Курсовая работа: САУ установки нанесения тонкопленочных покрытий «Оратория-29»
Описание
На тему: «Система автоматического управления установки нанесения тонкопленочных покрытий «Оратория-29»
2007 г.
ЗАДАНИЕ
на курсовой проект по курсу «Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий».
Тема проекта: Система автоматического управления установки нанесения тонкопленочных покрытий «Оратория-29»
1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.
2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.
3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Дать техническое задание и техническое предложение на САУ и основные элементы машины.4. Разработать принципиальную электрическую схему элемента САУ или САУ в целом.
Содержание графической части.
1. Процессная модель машины..................................................1 л.
2. Комплексная принципиальная схема....................................2 л.
3. Принципиальная электрическая схема..................................1 л.
1.Введение.
2.Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
3. Описание комплексной принципиальной схемы ФС. Обоснование структурно-компоновочного решения, выбор и согласование уровней потоков элементов.
4. Документы, сопровождающие комплексную принципиальную схему:
-перечень элементов ПЭ;
-перечень потоков и сигналов ПС;
5. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов ОЭ.
6. Заключение.
Содержание
Содержание. 2Реферат. 3
Введение. 4
Разработка процессной модели. 5
Выбор сервисных функций. 7
Выбор функций коррекции цели. 7
Описание комплексной принципиальной схемы.. 8
Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов. 9
Агрегат АВР-50 (NI) 9
Насос НВК-250-3,2 (NK) 9
Регулятор расхода газа (РРГ1, РРГ2) 10
Клапан вакуумный с электромеханическим приводом КВЭ-25 (VA1- VA4) 11
Затвор с электрическим приводом ЗЭПЛ (VT1-VT3) 12
Двигатель ДПМ-35Н1-02 (М1- М5) 12
Вакуумметр 13ВТ3-003 (PT2- PT3) 13
Вакуумметр ионизационный цифровой блокировочный ВИЦБ 2/7-007 (PA1- PA2) 13
Вакуумметр магнитный блокировочный ВМБ-14 (PT1) 14
Магнетрон (Маг1-Маг3) 15
Устройство ВЧ – очистки. 15
Процессорная плата CPU686E.. 16
Модуль аналогового ввода-вывода с гальванической изоляцией. 19
Модуль дискретного ввода с гальванической изоляцией. 20
Универсальный модуль ввода-вывода. 21
Панель релейной коммутации. 22
Клеммные платы.. 23
Датчик положения герконовый Festo SME-8-ZS-KL-LED-24. 23
Датчик потока воды (A712) 24
Система электропитания. 25
Силовой модуль. 26
Список используемой литературы.. 28
Приложение 1
Таблица соединений……………………………………………………………………………29
Реферат
Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ.
В проекте рассмотрена САУ установки нанесения тонких пленок «Оратория-29».
Курсовой проект выполнен в объеме 4-и листов А1 и расчетно-пояснительной записки. На первом листе приведены алгоритм работы установки, таблица процессов (процессная модель). На втором, третьем листах - комплексная принципиальная схема установки: механика, энергообеспечение, системы автоматического управления. На четвертом листе - схема соединений. В расчетно-пояснительной записке приведены необходимые пояснения и расчеты, отражены принципы построения САУ установки.
Введение
Основное требование к современному производству – дать как можно больше продукции лучшего качества и с наименьшей стоимостью – относится прежде всего, к машиностроению, призванному обеспечить технический прогресс всех отраслей народного хозяйства. Интенсификация производства в машиностроении связана с модернизацией средств производства на базе применения новейших достижений науки и техники, в большинстве случаев с системами автоматизированного управления.При создании САУ необходимо четко разделять, какие функции должен выполнять человек, а какие – машина. Так же обязателен перебор всех вариантов, с целью выбора оптимального по стоимости и по сложности.
Задачи проекта состоят в распределении функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций; постановке четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов.
В проекте рассмотрена САУ установки нанесения тонких пленок «Оратория-29».
Установка «Оратория – 29» представляет собой установку непрерывного действия по нанесению металлических плёнок в вакууме.Нанесение происходит магнетронным методом. Реализуемый в магнитных системах аномальный тлеющий разряд происходит в скрещенных электрическом и магнитном полях. Электроны, эмитируемые из мишени под действием ионной бомбардировки, захватываются магнитным полем и совершают сложное циклоидальное движение по замкнутым траекториям вблизи поверхности мишени. В результате многократных столкновений электронов с атомами рабочего газа (обычного аргона) резко увеличивается степень ионизации плазмы и возрастает плотность ионного тока (примерно в 100 раз по сравнению с диодной распылительной системой без магнитного поля), что приводит к существенному (в 50 - 100 раз) увеличению скорости распыления материала мишени.
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- САУ установки нанесения тонкопленочных покрытий «Оратория-29»
- SAU_1-4.dwg 242,69 Kb
- Прочти меня.txt 141 b
- РПЗ.doc 2,07 Mb
- Таблица соединений.doc 329 Kb
Начать зарабатывать