Курсовая работа: Шестикоординатный электрореологический привод
Описание
Шестикоординатный электрореологический привод.
Привод проектируется для производства СБИС. Используется для совмещения рентгеношаблона и подложки, закрепленной на верхней каретке координатного стола, рабочая поверхность которого перемещается по 6 координатам x,y,z,αх ,αy ,αz.
Параметры привода:
- Диапазон перемещения по x,y для динноходового –200 мм ± 1мкм.
- Осевое перемещение по z-0,4 мм.
- Точное совмещение по x,y2 мкм± 0,02 мкм.
- Точное совмещение z-0,4 мм ±1 мкм.
- Постоянная времени привода 0,01 с.
- Суммарный поток газовыделения из привода не более 10-6 Вт.
Анализ целевых процессов.
Процесс позиционирования заключается в том, что на привод устанавливается предварительно сориентированная подложка. Потом происходит поиск реперных точек на подложке и установка интерферометра в ноль. Предварительно сориентированная маска закраплена и установленна в ноль при подготовке установки к работе далее подложка позиционируется в соответствии с программой, заложенной в контроллере. Точность позиционирования оценивается интерферометром, который отслеживает перемещения подложки и обеспечивает точность позиционирования.
Перемещения осуществляются шестикоординатным электрореологическим столом. Для перемещения используется свойство электрореологической суспензии менять свою вязкость в зависимости от напряженности электрического поля, приложенного к электрореологической жидкости. Число позиционирований привода зависит от размеров подложки (максимальный диаметр 200 мм) и участка экспонирования (25х25 … 90х90).
Процесс рентгенолитографии включает следующие операции:
Наименование | Критерий начала | Режим проведения | Критерий окончания | Ресурсы |
1.Контроль давления вресивере с гелием | Установка готова | Вручную | P>[P] | Ресивер, манометр, |
2.Включение насосных станций | Установка готова | Вкл. НМ | Работа окончена | НМ, БП_НМ |
3.Загрузка заготовок | Установка готова | Запуск прграммы механизма загрузки-выгрузки | Загрузка окончена | МЗВ, САУ |
4.Компенсация веса привода | Окончание 2 и 3 | Подача напряжения на ЭР-дросселя | Работа окончена | САУ, ЦАП, У1, БП_У1, Д, НМ, БП_НМ, КС |
5.Обнуление интерферометра по x,y,z | Окончание 2 и 3 | Сканирование подложки. Подача сигналов на ЭР-дросселя | Луч интерферометра отражен от реперной точки | Cм. 4 |
6.Перемещение по оси х грубо | Окончание 5 | Подача сигналов на ЭРР | КС перемещен | САУ, ЦАП, У2, БП_У2, ЭРР, Д, НМ, БП_НМ, КС |
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- Шестикоординатный электрореологический привод
- m0.dwg 40,17 Kb
- m1.dwg 128,23 Kb
- m12.dwg 94,09 Kb
- m2.dwg 82,89 Kb
- Прочти меня.txt 141 b
- запис.doc 788,5 Kb
- запис2.doc 35 Kb
Начать зарабатывать