Главная » Учебные материалы » Системы автоматического управления (САУ) (МТ-11) » Курсовые работы » МГТУ им. Н.Э.Баумана » 11 семестр (3 семестр магистратуры) » Шестикоординатный столик с электрореологическим приводом для установки рентгенолитографии
Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Системы автоматического управления (САУ) (МТ-11)Шестикоординатный столик с электрореологическим приводом для установки рентгенолитографииШестикоординатный столик с электрореологическим приводом для установки рентгенолитографии
2017-12-22СтудИзба

Курсовая работа: Шестикоординатный столик с электрореологическим приводом для установки рентгенолитографии

Описание

Эта курсовая работа была сдана в 2001-м году

Шестикоординатный электрореологический привод.

Привод проектируется для производства СБИС. Используется для совмещения рентгеношаблона и подложки, закрепленной на верхней каретке координатного стола, рабочая поверхность которого перемещается по 6 координатам x,y,zхyz.

Параметры привода:

  1. Диапазон перемещения по x,y для динноходового: 200 мм ± 1мкм.
  2. Осевое перемещение по z: 0,4 мм.
  3. Точное совмещение по x,y: 2 мкм± 0,02 мкм.
  4. Точное совмещение z: 0,4 мм ±1 мкм.
  5. Постоянная времени привода: 0,01 с.
  6. Суммарный поток газовыделения из привода: не более 10-6 Вт.


Анализ целевых процессов.


Процесс позиционирования заключается в том, что на привод устанавливается предварительно сориентированная подложка. Потом происходит поиск реперных точек на подложке и установка интерферометра в ноль. Предварительно сориентированная маска закреплена и установлена в ноль, при подготовке установки к работе далее подложка позиционируется в соответствии с программой, заложенной в контроллере. Точность позиционирования оценивается интерферометром, который отслеживает перемещения подложки и обеспечивает точность позиционирования.

Перемещения осуществляются приводом шестикоординатного электрореологического стола. Для перемещения используется свойство электрореологической суспензии менять свою вязкость в зависимости от напряженности электрического поля, приложенного к электрореологической жидкости. Число позиционирований привода зависит от размеров подложки (максимальный диаметр 200 мм) и участка экспонирования (25х25 … 90х90).


Процесс рентгенолитографии включает следующие операции:

Наименование

Критерий начала

Режим проведения

Критерий окончания

Ресурсы

1.Контроль давления в ресивере с гелием

Установка готова

Вручную

P>[P]

Ресивер, манометр,

2.Включение насосных станций

Установка готова

Вкл. НМ

Работа окончена

НМ, БП_НМ

3.Загрузка заготовок

Установка готова

Запуск прграммы механизма загрузки-выгрузки

Загрузка окончена

МЗВ, САУ

4.Компенсация веса привода

Окончание 2 и 3

Подача напряжения на ЭР-дросселя

Работа окончена

САУ, ЦАП, У1,

БП_У1, Д, НМ, БП_НМ, КС

5.Обнуление интерферометра по x,y,z

Окончание 2 и 3

Сканирование подложки. Подача сигналов на ЭР-дросселя

Луч интерферометра отражен от реперной точки

Cм. 4

6.Перемещение по оси х грубо

Окончание 5

Подача сигналов на ЭРР

КС перемещен

САУ, ЦАП, У2,

БП_У2, ЭРР, Д, НМ, БП_НМ, КС

7.Перемещение по оси х точно

Окончание 6

Cм. 4

КС перемещен

Cм. 4

8.Коррекция по оси y,z

Окончание 7

Cм. 4

КС перемещен

Cм. 4

9.Обнуление интерферометра по αхyz

Окончание 8

Cм. 4

КС перемещен

Cм. 4

10.Перемещение по оси х грубо

Окончание 9

Cм. 6

КС перемещен

Cм. 6

11.Перемещение по оси у грубо

Окончание 10

Cм. 6

КС перемещен

Cм. 6

12.Перемещение по оси х точно

Окончание 11

Cм. 4

КС перемещен

Cм. 4

13.Перемещение по оси у точно

Окончание 12

Cм. 4

КС перемещен

Cм. 4


14.Коррекция по оси z

Окончание 13

Cм. 4

КС перемещен

Cм. 4

15. Коррекция по αхyz

Окончание 14

Cм. 4

КС перемещен

Cм. 4

16.Подача Не

Окончание 14

Открыть клапан

Клапан открыт

Ресивер с Не, К

17.Открытие заслонки

Окончание 15

Открыть заслонку

Заслонка открыта

З, МЗ, БП_МЗ, САУ

18.Экспонирование

Окончание 17

Зафиксировать направляющие

t > [ t ]

Синхротрон

19.Прекратить подачу Не

Окончание 18

Закрыть клапан

Клапан закрыт

Ресивер с Не, К

20.Закрытие заслонки

Окончание 18

Закрыть заслонку

Заслонка закрыта

М0З, БП_МЗ, САУ

21. Повтор п.10-20

Окончание 20


Проэкспониро-ваны все модули пластины


22.Выгрузка подложек

Проэкспониро-ваны все

модули пластины

См.3

Подложка выгружена

См.3


Установка подложек производится автоматически вакуумным зацепом, куда закрепляется предварительно сориентированная подложка.

Включение насосной станции осуществляется подачей напряжения питания на насос, после чего он начинает перегонять электрореологическую жидкость.

Управление процессом осуществляется программой, записанной в САУ, которая выполняет определенную последовательность действий. В САУ приходит сигнал с интерферометра, который отслеживает перемещения подложки и обеспечивает точность позиционирования. Происходит сравнение истинного положения КС с требуемым. При точном перемещении (с точностью 0,02 мкм) в зависимости от этого рассогласования САУ формирует управляющий сигнал, проходящий через ЦАП и блок усилителей У1 на ЭР дросселя. Так же САУ формирует сигнал для грубого (длинноходового) перемещения (с точностью 10 мкм), проходящий через ЦАП и блок усилителй У11 на ЭР распределитель (ЭРР), регулирующим давление в гидроцилиндрах длинноходового перемещения.

Компенсация веса привода осуществляется подачей на дроссели напряжений, записанных в САУ. Т.к. при подаче напряжения меняется вязкость жидкости в зазоре между направляющей и электродом, можно регулировать давление в рабочих камерах. Направляющая помещена в цилиндрический корпус, в котором имеется 8 камер высокого давления, располагающихся со всех четырех сторон направляющей. Давление во всех камерах можно регулировать, управляя положением направляющей. Под действием давления стол всплывает и готов к перемещению.

Работа ЭР распределителя также основана на ЭР эффекте. Подавая напряжения на кольцевые электроды можно регулировать расход жидкости, что используется для работы гидроцилиндров длинноходового перемещения.

Обнуление интерферометра по x,y,z происходит следующим образом: стол в соответствии с программой СРU совершает возвратно-поступательные движения, сканируя подложку по координатам x,y,z. Когда луч интерферометра отразится от реперной точки, то интерферометр по этой координате установится в

Характеристики курсовой работы

Список файлов

  • Шестикоординатный столик с электрореологическим приводом для установки рентгенолитографии
  • M0.DWG 40,17 Kb
  • M12.DWG 82,21 Kb
  • M2.DWG 73,86 Kb
  • ЗАДАНИЕ.doc 21,5 Kb
  • Запис-Сау.doc 265 Kb
  • МояЗаписка.doc 117 Kb
  • Прочти меня.txt 141 b
Картинка-подпись
Хочешь зарабатывать на СтудИзбе больше 10к рублей в месяц? Научу бесплатно!
Начать зарабатывать

Комментарии

Поделитесь ссылкой:
Цена: 1 200 руб.
Расширенная гарантия +3 недели гарантии, +10% цены
Рейтинг-
0
0
0
0
0
Поделитесь ссылкой:
Сопутствующие материалы
Свежие статьи
Популярно сейчас
А знаете ли Вы, что из года в год задания практически не меняются? Математика, преподаваемая в учебных заведениях, никак не менялась минимум 30 лет. Найдите нужный учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Нашёл ошибку?
Или хочешь предложить что-то улучшить на этой странице? Напиши об этом и получи бонус!
Бонус рассчитывается индивидуально в каждом случае и может быть в виде баллов или бесплатной услуги от студизбы.
Предложить исправление
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
5076
Авторов
на СтудИзбе
455
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее