Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Системы автоматического управления (САУ) (МТ-11)САУ для установки нанесения тонкой осмиевой пленкиСАУ для установки нанесения тонкой осмиевой пленки
2017-12-22СтудИзба

Курсовая работа: САУ для установки нанесения тонкой осмиевой пленки

Описание

Этот курсовой проект был успешно сдан в 2002-м году

Аннотация


Целью курсового проекта являлась разработка системы автоматизированного управления для установки нанесения тонкой осмиевой пленки. Необходимость автоматизации требовалась, так как для обслуживания процесса было необходимо контролировать давление в камере и время длительности процесса, что САУ могло бы проводить.

Проект выполнен на четырех листах формата А3 с приложением расчетно-пояснительной записки. На первом листе представлена алгоритмическая схема процесса нанесения покрытия. Второй и третий листы — комплексная принципиальная схема установки с механической, вакуумной, энергетической подсистемами. На четвертом листе представлена электрическая принципиальная схема платы оптронных развязок и высоковольтных оптосемисторных и оптотиристорных ключей. В расчетно-пояснительной записке приведены необходимые пояснения и расчеты, отражены принципы построения СУ установки, даны описания листов проекта.






















Содержание



1. Описание установки 3

2. Процессная модель 5

3. Описание функций стенда 6

4. Комплексная схема 7

5. Техническое задание на элементы машины 8

6. Расчет блоков 13

7. Заключение 16

8. Список литературы 17












Описание установки


Установка предназначена для нанесения тонкой осмиевой пленки на изделия в вакууме методом ионного распыления и обладает следующими вакуумными характеристиками:

  • Предельный давление Рпред=8*10-4 Па
  • Число рабочих позиций 1..10
  • Напряжение, подаваемое на систему распыления 1,5 кВ
  • Максимальная температура в камере 300 о С











Принцип работы установки следующий: изделие помещают в камеру на подложку (PODL) (рис.1). Включается форвакуумный насос 5НВР5ДМ (FVN), открываются клапаны KL1 и KL2. Происходит форвакуумная откачка. Далее клапана KL1 и KL2 закрываются и открывается клапан KL3. Откачивается турбомолекулярный насос ТМН-500. Достигнув давления запуска включается ТМН-500. Время выхода на режим около 15 минут. После этого открывается клапан KL4. Начинается откачка камеры. Достигнув давления в камере Р=2*10-3 Па подается ток накала 14 А на термокатоды (TERM KAT) и начинается прогрев камеры (необходим для удаления адсорбированных газов и паров). Прогрев с высоковакуумной откачкой в течении 20 минут позволяет добиться давления Р=6*10-4 Па. После этого открывается клапан KL5 газовой магистрали и натекатель N1. В камеру поступает азот, необходимый для процесса. Азот напускается в камеру до давления Р=3,2*10-2 Па и должен постоянно поддерживаться на этом уровне весь оставшийся процесс с помощью натекателя N1. Следующий этап – травление изделия. Для этого на соленоид (SLND) подается ток 4А (для создания ускоряющего магнитного поля), на подложку (PODL) с изделиями подается высокое напряжение +1500 В, на термокатоды подается напряжение –100В при токе 17А. Возникает эмиссия электронов с термокатодов. Ток эмиссии необходимо поддерживать на уровне 400 мА (необходимый параметр системы, отвечающий за качество нанесенного покрытия). Таким образом, проходит травление. Время травления зависит от габаритов изделия, подвергающегося травлению, и задается оператором. Далее идет сам процесс осмирования. 1500 В подается теперь на мишень осмия, в остальном процесс идентичен травлению. Время травления и осмирования для изделия одного и того же габарита соотносится 3:1.











Процессная модель


Весь цикл работы установки можно разделить на процессы (алгоритмическая схема процессов представлена на листе «Процессная модель»):

  • Форвакуумная откачка
  • Высоковакуумная откачка
  • Нагрев
  • Травление
  • Осмирование


Процессы можно автоматизировать.

Непосредственно процесс начинается с того, как оператор запустит его нажатием кнопки «Пуск» с компьютера. Перед этим необходимо ввести исходные данные:

  • значение давления, при котором включается высоковакуумный насос
  • давление, при котором начинать прогрев камеры
  • давление, при котором начинать травление
  • время травления
  • время осмирования
  • значение тока эмиссии



Характеристики курсовой работы

Список файлов

  • САУ для установки нанесения тонкой осмиевой пленки
  • sau_2.dwg 225,04 Kb
  • Прочти меня.txt 141 b
  • РПЗ САУ.doc 132,5 Kb
Картинка-подпись
Хочешь зарабатывать на СтудИзбе больше 10к рублей в месяц? Научу бесплатно!
Начать зарабатывать

Комментарии

Поделитесь ссылкой:
Цена: 1 200 руб.
Расширенная гарантия +3 недели гарантии, +10% цены
Рейтинг-
0
0
0
0
0
Поделитесь ссылкой:
Сопутствующие материалы
Свежие статьи
Популярно сейчас
А знаете ли Вы, что из года в год задания практически не меняются? Математика, преподаваемая в учебных заведениях, никак не менялась минимум 30 лет. Найдите нужный учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Нашёл ошибку?
Или хочешь предложить что-то улучшить на этой странице? Напиши об этом и получи бонус!
Бонус рассчитывается индивидуально в каждом случае и может быть в виде баллов или бесплатной услуги от студизбы.
Предложить исправление
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
5076
Авторов
на СтудИзбе
455
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее