Главная » Учебные материалы » Системы автоматического управления (САУ) (МТ-11) » Курсовые работы » МГТУ им. Н.Э.Баумана » 11 семестр (3 семестр магистратуры) » Проектирование системы управления кластером магнетронного распыления на установке Endura 5500
Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Системы автоматического управления (САУ) (МТ-11)Проектирование системы управления кластером магнетронного распыления на установке Endura 5500Проектирование системы управления кластером магнетронного распыления на установке Endura 5500
2017-12-22СтудИзба

Курсовая работа: Проектирование системы управления кластером магнетронного распыления на установке Endura 5500

-22%

Описание

Этот курсовой проект по САУ защищался в 2004-м году

Проект курсовой

На тему: «Проектирование системы управления кластером магнетронного распыления на установке Endura 5500»


Расчетно-пояснительная записка

ЗАДАНИЕ

на курсовой проект по системам автоматического управления оборудования электронных технологий.

Тема проекта: Кластер магнетронного распыления


1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.

2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.

3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов стенда, поставить технические задания на них.

4. Привести описание интерфейса стандартных и покупных компонентов.


Содержание графической части.

  1. Процессная модель машины..................................................1 л.
  2. Комплексная принципиальная схема....................................2 л.
  3. Принципиальная электрическая схема..................................1 л.


Содержание расчетно-пояснительной записки.

  1. Введение.
  2. Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
  3. Описание комплексной принципиальной схемы.
  4. Технические задания на элементы и узлы машины.
  5. Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
  6. Заключение.


Реферат

В данном курсовом проекте рассмотрена система автоматизированного управления кластером магнетронного распыления материалов.

Рассмотрены основные узлы САУ. Проект выполнен в объеме 5 листов и расчетно-пояснительной записки. На первом и втором листе показана процессная модель работы камеры. Принципиальная схема установки и КПС целевых механизмов, КПС пневматики приведена на 3 листе. На четвертом листе проекта приведена комплексная принципиальная схема САУ. На пятои листе показана схема соединения установки.

Расчетно-пояснительная записка содержит 31 лист, 3 таблицы, 5 рисунков


Оглавление.

ЗАДАНИЕ- 2

Реферат-- 3

Оглавление. 4

1. Введение. 5

2. Описание целевого, механического и энергетического интерфейсов камеры PVD. 6

2.1 Описание процессной модели кластера, постановка ТЗ на программное обеспечение. 7

2.1.1 Функции системы. 7

2.1.2 Режимы работы. 7

2.2.3 Режимы процессов. 9

3. Описание КПС. Выбор и согласование потоков. 11

Информационный интерфейс камеры. 19

Заключение. 23

Список использованных источников- 24

Приложение 1.Перечень сигналов, соответствующий КПС целевых механизмов- 25

Приложение 2.Перечень элементов, соответствующий КПС целевых механизмов- 27

Приложение 3. Перечень сигналов, соответствующий КПС САУ. 29

Приложение 4.Перечень элементов, соответствующий КПС САУ. 31

Приложение 5.Перечень элементов, соответствующий схеме соединений- 32




1. Введение.

В данной работе будет рассматриваться проект системы автоматического управления кластера магнетронного распыления установки Endura 5500. Прототипом данной установки является аналогичная по структуре и реализуемым возможностям установка компании Applied Materials.

Полное наименование технологического комплекса: технологический комплекс осаждения и нанесения металлических слоев на поверхность полупроводниковых пластин

Назначение технологического комплекса: использование в технологическом процессе обработки кремниевых пластин диаметром 150мм с исходными характеристиками, не уступающими требованиям стандарта SEMI M1.8-89 «Standard for 150 mm Polished Monocrystalline Silicon Wafers (Стандарт на полированные пластины монокристаллического кремния диаметром 150 мм)», для обеспечения выполнения технологических операций:

  • нанесение пленок на основе алюминия на поверхность кремниевых пластин;
  • нанесение пленок титана и (или) нитрида титана на поверхность кремниевых пластин;
  • осаждение вольфрама из газовой фазы на поверхность кремниевых пластин;
  • термическая обработка слоев титана и нитрида титана (силицидация) на поверхности кремниевых пластин;
  • предварительная очистка (методом ионного травления) поверхности полупроводниковых пластин перед нанесением слоев металлизации.

Область применения: технологические процессы изготовления интегральных микросхем. Комплекс может применяться автономно и в составе технологического комплекса для изготовления интегральных микросхем ЮКСУ.442169.001.

Общие сведения по технологии производства.

Установка ENDURA PVD реализует операции нанесения металлических слоев (сплавы на основе алюминия, титан) методом магнетронного распыления, при котором распыление атомов наносимого материала из мишени осуществляется бомбардировкой положительно заряженными ионами рабочего газа (аргона) из плазмы разряда постоянного тока пониженного давления с вращающимся магнитным полем. При нанесении слоя нитрида титана в дополнение к вышеперечисленным механизмам происходит химическая реакция распыленных из мишени атомов титана с газообразным азотом при повышенной температуре.

Установка ENDURA PVD реализует также операцию осаждения вольфрама из газовой фазы. При этом, происходит химическая реакция между гексафторидом вольфрама, водородом и моносиланом при повышенной температуре с осаждением вольфрама на поверхности обрабатываемой пластины.

Установка ENDURA PVD реализует также операцию термического отжига пленок титана и нитрида титана с образованием силицида титана с целью снижения контактного сопротивления.

Кроме того, установка ENDURA PVD реализует операцию предварительной очистки контактных окон перед нанесением слоев металлизации. Предварительная очистка осуществляется методом ионного травления продуктами низкотемпературной плазмы ВЧ разряда с двумя источниками возбуждения пониженного давления, включающими в себя заряженные частицы (электроны, положительно заряженные ионы). В качестве рабочей плазмообразующей среды используется газообразный аргон, подаваемый из газовой панели установки.

В проекте будет рассматриваться камера PVD (physical vapor deposition), использующаяся для нанесения пленок титана и нитрида титана.

Характеристики курсовой работы

Список файлов

  • Проектирование системы управления кластером магнетронного распыления на установке Endura 5500
  • 1-iy 2 moy.cdw 65,15 Kb
  • 1-iy moy.cdw 109,05 Kb
  • 2- s raboti.CDW 146,33 Kb
  • 3-ий.cdw 201 Kb
  • 4-ый.cdw 280,84 Kb
  • SV.doc 4,76 Mb
  • Прочти меня.txt 141 b
  • Таблица потоков.xls 74,5 Kb
Картинка-подпись
Хочешь зарабатывать на СтудИзбе больше 10к рублей в месяц? Научу бесплатно!
Начать зарабатывать

Комментарии

Поделитесь ссылкой:
Цена: 1 200 939 руб.
Расширенная гарантия +3 недели гарантии, +10% цены
Рейтинг-
0
0
0
0
0
Поделитесь ссылкой:
Сопутствующие материалы
Свежие статьи
Популярно сейчас
Почему делать на заказ в разы дороже, чем купить готовую учебную работу на СтудИзбе? Наши учебные работы продаются каждый год, тогда как большинство заказов выполняются с нуля. Найдите подходящий учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Нашёл ошибку?
Или хочешь предложить что-то улучшить на этой странице? Напиши об этом и получи бонус!
Бонус рассчитывается индивидуально в каждом случае и может быть в виде баллов или бесплатной услуги от студизбы.
Предложить исправление
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
5076
Авторов
на СтудИзбе
455
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее