Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Системы автоматического управления (САУ) (МТ-11)Многопозиционная установка для нанесения тонких пленок магнетронным методомМногопозиционная установка для нанесения тонких пленок магнетронным методом
2017-12-22СтудИзба

Курсовая работа: Многопозиционная установка для нанесения тонких пленок магнетронным методом

-21%

Описание

Этот курсовой проект по САУ был выполнен и защищён в 2006-м году

Проект курсовой


На тему: «Многопозиционная установка для нанесения тонких пленок магнетронным методом»


Расчетно-пояснительная записка



Москва 2006 г.


Содержание


  1. Задание на проект……………………………………………………………3
  2. Введение……………………………………………………………………...4
  3. Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели………………………………………7
  4. Описание комплексной принципиальной схемы…………………………..14
  5. Технические задания на элементы и узлы машины………………………..16
  6. Описание принципиальной электрической схемы…………………………26
  7. Заключение…………………………………………………………………...29
  8. Список используемых материалов………………………………………….30

Задание на курсовой проект по системам автоматического управления оборудования электронных технологий.


Тема проекта:Многопозиционная установка осаждения тонкопленочных покрытий в вакууме.


  • Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав ее основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.


2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.


3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Составить технические задания на проработку отдельных компонентов.


4. На уровне эскизного и рабочего проекта проработать предложенный компонент САУ.


Содержание графической части.


  • Процессная модель машины 1 л.
  • Комплексная принципиальная схема

(ресурсная модель) 2 л.

  • Принципиальная электрическая…………………………………………….1 л.


Содержание расчетно-пояснительной записки.


  • Введение.
  • Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
  • Описание комплексной принципиальной схемы.
  • Технические задания на элементы и узлы машины.
  • Описание принципиальной электрической схемы.
  • Заключение.









1. Введение


Автоматизация различного вида оборудования применяется широкомасштабно не только на производстве, но и для лабораторных исследований. И в том, и в другом случае автоматизация позволяет облегчить работу оператора, сделать процессы управления и контроля более удобными и наглядными, а также существенно повысить точность соблюдения параметров проведения технологических процессов.

При проектировании САУ необходимо внимательно изучить и продумать все возможные варианты применения САУ в данной конструкции с целью выбора оптимального из них по нескольким критериям: степень автоматизации, сложность изготовления и эксплуатации, цена. Также при проектировании следует использовать элементы и модули, которые впоследствии можно будет без особых проблем заменить и доработать. Это несколько удорожает систему в целом на первоначальном этапе, но вполне окупается в процессе эксплуатации, поскольку через несколько лет не придётся полностью заменять систему по причине её полного морального или физического старения.

Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ.

В задачи проекта входят:

  • распределение функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций;
  • постановка четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов;
  • выполнение технической документации на электронные компоненты.


Для упрощения работы оператора и повышения производительности и качества предложен вариант полностью автоматизированной установки вместо существующей установки с ручным управлением.

Курсовой проект выполнен в объеме 4-х листов А3 и расчетно-пояснительной записки. На первом листе приведены алгоритмы работы установки и таблица процессов. На втором и третьем листах - комплексная принципиальная схема установки : механика, энергообеспечение, системы автоматического и ручного управления. На четвертом листе - принципиальная электрическая схема. В расчетно-пояснительной записке приведены необходимые пояснения и расчеты, отражены принципы построения САУ установки, даны описания листов проекта.






Назначение и описание установки для нанесения многослойных покрытий

Данная установка предназначена для нанесения и обработки тонких пленок методами ионного распыления, осаждения дуговым разрядом и ионного осаждения.

В состав установки входят следующие источники:

Магнетрон на постоянном токе;

Дуговой источник;

Автономный источник ионов.



















Рис. 1. 1 – рабочая камера; 2 – рама; 3 – диффузионный насос; 4 – механический насос; 5 – азотная ловушка; 6 – затвор 23В9 250; 7 – клапан КВУМ-40; 8 – клапан КВУМ-25; 9 – натекатель; 10 – АИИ; 11 – магнетрон; 12 – ИД; 13 – шкаф управления; 14, 15 – баллоны с рабочими газами.

Установка для нанесения многослойных покрытий имеет технологическую (рабочую) камеру большого объёма. Значительный рабочий объём технологической камеры позволяет обрабатывать образцы больших размеров или обрабатывать несколько образцов одновременно, для чего внутри камеры установлен подложкодржатель, для передачи вращательного движения от двигателя к подложкодержателю и для его поворота на переднем фланце камеры установлены ввод движения в вакуум с сальниковым уплотнением.

Вакуумная система установки состоит из высоковакуумного диффузионного паромасляного насоса Н-250 с азотной ловушкой и механического насоса НВР-16Д. На форвакуумной магистрали установлен электромагнитный клапан КВУМ-40, на байпасной – КВУМ-25. Диффузионный насос отделён от камеры высоковакуумным затвором типа 23В9 250. Измерение давления в камере осуществляется при помощи двух манометрических преобразователей: термопарного ПМТ-2 и ионизационного ПМИ-2, данные которых обрабатываются вакуумметром ВИТ-2П. Остаточное давление механического насоса ≈ 0,5 Па, диффузионного насоса ≈ 5·10-4 Па.

Для подачи в камеру рабочих газов (аргона, азота, циклогексана) установка оснащена газовой системой (рис. 2).

Характеристики курсовой работы

Список файлов

  • Многопозиционная установка для нанесения тонких пленок магнетронным методом
  • Лист 1.cdw 155,54 Kb
  • Лист 2.cdw 149,79 Kb
  • Лист 3_1.CDW 223,85 Kb
  • Лист 3_2.CDW 131,69 Kb
  • Лист 4.cdw 272,37 Kb
  • Прочти меня.txt 141 b
  • РПЗ САУ.doc 1,06 Mb
  • специф.dwg 659,5 Kb
Картинка-подпись
Хочешь зарабатывать на СтудИзбе больше 10к рублей в месяц? Научу бесплатно!
Начать зарабатывать

Комментарии

Поделитесь ссылкой:
Цена: 1 200 949 руб.
Расширенная гарантия +3 недели гарантии, +10% цены
Рейтинг-
0
0
0
0
0
Поделитесь ссылкой:
Сопутствующие материалы
Свежие статьи
Популярно сейчас
Почему делать на заказ в разы дороже, чем купить готовую учебную работу на СтудИзбе? Наши учебные работы продаются каждый год, тогда как большинство заказов выполняются с нуля. Найдите подходящий учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Нашёл ошибку?
Или хочешь предложить что-то улучшить на этой странице? Напиши об этом и получи бонус!
Бонус рассчитывается индивидуально в каждом случае и может быть в виде баллов или бесплатной услуги от студизбы.
Предложить исправление
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
5076
Авторов
на СтудИзбе
455
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее