36-12
- 128866775906521250_ZUP Rev.C.pdf 898,61 Kb
- ZUP.pdf 331,3 Kb
- Вакуумное оборудование BOC Edwards
- BOC Product Catalog 2007.pdf 31,32 Mb
- Вакуумное оборудование MDC
- catalog-section7.pdf 5,17 Mb
- Датчик конечного положения
- DOC000053896.pdf 124,83 Kb
- DOC000272349.pdf 70,97 Kb
- DOC000274056.pdf 44,05 Kb
- Каркас
- icc19xx.pdf 221,73 Kb
- НП002
- tspu002.pdf 111,79 Kb
Начать зарабатывать