Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Технология и оборудование микро и наноэлектроникиУчебное пособие по циклограммамУчебное пособие по циклограммам 2017-12-28СтудИзба

Книга: Учебное пособие по циклограммам

Описание

Описание файла отсутствует

Характеристики книги

Учебное заведение
Семестр
Просмотров
224
Скачиваний
9
Размер
19,4 Mb

Список файлов

Fig.1 001

Распознанный текст из изображения:

Цх йИЭЛКО л»П»ДУФОСКИХ СБОйСТВ» ПОЛОЖЕНИЯ В ПРОСТРЗНСТВЕ

Бонду~ развитан работу ццщщ~ (технологцчесуац цли транс .-;Ортная) состОит из двигательного» передаточного и испОлнительного «."»еханиз1-'!Ов,

Боль~шпктву рабочих машин злектронной промышленности свойственна Б«кличность э рабОте, т» е» периодцчесизи повторЯемОсть отд~.~ъ1па~ дейстием и джкенЖ, связанная с Выпуском дискретной про~. Наб~падац за работой таких машин, можно заметить чередсюлие рабочих джиеций исполнительннх механизмов, производящих обработку, и вспомсгательннх движений, Ве свцзанных непосредственно с технологическим воздействием, но подготаичивазп~и условия для него.

Так, после пуска машины сначала Осушествляштся вспомогателыне движения: подача и зажим заготовки, включение„подвод ни'труюнтов и т.д. Длительизстью 1„(рис. 1). Затем проиохох»

дит Обработка длительностью (» По~ле чего внонь следуют вспоиоллельнне двчжижя длительностью «1 Отвод инструмбнта» раз

~ЯКЛБЧЕНИЕ» СНЯТИЕ Обработанного ИЗДЕлии и т»д» ( '~, - ВРеЫЯ абочих ходов; 1 — вревш холостнх ходов). Если машина функ«чо-.щ~ует нормально (не произошел отказ в работе), оно сл Дуют

ва е подача другой заготовки, ее зажим и т.д. При атом Одни и те же Операщж повторяются, как правило, через одинаковый ццтерюл Времени '1' » который называют рабочим цикиом.

()сновннм и достаточннм условием для функционировании Рабой ииицы Явчнетоц наличие механизмов рабочих ходОВ. че и

га-

3 чеавтоматизироБъ»п»«»х 'рабочих машинах холостые (Вспомо тельнье) ходы, а также управпение циклом Внполняютоя человеком Вручную или О

или о помощьв. различных приспособлений, средств механизаЦи и т~п»» которые Облегчают и уокорцшт действие человека» цо не искличают его непосредственного Участии В каждом рабочем щкле.

ки

Ба рис. 2а приведена схема неавтомзтизированной установ сом,яше1пя и зкспонщования» щйпюняемой при изГотОвлении полу

про вод««ппЯ вых прпборОВ и инте Грзльннх схем ( см» ч 1» рис

Ф

" Здесь и далее ссылка на часть 1 делается так: ч, 1,

В сылкз йа данное пособие (т.е. на часть 3) указынаетси только

цсмзр парагр«ца,

Fig.1 002

Распознанный текст из изображения:

Я Ж

РйС. 3. СХййЫ ~СййНОВОК йОЖВНЗНИй И Э~~П~й~~ййШИ: й - й~й~- томатюирозанной; б - полузьтоьаткчэаай; в - автсьатичвидй

Fig.1 003

Распознанный текст из изображения:

.(;." ' .::с'::Х( то'(ЛогтсчсЗТ ОСВВТ.178ЛЬ 2и ОТ КОТОрово СВОТОВЫ8 ЛУЧИ Ч6- р,,. ж Г(тт;(у 3.:;;1(ал, линзу п тхттотттаблон 4 попадают па подложку,

. т:,;тот(ЧПт" сн т„.'тоТОРОЗтт(СТй ПоттетптеТНЫЙ СГОЛИК 5 ° На КОТОРОМ ЗЗКРЕП-

ЧЧРТ,',Б ( стзт:.'т",ттлтЫМ ПРИ"ВЗТОМ) ПОД1(ст11(ни то18Х1 т1ПЗМ ПОДаЧИ 6 П ПРИ

тт(11'"тч ттодэтсЖЕИ И $070.",.~'(бл01Ио 1И(ПП(уляТОр 3 для СОВ(ященНя Под-

ЛОтт:,1' И 4Хттст:Ь(блопай Корнуо С 1(ккроо(тоном 1.

Р,('сот:,1Й Бр.~х(Ц.:Ю уСТс31Ит:~~.".ПВ887 ПОДЛОЖ-.су На СТОЛИКт Псда67

,.:,; й((тджх т Б 88 Закттеп(т(тсзние 3876М ПОД тснт.",р001(опсти Пронзнсдиаат

1с.тт-е с.сэ';.~ Р,у"'БОГО:Истт(Ь(У11ЯТОРП ПОРег18Г481ИЯ ~(атТОЩабл01И (ЩЮДОЛЬ-

",8 т П0118(10'п(18т ПОБОР071Гые) ДО тРебУеюсго его ссвмэЩ81п(Я О под'ОЖКС11. 1сСБТ Коттит1ттГтт На Прткктт( Псдт(ОЖИ~ И Ф0701т(абЛ01И. ЗЗТОМ

свттт„,тут Я ."~СВБТИТОЛЬ И 00131807втвс(ВТСЯ ЗкотГО'Гировапиа ЗИСВЕТКП

13ИСТсч ПР; 078т(81П(И ЗТОГО ББЕМЗБИ ОСРОТИГ6ЛЬ ВЫКЛ%Ча87СЯ,

Бслс."т:"сскс Н т(070тБйб,.т(он ра:;ВОДЯТСЯ, ПОДЛОЖ1И 07т"репляеТСЯт Снима--

:::тся ы укхт~ттыгиется Бруч1туВ В кассету. Такт1ем ОбраЗОм, В Данной

" .''с'(т1тс: Гтт;8 БСЗ БСПтпт(ОГаТОЛЬттттЕ ПРОЦБССЫо а Так!:,.0 УПРавле(П(6 ПРО-

".1 тв 'т(7СЯ:18Л01ио;.ОМ,

Щ!!Огссисовая рабОТа с тАБкроскоп011 ДЛЯ человека Являе7ОЯ мо-

1' Опт(С:(с И уТОМИТОттЬП011, а ПрОНЗВОДИТОЛЬНООТЬ П(тав701(ИТИЗЩЮВ(тк-

Е 1 0 0.1тсРт ДОБЗННЯ Н817ысока

:." НОБ'1(1т 1ИПР:ВЛ81П18М ПОБ(о(этот(ИЯ КЫЧ8СТва ПРОДУ1(ЦтГИ И 1(РОИВБ:.;,' 'Т::.'(ЬНОСТ11 обсрудона1П(Я, СОкр:тЩЕ(ИЯ ЧИСлев11007И ОболуЖИПИЮЩ(ГХ

тост бс ттпк с-Вт(ЧОТСЯ НБГС; И1 1138Ц 1Ч 1(РОИЗВОДОТБЕ(П(ЫХ ПРОЦБСООВ СОЗ-

, тп1(т,т Бпс(, 001пгэ СБОДСГВ ПРОИЗВОДСТВа ВЫПОЛНЯЦЦИХ ПРОИЗВОДОТ

Б81пп(8 фу(п(1.'ы1 либо оез непосредственного участии человекаи либо

с ег- ~1:вост.(ЧО(Итти Уча;-чем 1а УРовне квал(~Ь1п(НРова1п(ого "»'ъчда

Б ак.'~;,.итаиатц~с' — ато аотосатииВции Иабоиати

тЯ1'т(ат СОЗДН1ПТВ 1ИйЖ1-ПРГО:187ОВ И ПОЛУИВТО1И70В

Как 11 Вопкая (ИбозаЯ Мии(.1Ии ав701ЕТ 1ЩЕОТ ДВНГНТЕЛЬНИйи

ПБРБДЗТОЧ1П(11 П 11(т1"ос11ГИТ-.-ЛЬНЫА 1техайиз(т1 Чо В ОТЛИЧИЕ 07 НЕБ(ВТО-

тгаТ 1317ровап( с:Го Сборуд!'ттса!', ' (а(т(ИНт(-аВТСЬИТЫ Вт(ВЮТ ПОЛ1ийй КОМП-

яект т:;:-:-,.Пт(т(3. ттв гобочпх и холосЬНХ ходов н раз31ГГую сисТему ав-

70 ИТ-(тте( 1;сво т1(тнтэт (т1П:11 тт70 ПОЗВОЛ1187 ПОЛНОСТЬЮ ООУЩес ТВЛЯТЬ

т1Пттт*101;„' "тсва(т.18 11 т.;1: .~ -, ";~30ду(цПП1 бЕЗ Кепосро ПСТо,оннст.о уЧа

С: ПЯ Чс ТС ст(а.

СТрут.;'ГДи11он ".."8:,И '10.'.тстн13:.'ОВ 1,"'.. Шн.="аттГОМНТ" В С ссВТОМНТИЧ60

1(01) СП3781'ой У1тРЗт 10т'.;Л 11РПГ '1181И 1с( РИСа 3 (сс(т"т(ксРсЗТНЕ".о! СОСТ":'ан

т'ока1 с(З,'тоВ ('ПтРст.„":.ЛЯБТ'.,'.*. 1133113т181П(8М тсаЩ(1НИ 11 Г * ПР111т(оопп(атБЬНО1ои

.'.=: рпс. 2б,в потсаза1к схемы автот.итизированного оборудо1и-

ттЛЯ:1((С1 Сов((ОЩ810(Я И ЭКСПОПИРОВаНИЯ. 3 ПОЛУаВТОЬИТИЧ8(тКОй Уста1101ч:с (рис. 2б) подложки с 1инесенн((м фоторезистом закладывают 1..:.'.ССОТУ 8 (По 25 ЩТ. И бОЛЕЕ), ОТКуда СПЕЦЮЛЬВи пОДЗЮщим ( Г -- '-твои а 70 атически передаюТся на пневмолоТок 7 и далее

Я т(тоХа1П(31(а ПселтваРЦТОЛЬНОЯ ОРИОНТНГПП1 Пст~(16 ЗТОГО ттстт.т',.': т'а ть:".ту(1сзОТ на рэбоч1П1 070лик 5и хде и зсчкрепйяеТОЯ в

тс-;',;, т01 11(тдстГ(;-1ПП(. ССБ..(стт(81П18 ((ЮТО(цаблова 2 С ПОДПОЖКОЙ Прсиэтс, "1:. т-, Хс! т'рут(т~уЮ, ПО СрОдСТВО;1 ~у1П11ууо(ЯТора, ПОСЛЕ т(ЕГО СЛЕдуЕТ ;-тБ;тт,::П:(11318 11 ЗКСПОН1(рова1П18 КСТотт1ПГКОМ Х.,т(ВЛЕЕ ПОДЛОЖка аВТО-

':т' '.'сч( О' кРББляотсЯ и Удс3лнется О Рабочей пози(п(и чеРВЗ лО

Б Прт18;ттГ~'Ю 1ттаССБТу 2.

'! .,":Л(1 обга301-"т Б РабОЧ81( 1ВПтЛО ОСТБЛаСЬ 6ДИНСТВЕНная РУЧ-

1;3 с( т'. ~т "татв(Я вЂ” тст81ЧПтслнвстватттте

1..;::;Б(с. 2Б по1,11381и сх81,а аБТО.",ьтпческой установки ООБ48- ;,(8с БП;1 З.~„:Ст:013(РОГИ1(пят 1сОТОттЮЯ ПР1ЬП(П(пиатт(ЬНО ОТЛИЧЯЕТСЯ ОТ

Бт 1(усР..тс 1Пт".11(тдт(ПОМ Д811тСТВМЯ вЂ” КОНТакГ1ИЯ фоТОЛИТОГрсафвя ЗаМЭ- т,*." тттт т(1 «"тонтс 1(1(ОИ (сДИ110БР01181П(0 38СБОЧИВаЕТСЯ ЧЕтаз ФОТО(тИбЛОН 1(то ", " 11 то 17.тР-т110071 ПОДЛОЖ( И а Л1ППЬ 66 Небольтлед ЧЭСТЬ ЬЮ(Цтль .'"'' "..~'что:' ти. 1(зорд111итное пер81(8Щ81п18 1ахттзтт стОлик 5 О подложи(П, 11( т",Од 31(™ПО(П(тр01та1ГИБМ т(атх110ГО НОВОГО (йсдуля ПроиЗВОДИТСЯ ",0 0 тт". (10:-*;т('т((т111(18 110длст(~'.тс1 С аЮТО(~табЛОНОИ С ПОМОЩЬЮ ЛИ38РБНХ тттти'тт Гр(тттстроВ П ДРУГИХ СБЕрХ7ОЧ1ИХ ДИТЧЩЯВ ПОЛОЖЕНИЯ.

::.-: П01.встт Ступ81п( ав701ИТизащп1 Опера(п((И ВЫПОЛНЯЮТСЯ на ' 7:..:.,11. х и:31;пах. Поэ Г01(у 1,п(огсоперецио1пп(6 производственные ттт:.;;,;:::ОСЫ (ЮЗЛ1(ЗУЮтТСЯ ПУТЕМ СОЗДаНИЯ ПОТОЧНЫХ ЛИГПП(, П(РОДМЕТ".И- 3.-. ",:,:-;- 71;х;.-.Пстксв и Т,д., где основные технологическ118 процес-

СЫ ттт т!тт с31ИЮТСЯ На .1(1Ю111ИХ-ПолуавТО(тИТах И РЕЖЕ аВТОМИТахи Ко ТСтттт:,6;тт101101(авсЗРТСЯ В ТОХ11(тЛОГИГЧОСКОИ ПОСЛЗДОВЗТЕЛЬИОСТИ» Прс т - .,;, Ы 3 „,~ 31ХИ И Ст с,т И Пс1Д(тЛ(В1 ( Зле КТрОВанууЬПГЫ8 Прибсрн Пслу 1(РОБСД(ПП(ОЙ(8 ПР1(бОРЫо 1(П1"ЗГ~Х'-"'т1П18 СХ8ЬП1 И ИХ СОСТаИНПЩИЕ ДО-.

ТСЛ11 и ЗЛЫ1 Пх орпс1ГГПБ((Яи а Такие Иэиопера1В(01пиа ТранопорТт(тЮ1БОГ П тт;скопт(31та(8 ПЗДСЛ'1".1, рсЧЗДОЛЕНИВ И СОЕДИН61П(6 ТЕХНОЛО- 131'тсч(1101Х П070КОБ, Удй Че(П(6 ОТХОДОВ И Т Па ВГ(пол(НЯЮТСЯ ПО' ПРОЖ- 1(.'.™у Бр) (Ыт Ю 1Ы(11 С 110:."От-:(Ьтст СрсдсТБ тсГВХ(ГНИЗа1П(И (Транопор71П(6

'.:,;:.»..ат;(,~ри~,то:осоти"я - жо аитосатииоттат оиотастт

(33'Нт;;03 т(Э(ПГО СБТот,атГ 18013 У И аБТО(тИТПЗПРОВа(этЗСГ Л(ГЫ(П1,

15

Fig.1 004

Распознанный текст из изображения:

1П11»ОГО р»азв117ИЯ Техислсг1(ческОГО ОборудОВажхЯ СООт

»к»;» . » ПО (» 1»»»1»У1фп»»»»( НаПРНВ»1»»1П1Я»1;

~ ЬСЛ1Р»81018 ПРОИЗВОДИТЗЛЬНОСТИ

Р

"'»зо»р»к»1107ВОВание и разработка новых метсДОВ технологичес

'»1 10здействия и ' 1стем автоматическОГО упра

1». "»»»»1»1 1»Б1 1»юб1»»1ь 110сти» 7 «8 е бнстрсго перехода Ва Выпуск

( ' ТД~~ОПНЗ'»19»ма И»И Доже ТППа ИЗДВЛИН»

.1» ич»зм, разв117ие О»бсрудОБажГЯ может происходить внк ПОсте ; .»»Н»(» В»1РЗДВЛ»ЗХ ОДНОЙ КОИ10НОБКИ .'ИЛКНН За СЧ87 автсматиза АЖ

руч11ых Опсрац1»»1, псвыйэния Бэдежнссти ис170лнительы(х

, ЦКЭ;»,Ь»Л,-:,ТРОЙ ТВ таи И 01;.»Ц(ОООПНЗНО ПРИ Оозда1П(И Н(»Я(Х

;»»»»ОВО»( В»," 0»(А»н»»1Н прсг»ресс11В1»»д' »»»зтодов Обрабо71Я и си(»тем :,"Р ~1»»ю»8111(Я (сбсруДОВание НОВОГО поколении) .

»1 8 это Б полнОЙ мере Отнсситсл и к ОбОрудован166 Д6а Ваку',:МН»дй 001набстки ~.В11.

; НО»»огич8010Ф пропесс Ва1(уу»»1ной об;~аботки боль11п(нства

'- су''100'~~ емый на Откачн"11 Обо'.»удовз1п(иввклпчает

,;ди1 1) пц»»»»с»оедвн81п»18 п,.»ибора к ва1(у»»ьщой сис781»»»8

1ХЧ». » '1ЖР»%»»,"'„1'11»1НЫ1»1 На»(»001Ц 3) ОТ~РЧК» БНСОКОВН1(УУМ1Ь»1 Расо»»ОМ~

1.;З1к» 81-»1»р(чп»181( арж17уры; 7)»» акткгирова1п18 .:Бтода» а) 07ПВЙ Г,»'.»87»131»11»Я» И уд»ЗЛ01Ч(8:(рибора. 110следовато»ЛЬНОС(Ь И ДШ1- 7; ь110077» этих спс:,~ций, завис1ЬДие 07 71п1а прибора, нзгллд1188

- »го 11р»8»д.„.авлЯГь В 1п: че технолог11ческой д;:."Згра"~щ ~( „10) „

»»сд (РИС, *

~»;.!1зч 1льно весь тех1(слогический процесс взкууйп10й ОбработКП !' .„'„1:1807 *Л»ЯЛСЯ Ца»'таЦНОННР1МХ СТК»»1ЧИХХ УСТННОВКНХ ПЗРИОДИ

'"С~'. ГО 10»ЙСТНН - СТКНЧ1»10( Постах. »а1( Каи ПЗР»вне Тй И ВНПУС »',а» ".Ы»(»11»01;!:1ЛЗЯ100'».'ЬЬ дБ1 Имели Иэлне ГабарИТН„ТО ЧНЩ9 ВСЕГО 1»з ОЛ11011 посту за»дин цикл Обрабатнвалбсь несколько изделий

(»Д~,~В»1Ю»(К»»1110»

. 0',.~ 01',01'-:!'»8»»1ьнссть рзб07ы»»»(но»гоместнбго универ»сельнОГО 07

1»Ц»!11010 П».ста П~О'"~ -Д1П»( По П~Б»»ПЦППИЛЬНОЙ ОХЕ»»Р ° ПРЗДСТВВД8»ЯОЙ 118

1!»О:: »Орн 1 ~ф'»чну10 .' НО~к'!»%в Гпзовнх Г»»Яйся."':У и 1»~. '»1ва1:

р ...Лр»(ва1»»7 к

Гр»".:б81п(»'' 2: а»к"„~~1»П10Й1 <'»1;*781»и1, 1110РУ1:.»»»т механический насос '5, О.:,';.;80" 1л».0„"'»п1 откз(»1у 1»%»бороз ДО,»»азлетп»п»' -'~ 1» .1 р

".1;т"..;~ 11р:1 Откр»:Г(*.,' вентиле 6 и за! .1»:..ьк В81ни»(ИУ 2

7»' .'-'" '»»

» ~„;;, .'-.,;,0»11»ч спст(.»':.„1»8»сбу;.»;(з(а Дч»,.'1 (»»»;.;»»»»»(Нч - Ц»(»»1Н~У»к»ЬНО,»;

разрнже1пя в приборах без отк1пачеия Внсоковакуу1а(ого ДИ1»";узионного насоса 9. Голее Вентиль 6 закрыва107, а вептилч 3 и (7- крцвают. При етом приборн 1 соеднннются с джКуэ1101(1ьм насосом В

.2

и производитсн окончательнан их откачка до даьл81ин 10 -...

10 5 Па по схеьв: приборн 1 гребенка 2 - Вакуум1ил ловуи1(а '.. (дия улавливе,ния паров масла и Воды) - дй)йузионный насОс 9"-" механический насос 8. Контроль за откачкой осуцеств;иетсн датчиками измерении давлении 4, 10.

0 новременно с 40рвекуумной откачкой начинается

дновремен

обезгаживание стеклооболочек приборов. Д»1н этого от электродвигателя 11 через червнчнув передачу 12 и псродачу винт 13 - п~1»1- ка 14 происходит опускание по нглраиинщей 15 почи 16 и В((ли(ение опирельннх электрических нагревателей 17. 3 самых 118ри(х Откачннх постах подьем и Опускание печей Осу'цествлялись Вручн»»В, а В качестве нагреВателей испОльзОВелись Газовне ГОрелки.

Рис. 10. Технологическан Днагрз1ла 071(ач101,811

Fig.1 005

Распознанный текст из изображения:

Об831ВВБВВние Ввутр91п(ей ВрмВтурн провоДБтсЯ путем ВВГреВВ 96 Бзлучеппе 1 07 охзогретОЙ Об(»»хочх(и В х(ро хеосе оллелпХЗББЯ Оболоа!-:и В п8чи проеЗВОДЯт Вктиви(х)вение кВтОДОВ путем поднчи

1(ВПРБКС»ПИ ЕВ1(ВЛВ Б(» БХ БОДСГРВВВ78ЛИ.

ДО СИОБчВББи 11роцессВ Сбриботии печь 16 поднимзх»т и произВадит отпай приборов ВручБ»ю гезовнми горелками. «Дрщипщ рВбо- 7Б и ВВборВ клех(ентов ВВкуумнОЙ системм бнл честично ОпиоВн В 2.1 парВОЙ»16сти пособБЯ Б будет ПОЩ1обпо рВссметриветьоЯ В курсе ООБОВБ ВВЪ7/~ВБ(СЙ техкики» )

ТВ1сп( Обрезом„в 07:(В'111'17 постех 1(елнй рЯД ОперВЦий «приСОЗДБ1К~10.8 »1рпоорСВ К 0'» 1(»((НО»1 СИСТЗМЗ» ВКЛИЧ81п(9 -'~ ИПСХПЧЗБ(И9

,БС»»Б»»»011Ь1»»(» 1107;(1П(з'10В и устро ~~'тв Отх(ВЙ) Внполпяется нруч.-,

БУВ. !';"'с:,18 того„зтп СБОРВхп(п» не совме(цеинне по ВРемени с ВВ»»

у1 1 -,С ~" С )1»3,»071»0,, 'Р»10б»~а»»»10, ~»»»»ТОЧНО д»1Б»»8ЛЬЧСХ»0 В ~8»»»»БЯ

26

И7ОХ'Е СТКВЧ16(9 11007Н БМСЮ7» КВК ПРВВВЛО» ББЗКУВ Х(РОИЗВСЛЖГСХЪ

Ность и требуйт обЯзпх»ельБохо ч»рисутстВБЯ Опереторе.

у

велич81пхе Сбъ6ми Внпуски приборов Вчеч67 В зтом сл;/чВ8 00-

Стзетствухицее увелич81П(е числВ СТБВч1их (100703 Б рабоче"' сБЛБ.

ДОЗТОМУ ПРИ ПЗРЗЛОД9 К МВСССВОМУ 1»»1ПУСКУ ЛЗП 11СП(»ЛЪЗСВВ1018 07-

1((,ч(("„л постов Ох(ВВВЛО(»ъ Безй~~(ект»(ВББм ВОЗ.:,п(клВ Веобкод1Б»ость

В рВзреботке новохо ~сокопроизВОДЯтельБСГО 07БВчкогс сборудсВВ1:.ИЯ.

ОСГ1(ВСБО Теор1111 прОИЗВО.Х1»';"СЛЪБССТИ М11.';ББ, СЦБ(1 БЗ ОСЪСВ1ПВ(

путей 68 повьп181(БЯ 331ъ'~»' '.-'(стсп В разбБении тех(11»ло(кчес'.(ОГО р: -.

БЕСОВ БР СССТВВ ~д»,."~ »1 СТИ В»~' 10»'.»» лдМБЕ Б»» 07":»8,»Ь1»». За,'(ОЧ1»»»»,

»пщк «п(ф~1»»речц1~6111(Я 78, т', », », р' (еок Го пооцессВ) и Об 1 81ГП1 1 1Б

37ББ позБхпй В рВ1пжк 0»о(ОЙ ИБсгопозБ1л':АННОЙ .'Зла»'» «1(охп(зътРВ-

1П(Б СПЗРВПИЙ) .

Весь 78'..1'Слогичес1»»х»1 1(»»п(л» кс70рБЙ рееее Внполнчлся БВ сл"- БОЙ ПОЗ1ППХИ» В ЭТОМ СЛУЧВЗ РВССРЗДОТОЧЗН ПС' 118(.":".01ЪЗ2К ПО31ХПХ1Я1»Ъ

370 приВ07дп к тому» БТС 00'и»'.Хинство ЬВбмьхх '':БсрВУЯЙ соыхеГЗБО

по Вре»»зии и произВС,ариель»»(ость оборуЛх»ВВБНЯ СЩиделЯетсй Впе".(9-

БСМ ИХХОИЛЗНВИ Бзде"-:Ия БВ СдБСЙ ПОЗХПП'.К, 'ТВКИ»( Обр.ВОМ, ПЙОБЗВО-

1ДТЗЛЪНОСТЪ СУ»ЛЗСТВЗНБО ВСЗРВСТВ»87 ° ».137(01ПХ Д»ффбР61ППВВ(ПП1 И КОБ-

Ц8117РВЦ»ПХ ОПВРЧЦИБ»""ОИ ССЗХ(В1П(Б»П(ОГОПОЗИЦБСХСП(Х ВВТОМВ»'

1»Влин буДут подробно рВсомотренн В курсе "Оонони проектирОВВхп(Я

З,ВТОМВТОВ" .

Этот х(утъ привел к создВБИ(1 полуВВРОмзтов Откички НОследо

ВВтельного действия БВруселъвох»0 типВ» телнолохт(ческая слемВ

Схпхого Бз которБ1с ххредотВВП61В, ЯВ рис» .~.2» 1(осле ЭВгрузки и

ГЕРМЗТНЗВЦБИ ПРибора В гНЕзде «поз. 1) щююдятСЯ Еге пРЗДВВРБ-

тельн(хи отБВчкВ «поз. 2) и контроль БВТЗНВБИБ «поз. 3). Зхтем

дж(ф~ренхХируется и Осуществляется форВВку»»мБВя и ВБООНОВВкуум-

БВЯ ОткВчнВ «поз 4-15 и 16-4Й ОООтв8тственно) . ОбезгВИИВВ

НБЗ

О ОлОчжи Щюводитон последОВВ78.1(ЪБО В тухп(ельХИ>Й печи

«поз 4 14)» НВ ДВВЯ7ь «14»»»22) и пЯть «16»»ЙО) позБЦий Рез-

битн ОперВЦИН обрВботки БВтодз и И обезгВЯНВВББЯ ВБ.»тр81п19Й

ВрмВтурн» АктивировВББЗ ГВзопоглстителЯ «х'9778рВ), ОтпВЙ прибо-

рВ и удэление 00797БВ Б(791(ГВИ(х Вмполня11тся БВ Отдельнпх поз»»пп(

Ях 21„23, 24,

Тзким обрВзом» лотЯ ххзкл ВВкуумБОЙ Обреботки состВВЛЯет

Общее В 6МЯ би

р Щ6 МВВББЯ приборВ нз, БВруоели ст зегрузки до оье-

мВ, х»роизволительность ииБж4 будет ОпреДЗлАтъсЯ Временем ны-

2(~

Fig.1 006

Распознанный текст из изображения:

дачи готового изделии - тактом ее работн, равным суммарному Времени Вистон и перевода карусели

Бриипппильная схема карусельнОЙ Откачнсй машкин показана па рис. ХЗа,б. Она ~Зреет периодически Враиппхпупсн технохогичеокуи карусель 1, по окрукности которой равномерно расположены откачнне гнееда 2 с установленннми В них ЯЗП. Жакдое откачное гнездо соединено с соответстнующим отверстием В верхнем диске золстн$ПФ б, количество зтих равномерно располОженннх В Верхнем диске Отверстий равнО количеству позиций карусельной машин~

Рпс. Б~, Аехнслсгичсская схема карусельного полуавтомата Откачки

ЗО

Рис. 33. Принципиальная схема каруоельного полуавтомата откачки:

а - вакуумно-кй~ематичесиаи схем,„б - схема подклпченин насосов

ат

Fig.1 007

Распознанный текст из изображения:

ЫИК1П1Й диск зслотн11ка неподвижно закрепхен на Оснож'.1пхи м!хнины и 1~меет Отверстия с та101м же щагсм~ Однако число ОтверОтий здесь М61ъшее, тек как 01П1 не 1фжны на двух псзицзвх загрузки-внгрузки

11'делил. Карусель, повернув11ись иэсте с подвзж1паи д1ском на

спредел61ппхИ угол, Останавливается так„что каждое отверстие верхнего диска Обязательно совпадает с ОД1пщ1 из отверстий южнего диска. Таким образом, золотник обеспечивает поочередное ссодин81пм Откачнех гнезд со средствами Откачки„начиная От предпарнтельного разрежения Г дс дсстшзния в"'-'~КР1а~

го ф1ппипным паромасля1пхм насосом 8. Рзрметичность зтих соедине1ий Обеспеч1п1аетсн плотннм прилеганием верхнего золот1хчка к нижнему за счет тщатсльной обработки их поверхностей, а также масля110гс ",'~плстневия, нанесеннбго на ПОБВрхность дисков и в утлот 151Т8,1прные канавки на дисках.

Нечь Э и БЯ итузпи 4 обеспечивают обезгажизание оболов н выутренней арматурн БЭН. Такт работн вапины осуществляетсн за врВМЯ ОДЯОго оборота распределительного вала (Ю) 9 с закрепл81пими на нем кулачками к, к,, к~,к,, Ю получает вращение от электродвигателя. через ременную передачу ~д, /(3 р НОнические зубчатне колеса к, /Р„и червячн;~ю передачу к /и . Ба РВ еакреплен ряд кулачков, управпзхидх работой исполнительБи мнннизмов полуавтомата. Нериодический поворот технологической карусели (ендексация) производится при помощи кулачково роликового механизма. Он прегстыаяет собой устройство, преобразующее раБЧОмернсВ вращение ведущего звена (кулака улитн) )( в щицБ- вистое движение ведомого звена (диска о РОЛИ1шпх) П), с которнм жесткО связана технолох'ичеокая Карусель,

На рпс. Х4 показан кулачково-роликовнй механизм.

кулек-улита 1 юлеет криволиней1ЗХЙ паз в пределах угла ф„ Прп повороте кулака на ух'Ол ~~ ролики диска 2 перемещаясь МВЖДУ ОбРазующнми КРиволИНВЙИОГО паза, ПОВОРачивают диси на . Угол 1Х между двумя ООСВДИИМИ РолзкаМИ На ОСТЕЛЬНом уГЛВ 2х — ~, при вращении кулака диск с раппами неподвижен и фиксируется (бло101руется) гребнем кулака, т.е, образующими, нерпе 1сп1кулярными к Оспа 1 реб 6 нь входит в пространство 1И1жду дву

мн соседними роликами, а последние Охватывают ВгО с двух сторон (нч рис. 14 механизм показан в момент фиксации. "диск с рОликими ПВПОХПжкен) .

Fig.1 008

Распознанный текст из изображения:

При из1л1нещи этого потока В метсллзчес1се~ детелЯХ ар1Ятурн

Всзбуждв1этсн инд/ХЦконнне зысскОчастОтн110 токи ( сихоевнд ТОКИ),

ДОС тиГиюЩие Очень болы1ОГО 31юч6181я. 1ак131 Образом, 38 счбт г."1-

Д8ления дисулеВа тепла От Вихревых токов и теГлу., сэлЗан11ОГо с

потерями электрической энерг1Б1 Ба пере:игннп1ъмп16 (Гпстерезис),

происходит разогрев В11утр81П18Й арматуры и 68 Обезгакива11116.

Расчет элементов приво1И1~ Опнса1П1ых меха1П13мов н устройств бу"- Н 4$

дет расоматриються в курсах "'26ория 1лпжн н 116ха~;13мов

тели ммпш" ~ Расчет и конструирогаЯ16 авто113ти311рсва1Б1ОГО ~х.ср~щэва1яя ' °

Развитие электронной техники прввело к необх,1Д1Б1остн 66-

Оийногс и массОВОГО выпуска крупногабаритных 'ал1 (электроннолучевые трубки, цветные к1П1е скопы и др, ), Для -1:.„куу1:13Й Обра

ботки этих ткпов приборов испо1п>зовакы инсгопс31пп1онш1х Откачвнх полуавтоматов становится уие 11634фектнвным, так кек,

ВО первых~ Откачка больиих Объемов 1.1а1П1м чистом стандартных Насосов практически трудно реализуема а Во Вторых 11О631,16р11О

Возрастехй габариты карусели.,ПОэтОму В1лэсто использо281п1я Отф,у~лшх систем дкя 1тЗлсгс числа пози1щй к зслстпиксВой системн логичнее вернуться к индивидузльной безэслст1П1ковэй

откачной СИстеМе длн каидой пози11ии„снабдив 66 Всемн НСПОЛЫ-

тальн1ии механимеми. Прн этом сохранить многспози1Б1онность

оборудования и компоновать его не в Виде карусели, а В В~1де

конвейерной линии, что позволит су1дествен11О повысить коэффи1В1- ент использования производственных площадей.

В етом апучае реализуется другой путь повы138нвя производи-.

тельности оборудования - кснЦентра1П1Я В ОДнсй мйшине параллельных (др5лирующих) позиций, на каждой пз которых Осуществляется

весь цикл обработки (машинн параллельного действия). На рис. 18

представлена схема 164-позиционной автоматизирсва1п1ОЙ конвейер' ной линии вакуумной обработки (,ЙЮ), построенной по этому принципу, где каилая позиция яакяется отдельным откач1п1М гостом.

Пуск, регулирова1пи и останов линии производятся с цеытрального ~~льта управпения 1уэ 66грузка и О3811 пзде1ий Осулествляптся вручную или манипулятором. Из 164 позиций эп1нви 151 позиция (с б-й по 1ОО-ю) разь16щена в камере конв8118рной печи 1 Обе згаиивания стеклоОбОлочек и Внутр61П1их покрытий ки1~скопа.

Fig.1 009

Распознанный текст из изображения:

ТЗХНОЛОГИЧеский П1:")1$)СС реал1ххзуетоя С; Оду)еЦЖй Образом". уста1106- ка кинезкопа В Вакууьное Гнездо Откачкой позиции - НОз. 3.;

аБТОМЯТИЧЗОК08 БКЛРЧенх16 МВХаНИЧЗСКОГО фОРВНКУУЪП1ОГС Нассоа И уплОтнение жтенГеля В Вакуумном Гнезде - поз. 2; аитоьРЯеческсе Вклх)чение форВакуу)п10ГО клапана и начала откачки форзакуу1лп1м Ба~0 1'ОМ ПОЗ ') 6 ВТО' ~71хчх; Сх"06 ВКЧ ~ ~х181П=6 1* 1ГРО ВЯ ~116ЛЯ ПЗРО ~ 1аС л1П10ГО насоса — поз, 4„. В11сокоВйкуу1л:ая Откачка кн11ескспа 11 тср1п1ческая ОбрабОтке. 6ГО ОбслО'11хи и ~16чи ОсезГЮ~1Ва1п1Я—

поз. 5-1,55„. НРОГРЗВ и ООЗЗГак)~Б=;н)18 злектхР011;хс-сптн~1ес~.ок 011-- С76МН тока1хп1 В11СОКСх1 ЧЗСТотц ГВН61.'8701хоп 11 — 1103. 62-~.1,;:-хктиВироБание катодО — поз. ХХ4-: 16; й11":0;~тпх180~::НЛ Злектрсс711:х)1 Б;;Е)Птля - ПОЗ. Т;55-136. БПК:-.а 1СНПЕ НКГреиаталя ху~ЛКЪИЕЛЖ40ГО насоса — поз. 156 Откллч61П18 1~0рпах'х".„"ДИОГО насоса, КВ)уск 1хозЛ„"'~ха В Вакуу)О1у)) с)10781ху - -,хз. 165; ВМГрузка кинескопа

поз. 164. "ЯРОГО)п16 Б к1)несксп6 замерйх~Г прибором 1~1, 1".ОнструкТИБНО .ВО СОСТОИТ из СЛ8%хВ1ЗИХ 0011ОПГх1Х 'УЗЛОВ: 00110Ъ 1П1Я„"'7- КЗЧ'.ЦХ ПОСТОВ, УСТЗНСБЛЕНВЦХ Ка 11В)ИУ Лхх1СЯ ТЕЛеике„' КСИВЕ:,'18Рх1,"

БРиВОДа конВежеРах печи сбезГахиьй)п1С1 с)10781л1 ае701$ьт)1' '301,01х1 кон7РолЯ и УНРаале)п1Я АВтс.'.1зт)1ческое У1Цзанлен)18 1ыьл01л '~'с'". ~".'Р;1

лин)п1 осулествляется от путевых кулькаБ и злсктр1 чссэлх:,::.81.

ДО11еречнцф разре ~Я66 1тзобра)161х па р110 " ) 1,'„х1~лс, *.)и с устанаБ)1ИВНЕТСЯ на Откачно)1 пост 15~ Обсрудопан1И11 ВЙЯуМ11011 сис761~юй, Вцсоко'1астотн1НА инДУктОРОМ х2, меха)п13мом 110,11ъема 07- качноГО Гнезда ..6, печБ)) злектроотпая 1."~, Бзрцнозел1117нцм сетх111- Тцм Кояуком И, СИСТЕ~ВЛП1 Э)досцабиеция, уирх1Б1181П1я и СНГНЕЛЧЗа1П1И ВЯЛ~ДИНБЯ СИОТЕМЙ СОСТОИТ ИЗ фОРБЯКУУМНОГО $ЯСОса х":.х

с злектродВБГателем 2О, паромас)1янОГО Насоса 16, ~й~а1п1цх 1йханиз)к)В Т; и Откачното Г11езда Т4. Откачно)1,007 уста;1аВЛ11:,зет ОЯ на тележку 21, которая перемез1ается пО рельсам 22 От ГусеЮ1ЧНОГО ПРИБОЛНх УСТЯНОБЛЕННОГО ВНУ7РИ КСНГ6118Ра

Тун)18льная злектоическая печБ обезГакипания стеклооболочек состоит из 106 секций дкиной по 1 м. Каждая сек1П1Я псдюлена к рзм8 Х на четцрех ТЯГ)х 2 ° 1'ек1пп1 печи Образул7 ка1лру 6~ В Которой ПереМЕК1а )ТСЯ ОбрабатцРНСММЕ КПНЗ ОКО)П1. В Кххча 7 88 источ~йкоВ наГреБН пр)й~ене181 трубча7118 зле~тронзГ",~6БателБнце

злементц 6, распслоиеннце за бокоВ1ин1 Ст-.*иыьл1 7 )х1мерц. Л;,л

созДания НРе1ГУДКТОАьнои 1П1РкУххЯЩН БозДУха В 1хакДОЙ сехГГ1и йъ- ЧИ устанопленц п61~тробез11Пхе ВЗН71С1ятор11 5, Котср118 Заб111" з.хт ВОЗДУХ ИЗ )ххЗМЗРЦ Печи ЧЕР8 3 ПЕР~ОРПРСВН1ххз111, 11" ТОЛОК 25 К Пс 1~„'-

1ху:,. 8ГО через боканце полости О наГ)ЗВательнцми элементами Б ка-

х юе Гу пхх чи чере з перфр)п)О Ба)п1це око сц тТ Се кпчи с наГре Вателе

ннми злемента1~и имеит 7811лоизоляци)о 24 из Батц каолиноБОГО 00-

стаВа. На участке Охлзлде)п1я В ПОТОлке сек)пй сделанц Окна 3,

закрьпаемце БН1бер1па1и заслонками 4 для Бцпуска из печи нагрето-

ГО ВОЗДУХа. ТермонаРЦ 23 предназкаченц для аБТОматичеокОГО ПОд-

~,,".~ ДгДДЩЯ ТЕМПЕРЯТУРЦ ВНУТРИ Пех1И

Р110, Б..:~Опе1)еч)пп1 разрез 3РЛ

Fig.1 010

Распознанный текст из изображения:

1,3, ВаЯ ~ттж~-тзхнслсгцческсе Обо - Овани

Типовой комплект оборудования ЛАЯ производства больших и съерхболъцпсу цнтегра:иных ъцукросхем (БИС и СВ21С соответственно) ЭКЛЮЧает ВЗКУУМНО-78ХНОЛОУтЦЧЕСКЦЕ УстаНОБУОтУ ДЛЯ Нанесетвтя ТОН

КЧХ ПЛЕНОК, Вакуумио-Плаз~т~ЕННОГО ТРаВЛЕУП~Ят Ионной ИМПЛантапнит

электронной Обр~боткл. В таком Оборудовании полупроюдниковне цсдлскки Обрабатнвавтся с помоЩъш электронцых и ионных пучков, туцэкотемцературнсй плазин. В процессе загрузки, транспортировки и Обработки подцоцки до~гууц~ совершать разнообразные ДвииетЦ1Я т В ТОМ ЧЦСЛЭ СЛСт:ЕНЫ8 План8ТНРНЫ8 ПЕРЕМЕЩЕНИЯ.

установки цля нанесения тоупих пленок в вакууъе содериат следУиттцйе Основнне системыт УстРойства и ПРибоРН: ВакУУМИУВ систему, Вклнчаицуа рабочуп камеру ц средства откачки, которые Обеспечцт3аит тр8буемые Вакуумные УОЛОВНЯ Длч проведения техноЦРОПЕСсат ИСТОЧНИКИ И~ ПаРЕНИЯ ЦЛИ Ра' ПЫЦеццят ЛтаЯПЕУЭ а'УСМНРНЦЙ ЦЛИ МОЛЭКУЛЯРНЫЙ ПОТОК ОсатулаЕМЫХ МаТЕРИНЛОВ; Грснспортцруюцце устройства, обеспечивающие ввод изделий в ре, . боцунь УтптттеРУ И Зону ОсаЦДЕНЦЯт ИХ ВЫЮДт КРЕПЛ8НИЕ ИЗДЭЛИЙ ~цс,ццожки) и их ориентации относительно готока частиц осаждаемого матертила; систему электропитания, обеопечивадцум работу цспарцуелей и устройств распнления, а 'уакие других систем уо7а

НСВКЕт СЦСТЕтф' КОНТРОЛЯ И УПРаВЦЕНИЯт ЦОЗВОЛтШЦУЙ ОСУЩЕстуВЛЯТЬ

«адцержание Требуемых параметров технологического процесса и реиимсв реботн.

увеличение промышленного выпуска инуегральуцух микросхем (т1С) потребовало созда1пуя высокопроизводительного оборудовании. Установки Вакуумного нанесения (УВБ) тонкопленочных элементов ЯВЛУУОТСЯ Одним цз базоВЫХ видОв оборудования, поэтому от степени цх ООВертш8нс7ва ц цроизюдительности в значительной мере Зависит эф.,"ективнссть Всего прОНЗВОдства.

Развцтце УВН происходит по мере совершенствовании тонкопленочной технологии, уиесточенин требований к качеЬтву рабочей среды ~высоуцуй ц сверхвысокий вакуум, безмаслянмй вакуум, Счцщснщв цнсртные и активные газы, жнииьлъное количестю ВнЦСЛЯС;.ЫХ ТЮРЦЫХ ЧаСТИ~ И т.Д.)т ПСВНШЕНИЯ ПРОИЗЮДИТЕЛЬНОСТИ

-,.т, т т ~ЭТО:т ~ттзцтцпт На рцо 21 Преттт ттт~ Вттр1цт Зтуз ПН сазнцтця

, т-,;:ПЦЯ „ття Ч",т„ттт ецпя ТОНКИХ ПЛОНОК Э Вакт,,тме СРетт!Ц Кото дптл,'„т'Уттнс Утх ЦЦТЪ УстстЦстНПУ ЦЭРУЕСДЦЧЭСКОГО ДС; СТВЦЯ

(рцс. 2т,":-э) т пслттткспрврцвного (рис. 21Г) ц црпрернвного Дейст:;:С

Вий ~рцс„21Д) ц ацтсматическув лцупут дця пслученцц Тстц:Опцрноч-

ных структур ИС.

Первые промышл8$цуые УВБ предсуавлявт собой устаноъ~ц ксл-

ПМИЮГО ТИй. ~см. рцс. 21а), СОЗДЯЮцте На баЭОВОЙ Мод;Ац

УУтц тт'Щ-1 Сод коцтцакоьт В На цлу ое 2 т„"тттат=-твлтт,тт ттт'цатц1~8 у:т Ре „

Зцсуцвнсго тцт а ц Ч ц-И Гттттдные т астцт.туу С,тьтцтс -тцст;т; ут КОТС

рнте;"ЮГ77 Птзрекрцваться ЭЭСЛ01Ы *цтпт 4. цсдтЮЖттцту Э ~кост;..тены На тМ

.уср!ц ттт ттагревастся сццра"'ъв В ц прц ссаэт„о!тцъту раэлцтсти'-'ж сло-.

ев ЦОСЛЭПОВЭТЭЛЪНУт Ссттт~ВЦ: ' '"'СЯ С 1ВСКЯМ |, РНСЦОЛОЖентттттптт Н,':~. т:т-*

РУСЭЛЦ

т1СЦОЛЪЭОВЗЮУЭ НРСКСЛЪК "". ЦСГ".РГ.'-"-:.1ттйт т;ОРХ.'-Яст ':тСЛЭДОУ'У-

ОРДУ ЦР ПСЛУ;татуЪ Цатптт;У.;.-,Р ЦОДСТОЙ ~»тс-': Ц ттт,ге. О„т,т;. тттт,т;.ттт-,.

К СЯОВ Эа ОДИН ~Лцкц 07.',"цттттц. Ра ОДНОЙ .".':: Псзцтц".и Ъй;:т":;А."т 'тт

~КЩаЕТСЯ «"'4-''тг"аТСРт НттУ КОТОРОМ С!тсптУЦРСВт ХНЫ Ттт';~",'Ог-.тзг 'Атт!т; тт";Ц

ттЭЯ~08НЦЯ Ге,'ттттеРЭТЧЦЫт '* 'ттГРОВЪ ПСДУС т' "-,. Ц УУтттт."

тте~ст ъицой цл81ц;ц ~тт,"т рабсттттл ".тс~ттт-у т,„-."тцновлетнн ":;.;т;-*тт","..т,:ттт„е

ЭКР*,тУныт ИЗСЛтУРУтЩЦС ДРУГ С7 ДРУГа Ц".70'.тпц'Ц ЦстЛГт'-:т .Цт.

В ПРОМ=! 'Летпя МО"ПйуцттауцИХ Ксттцактс:.,тХ 1т*:;".:т.тц.;-"К„т.;-,црттт-

Мзрт УВу!-21$--1, УВЫ-62Ч-1, УБВ-"5Р-2, .".ЗК-77)-3, ...:т";. Льзр.',

Резцтс71иттые тл ЭЛСЪ: РОВНО-Аут"ЕВтУ28 УСПЗРЦТелит ДЦОДНУ д СЦ;"".УР,'.тты

ъцу. Вакуумная систе,;т', обесаечиващая разрекетцуе 1С -...1д' 'тц,

построена на баз8 перо!':асляногс насоса тт-Зт.' цлц В-21-Вт 'тпрттвАЕУПУ6 ПРОтУЗСООМ ОТКНЧКИ Рттттттоз ЦЛИ Цолуавтоматнтттеоцое. Цтт':.',ЭВО-

ДЦТЭЛЪНОСТЬ УСТанОВКИ ВО УП'ОГОМ ОПРЭДЕЛЯЭТСЯ ВтДР';Ут'".ФСТЪВ КЧРУ-

тэелит кОТОрая у бсльуцпуства УВБ этОГО тии (Фст-"~:"тяет 12 цодлот--

кек размером ВСх48 мм цли Диат,".етром бС ~м,

При стремцеюи к Увелцчеуццс размеров сбрабатыжемх подло-

жек в условиях массоюго произюдства )й небольшое число одно-

временно эагрукаецых подцоиек в колпаъовых 3Вт1' с~"раупучц~~ет

ПРОИЭВОДЦТЭЛЪНОС7Ъ ОбОРУДОВанця. ЦсцслезтЭЮттне В 1ЦУЧЕСТВ8 ПСД-

ттскконссуууеля барабаъху '.1 (рис В~.б„т ПОЗВСАЯ8т Угтелпчу~т~уь "«цсл0

одновременно загру::~аемнх подлскек до 7С-ЗС .утук. Рабочая каю-

ра Выполнена В Вице Гсрцзонуально.ГО уцУппууЦза В ц нмее'у торце-

нцр крытшки П) кото~тщ~ мотгут сткатнтъатъся по наутравлящ~ей

ВДОЗПт Оси ПЦЛЦНДРа.

Fig.1 011

Распознанный текст из изображения:

ВВ. 2Х. Этввн Развитйи обощоввйиа ди нйаобйя то цлвнок в викуле: не ащиеоното действии о вертикальной (а н нфизойтяльной (б~ оовв~ о воввфйтвым щввоввищм ~в) и цимоточннм (в. д)

Fig.1 012

Распознанный текст из изображения:

Ьззоюй моделью служит установка УВБ-7ОА-2, нь основе которой ссздщо несколько технологическис ьлдм)икапий (УВЯ-71П-4, : ВВ-7бП-1 и др.) путем встраиваия внутризшмерннх устройств (систем испарения 13 нли расшления, Датчиков, нагревателей, заслонок .'Р Б т.д.) и доукомплектования соответстнушщей систеи й питани н управления. ДЛЯ очистки подложек перед осаждением пленки к барабанноь~ подиожюдержатела, нзолировенному от ЭСПЛБ«можно првложить ВЧ напрякение Для И~нной бомбардировки

ПСЛЛОКЭК.

Опнса~п~не Внше УстэнОВки колпакоюго и барабанного типа являются установками периодического действия» последова78льность работн котс~~й ззклшчается В периодической р~згермэтизадци рабочей камерн Для Рйгрузки Обработанннх и загрузки ноних ПОдкоиек, Опускмии колпаюй 'дли закрытии торпввнх крншек» Откачке объема до рабочего Вакулла, нагреве испарителей или ~кБОДО на режим систем распнле'яя, контрол8 пареметров ПО7Ока Осаждаемхх частиц, Открчтпн заслонки, Вклшчении Вращения кару сели или барабана.

Установки периодического д8йствня 1п~ешт ограннче.'пппс ~ц~- кзвод1»тельность, так как время нанесения пкенки составляет незначительнуш часть Общего Времени ~Пп~а, з больниц ~асТЬ его затра'п»вается на Откачку рабочего Объема. Кроме ТОж, частэЯ разгерметизяяея киеерн является причиюй Внесения загрязнений, кстсрпе Бгрзшт Все большуш отр~~Фтельнуш роль по мере Уве~йче1ич степени интеграции БС и уиеньшеии размеров их Элементов. мореход к БАС н СБК Внзюл пояапение нового тиш УВЫ - перно- ,,нтескОГС дейстВЕЯ ОО шлшзовнми загрузочними устройствами,

Ва рпс, 21В показана УВЯ юзвратного шшззовании» ~о~тоящая из рабочей 14 и шлшзоюй 20 камер. Время и;икла Обработки партии подложек сскрэщаетОя за счет умевьшехпя Времени дООТБ- ,::. щя требуемого Вакуума в рабочей каморе. Шлюзовал камера слуйпт ДЛЯ ПЭРЕОДИЧ9СКОЙ Загрузки и Внгрузки ПОДКОиек ПРЕ небОЛьшсм перепаде Давлений между шшэзоюй и рабочей каьмрами. 3 ра.бочей камере посто,в~но подпер«тивается внсокий вакуум» что Обеспечпвает знсокуш чнстОту Технологической средн.

йпсзоюя камера отделяется от рабочей затюром 16, а от атмс~х!ерм - кръшкой 17, через котсруш происходит загрузка и 1яго» зка псллаиок на вспОГвгатеяьпнй бапабан 18. С барабана 19 еа рабочкй барабан 15 подчсекн перегружаются с помсщьш механнз

ма 18. В кач Исто 'ника осаидаемнх частиц могут нопользоваться Электронно-лучсвне испарители 22 или ~л~г«нетро~п~не распнлительнне системн» а Дии нагрева подложек - галсген~п~е лаьпп 21.

ДЛЯ ПОВЗШЭНИЯ ПЦОНЗЮЛЦТЕЛЬНОСТИ За «ъчет СОВ Л~ЩЭНИЯ ВРЕ ~Ц

ББ Обработки с загрузкой» м~грузкой» отключкой шпшзоюй каверн Бспозп«зуштса УОШЗБОВКБ 1ЦМВРтсчногс шшсзовання (рис 21Г) Йх можно Отнести к типу УВВ полунепрернвного действь«Я, В кстопнх цзкп обработки отабплен и достоит ~пекь Бз стщдиз Осакде~~й

ПЛ8$ПСИ И ПЗРЕМЗЩЭНБЯ ЕЗДЕ'ПЕЯ БЗ ПСЗБЦЗК В ПОЗ' ' СТЭНОВ»«а

марки ОХИ-7-ОСБ снабжена планетарной снстемой вращения подложек и предварБтельнсй плазме хн!~Нчс.Мой Очисткой В едином Вэлф"- УМНОМ 1П»КЛЭ ИСПОЛЬЗОВаНН8 НЕСКОЛЬКИХ ИСТО'МБКСВ РЧСНЦ«ей

позволяет получать мнОГООРОАЙ$6 покрнтия "станоька состон7 нз Вакуумной ~Марн 24, Внутри кОтОрой ва карчселБ 2В закрэпченн четнре цкпкдриче»«кие камерн 27.

ВО6 технологические проп8ссн автоматизирошми» кроме загрузки и внгрузкл подложек«Устело~шФ 'меет четнре рабОчие позиции, размещеннме в общей Вакуумной камере 24: загрузки и разГрузки псдлойлФдержателей» нагрева подножек» пврюго и Второго раопнлении. Камера 24 имеет крншиу для доступа к внутр~амерннм устройствам с цельш их Обслуживания» чнстни Б ремонта, фшпшдричеоиие зэмерн 27 с подзоизодершатакями 28 переюднтся из одной познцзи в другую поюротом иаруы'л 2В на 9ОО С ПОмс' щьш пневмопиппцц,'а.

загрузка через

яа перюй ДОзиции шзшзоюй проюдзтся загр откидную иришу 23 о юоледушщей откачкой шлшзоюй камерн 4О ящумн иасОООм В шлшзОВОЙ кемере О'лщеотвлзнтся

НМ

КВМЭРМ Р-

цредварительяи пйазмолимичеоная Очистка подлбиек В среде гаюгенсоде иаЩнх газов» фреона» кислорода и Других» подавмйих через бл'Ок натеиатаией. Возбуждение плазмн ооущеотвииетаи через Ж- електрод 31.

На второй позиции проводитоя нагрев подножки о юмощьш КВЗРЦЕВНХ ЛНМП На ТРетт»ей И ЧетвеРТОЙ ПОЗМЩЯХ» ИМЕЮЩИХ ОДИ накОВО9 конструктивное ионолнеию» происходит Осаждение плееОк о помсщьв магнетронов 29. Цилщщричеоння камера 27 при загрузке и вигрузке подлоишодержатеией соединяетаи с атмосферой. При етом Герметизации вакуумной зэмзри 24 ОсуществляетсЯ с помощьш уплотнительных злемЮИТОВ на тб~щйх цйп$ндров и сюьфснОВ ЗО, Щи ПЭРЕХОД9 ЦИИИИДРОВ 27 В ОЛЭДУШЩУШ ПОЗ~ПППЗ Карусель 25 сна-

Fig.1 013

Распознанный текст из изображения:

чала Опускается» затем поворачивается (В зтс Время ВО В09х ци лиц«рьх Вырав«п1вается давкение) на угол 900 и поднимается нзерх дс плотного соединения Верхних уплотнительннх элементов цилиндров 27 с верхней стенкой камеры 24. При этом приводной вал пль116тарнсго поддожкодержателя 28 входаг в зону зацепления о выходным взлом Ввода движения 26, соединенного 0 приводом враще«пи

Под««ожк0держатели 28 получают Вре«цение через ВВОД 28 и» Об«(ьтывзясь по ребру нь внутренней поверхнОсти Цзли«1дрь 27, заставляшт подложки совершать планетарное двикенвв отнооительио источника 29, что значительно уменьшает погреш11ость толцюы ПЛ8НКИ ДО +5 Я на подложках джаМэтрОМ 75...100 мм. ПроизвоДИ- тельность установ1и составляет 150...200 пластин В час.

Важной тенде«п1ией развития ИС язляетоя увеличение размера подложки. При переходе на подложки диаметром 150 и 200 мм бо- ЛЕЕ ЦЕЛесообРазным Явпяется ИН«(иввдуНЛЬВЫЙ Метод Обработки. Требовьнкя Высокой щюизво1Пшельности заставили компоновать УВБ по принципу неп(«ерывного действия. Установка марки ОХНИ-7-015 «' рчс 21д) 1»редньэначена дкя Вед(уум««ого нанесения пленки (» штучной обработкой и автоматической кассетной загрузиой и вы- грузкОЙ пластины В устанОвке использован многссекционвь«Й магнетрсн с плоскопаралле«ънсй 30нОЙ эрозии мишени На крышке устаноп«(и в первой позиции расположен нагреватель 37, на Второй — блок «жзгнетронов 38. Давление и состав атмосф~рн в рабочей камере н ка«лере распыления различны Вследствие того, что 1(амэры соединяются друг о другом каналами 39 дпя прохождения цепного конвейера, имешщвл малую проводимость газов В молекулярном режиме.

3ьгрузкь подложек ос»л«есть«(яется из кассеты 32 шшззовой КЬ«»«ЕРН 34 С ПО«ЛОЩЬШ МЭХЬНИЗМЬ шагОВОГО Пермзщения кассетм ПО- штучно на конвейер 43. Кассета 32 загружается в ш««шзовув камеру 34 прк закрытом затворе 35 через дверцу 33„Выгрузка Обработанных изделий из камеры 40 производитоя после заполнения 1«ьссеты 41. Подача подложек из шлюза 34 ва конвейер 43, а затем в шивз 40 осуществляется с помощьш механизмов 42 и 38.

СспостьвляЯ последовательность развития и структурно компсновсч1Э19. «16шения тер»«овакуумного и Вакуумно 'технологического обо)1«удован«Я» н6лъзЯ пе зем87ить схОДнне ЭЬКОномернОсти.

1, Обоих с«1учьнх двпжу«(1шп( фактораьп1 развития пос««ужили постоян- 58

но расту«ш19 требования к про«(зводитель««ости мь«»дин и кьчестьу ВНПУСКазмсй Щ1ОДУКЦИИ вЂ” ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ»»6ХНИ01 (Э»«61(ту(«««Ь- куумннх приборов и интегрь««ьных схем) . Исторически нь»1««ль .,а,. этапом В автоматизации явзлссь создание сднопсэ1(«И(«н««агс оборудования, В том ~иоле с единовременной обработкой нес««(«««ь«с«х иэделий 1см. рис. 11„21а,б,в). Дьлее следовал этап созд«1111 ч «ш(ОГОПОЗ1»»в(ОННЫХ 1»~««ПИ 0 РЬОПОЛО«16Нием ПОЗИ«ИЙ По («КОУД«СС»«» „1 И

распределением Общей длительности 76;0«слогпческсгс Всэде,"»ствпя по позициям (см» рис. 12 и 21г). Вто 11олуьвто«'ьтн н ьггс.",(эты последовательного действия, прин«п(пн псстрое««ия и мстсды проз«»- тирова«пи которых будут рьссмстре«П1 в курсе Оспс«««1 л«»о .» 711»юВания мц««ин-аьтоматов и систем Машин".

В Оборудова«пи ДПЯ ньнесениЯ тонких 1В16110к В «ж«(«у«»«6 В 1(ьчеств8 источника частиц ««п«рокс использушт как «10««ар1176.»111» тьк и системы рьспыл81пи материалов. При Терм»«ческсм 110ПЩ»ж«п»и»«с новным Кшктором» Определяшщим эксплуатацио1п1ые особе««ности и конструкциш установок, является способ нагрева испьряе««ых патеризлов» ПО этому признаку рьзличь«ст следуищне Типы испьр«(76лей: резнстив«не, электронно-лучев«18, ин«(ук«ионные, дугсные п лазар1йй3, Выбор типа нспарителя ДлЯ конкретных Тех««слогическ«0( задач зависит от хи«з«ческсй природы испьряемсгс «зтериьла, тежэрьтуры испарения и 88 постоянства вс Времени, исходной форин испа- РЯЕМОГО МЬТЕРИЗЛЬ 11»ОНОЛИТ, ГРаНУЛа, ПОРОШОК, Щ«ОВСЛОКЬ), ЗессВОЙ 61»П(ОСТИ ЗЬГРУЗКИ И Т»Д

При использовзлии методов ионного распнлен1и основным 'а- тором, опредакн«(«щим эксплуатационные особенности и юнстру«(1«нш установок, являетоя способ геиера«П(И ИОНОВ, бсмбьр101рУщдх рьспыляемий материал. По этому признаку различают следу«ощие системы распыления: д«1од«П19 вь постоянном токе и высокочьстот«п«8,

триоднне» О автонойп«ым ис7счникОм иОКОВ и 1«агнетрснные.

В оборудовании Длн ПРОИЗВОДСТВЬ 7010(спЛОНОЧННХ СТРуктур ИС наиболее широко приме«пш«тся электронно-лучевые Бспьрптели и мьгнетронные системы распыле«пи. С помощьш электро«пп1х пучков (рис. 22а) можно получить поток энергии о большой плотностью Мощи(«СТИ (до 5 а 108 Вт/01»~а) Что дЬЕТ ВОЗ«»«СИНОСТЬ 1101«аря»1»Ь ЛШ бне, даже самые тугсплавкие, 1»атеризлы, Пр«1«пзп1 работы пспьри телЯ зькшсчается В следу«хЦ6»»»» пз элек7ронпсй пулк»»1 8 э»п1ттируштся электроны 3, к07орые пОД ДФ'1стзием ОАФ«(трсмэгн««тнсГО п(»«««1» сословье«»югс к27уш«(ОЙ 1 и мьг«п(топровсдс11 7, 1«ьпрьь,".«П«тся на

Fig.1 014

Распознанный текст из изображения:

дьетРтирсвзннне рабкзленнОЙ Волх»фраАювсй нитью катода 1

0 такт ~Ф.»»н у >тремеяю»РОЯ к авюду 3 по Спиральным тра»екториех поД

Действием»~~агнитного поля катуюки 4. Стелкиваяоь с атомами ра-

бочего газа, электроны ионизируют ех»0, В резульРате чехо Обра-

зустся плазменное облако 1В. О помоцью электродов ионной опти-

ки 5, 6 и 7 ионы рабочего газа, например аргона, вытягиваютоя

из плазмы, фокуоируютоя в пучок 15 и ускорЯются до энергии, до-

07а70чной дея зфЪек»Ривнох»О распыления ма290излов на поверкнботи

ПОДЕОККИ а

Дея упрааеения начелОм и Окончанием траВеении».редусмотрека заслонка 0 мехзнизмсм поворота 16. В Случае распнлениЯ Ди=

злектричес~охе матсриаесв кюнхп~й пучок 15 нейтрзлизуеРСЯ элект-

ронами, испускаемущ термокатодом вэ и трааееихе производится

аТОмами аргоОи. Дея изменения угла падвния ионов иек атомов зр-

гсна Имеется Всзмскнобть 'поворота столика 11 Относи29льно ж-

правеенкя луча 15. Равномерность травления Обеспечиваетоя Вращением стОлика с помОщью злекЦюдвигателя 14,

Высокая чист»ота 'цюцеоса травления дбстихается тем~ ч70 В

рабочей камере 13 поддеркиюетоя Дакеенкв нике 1О 3 Па. Зто

Возмскно блаходаря тому, чтО мниду обьемом КСТОЧРхека ионов 2,

в котором дея устойчивого гсрехия х'азовогс разрях~й Оозда97оя и

пблде~ххинастоя Давлени9 примерно 10 Па> и Обьемом рабочей ка~"=

меры 13 Обеспечивает»СЯ перепад давеехпхй за счет Ни~кой проводи-

м002и ионной 0222ики хппх наличвя специальной дннфраумы.

Пея йслучения, ф~р»ИХроваНКЯ и ускорения до необкодкмые

энергий иохжие пучков легирующкк Веществ ( В, Р 55 ~~ и др,)

а такие для размещениЯ и сканЩювания Обрабатываемык подлокек

используются устанОВКК иохпхой импеантаЦНК. Они разлвчаютоя по

КОНСТЯЯЩИИ И КОЬЕХСНОВКЗ ОТДЗЛЬННК СИСТЕМ, ПО ТИПУ ИОННЫЕ

ИСТОЧХПХКОВ И ПР»ИЕИБК КЗМЕР» ПО ЗНЯЧЗННЯМ Х»ЕНЗРИРУВМОХ»О ИОННОХО

тока, энергиФе ионов к ДОзам хз»ехеантируемой примеси На ркО, 25

показана установка ионной имплантации» Вакуумная Оеехех которой

выполнена на базе турбомолекулярных насосов (ТМН). Приемная ка-

мера 3 с подеоккзми, ис70чник ионОВ 1 и ионопровсд 2 Откачквз'-

ются до давеення 6 1О Па, в шлюзовой камере 4 создаетоя раз-

-4

ржи.пее 1,3.1О 1 Па, Бнсоковакуумнея Откачка производится О по-

хющью двуе ТурбомолехХуляркхх насОСОВ ИР1 и ЙО~ ~ ффвзиуухпиЯ

откачка исподних полостей ТИБ, икюзовой камеры, а такие предва-

ри2ельная откачка Всек рабочххк обьемов установки ОоуЩеотвенется

Т,.ми мешническхапх пеастннчатс ротерннРИ»х Насосами'ЦЦ„~4Ы НИХ.

Ж

Fig.1 015

Распознанный текст из изображения:

дкя предохранения всех откьчвваемих обьемов от паров масла (нз механических насосов и подшипниконих узлов ТМН) исппльзушт сорбционнне ВЬ и заливнне азотнне Ь~ ловушки. Переход к различннм стадням откачки РабоЧИХ Объемои И ш?юза проиэиодэтся При помощи клапанов как злектромагнитннх че, так и с электромеханическим приводом ЧИ1 ... ЧМЬ, а тахсхе нмсоковаиуумнхп. Затворов ~Т . Балуск газа (атмосферного воздуха или осушенного азота) в рабочие объемн и шлюз Щюизводитои через натекатели МРУ, ЧГА и Жб, а и полости механических насосов поояе их оотановки - через ЧГ1,ЧГЪ и ЧГ5.

Для разделениЯ работник обьемов устанон?пх и шлвзового заГрузочнсх'О устрОЙства при раздельнОЙ вх разгер??стизацк?х щппюненн затвори псворотвОГО типа с электромеханическим приводом

~Я6 и Ю7. Измерение давления при создании требуемого разряже?ппх и при проведении имп??антехп$к Осуществляется термопврными РТ и ионизационнимк РА взкуумметравщ. Раздзльнаи откачка приемной камерн 3 и источника ионов 1 необходима в связи о тем„ что Они находятся под разными злектричесяими потенцизлами, Вакуумная система работает в автоматическом реизмэ по заданной

прсграВФВ.

Полученнне в источнике 1 ионн рабочего газа попадцзт в ионопровод 2, ~остоящий из ьтт?сс-сепаратора, ~истем фокусировки, ускорении и СКВнирования. В маОО сепараторе при взаимодейстхпхи дв?ш?у?ц?псся зарлиеннмх частиц О маг?хитним пблем происходит раз деление ионнОГО пучка ПО массам хак как радиус траектории О'й клсн8нэи ионОв в магнитном поле Зависит От их масси, ТО по Оси ИОНОЩЮХЮДЗ будет двигатЬСЯ ТОЛЬКО МОНОИЗОТОПХИ?Й пучок, т,е, СОСТОЯЩИЙ ИСКШСЧИтельно из необхсдзмих д??я лехчЦЮфания ИОНОВ (?ип?ример, ф)сфора). Фокуоиров?ю пучка нэобход?иза для Обеспэче?п?я заданной плотности тока, ускорение - дли обеспечении энер'гии в сотни и дзие тысячи кикозлектроннольт, Сканирование .

ДЛЯ Обработки всей ПЛОЩНДД пОЛУпровОДНИКОВОЙ ПОДИОик?х

Ба рис. 26 показана приемнзя кам?";.'.,~а дкя НЩцци?дуэльной Об-

поступз?сщий в приемнув каюру 8 из ионопровода 14, сканирует по

всей поверхности подкокки Ж. В процессе нмплантации понсэ под-

лОика непсдихкна и располахаетОя на стол?хке П. Кс??трсль х?ара

метров ионного пучка произвоДится цилиндром Фарадея 1(),

Fig.1 016

Распознанный текст из изображения:

Ьыруии я В11ИГрузка подложек осуществляется через илвзн 6 из

..:;"Осетн 3 по прппцяпу "из кассетц в кассету". БлевмохпцпГядрон 15

стой;а «'. с пода10ХЗЙ касс67011 3 и Приводон 1 ~~дачи кассетн пере-

1'Сд11тся В яаклс10106 положеГПГ8 11ри жхядом переъВцейии вн шах' яа

1".ПГ яс П1011 !!Сд~~"~ОЙ кассетн подложка„ссж16цеяяая В ГОГОскости с

**т, ~0, Г л роз.„е тапок;18.,:ст",1181и собствеГЯГох~о песа

~Р1 Яд~1.':"~Г';: 'л;,па11 О„котор1111 ГОГОтко Гтр1'1~ат СВ01зех уГГлотГПГтельнн-

8 г~г ~,;,01: Р„1181 '.; 111-1;ТР811118Д СТОГГК8 1111ПСЗа И Яе ДОГГУСЦает РаЗХЯР:- 101кзаГГ'1 1ГЛЫГЯГОР канерц 8, Берулкй к.,апан 4 110.";.чят В Веухяее

й..~ли'" ",1П18 р л,31'Йя 110длокке зозцс хяос1ь со:. кольз11уть яа торсГХ

ГР "01,'1ГО клапе1Га б. БалГГчне 110дъ~жек 1ГН ТОРце клаГГана кОЯТРО.'"11—

р;,*ется .",070118тчпка161 '7.

1Г'сло леГ11ройаыГЖ Одной пз ПОДложек стояГЯГ х1 перйводктоя

В ~~ОЛО .~"."1ЙЮ 13111'РУЗКГ1, СОВ1ИНОЯ ПОДЛОЖКУ В БЛОСКС~".:ТИ С ПЯЗОМ ХН

;-„1у10',10гс ГГляза.,.10дГО:аГа ООСТЖ.Гьзнвает на иаяий клапан, а

'10Г'.:;~';!';1р01йсч От подГГОыо1 стОляк Хх Бозврецаетоя В полбженив

,-~111р -зк11 После з ох о Вес Г1018 кла118ЯЯ л Обоик цл10зов плотно

Г'.01';ГГ. Ххе.'тся к В11утрен1071 стеккан ГийзОВ, из зазоров между Верх

ГГК. 111 ',1 Я;ГГИ.:11™1 101 ЧОЖГГШ ОТКЗЧИВНЕТСЯ ВОЗДУХ В ЗатъРУЗОЧНОН ЩПЗ-

дс я '.:;~1".;сеается в;,~здук в Вяпрузочяс1А ГГл:озе Затем 1ГГГЖГП16 кла

!1111ПГ 5: бспк и111"10ь Опускезтся 1П1'.'1101~пан камера Герметизиру670я

~11Л01;,с~т, Гьщд~:1 ет8116чтаьпГ Вещ111хк клаГН„ЯОВГ и Одна помдожка

00: кс Гьу~:Гает ка стол1ек 1.1 а Друхйя В свобоДЩВ пчел каО"-

с,„"ц д. Р",.Г10".'11361пи полост811 БАизов 8~ соединжщГОГОН при за-

,Л зГГ 1;*'1- 1 Офс.~м~ОЧ ГП1иеННОЗ Ка;16рн 8 ОСТЦЕОТВЛЩ~ю О ПО

110".~ь 1 с.'1б101К ! 1018 фап 'ГГ, пара1187рн котор10." расс'"пттнипь; 0 по-

110:.О~В .'~,~110пов сопротив 61ГЙЯ Матер.ИЛОВ,

~~толик 11 '.: ЯОВОЙ ПОДГГО."'Акой ГифеГифГТОЯ В псложе~нь и14-

1;71Я1ГТОГП; —.1. 118Л1ГП18 П01ГЧСЧ101 Яа СТОЛВТЪ КОНТРО;ПХРУЕТОН ФОТОРах-

чпкоп 9. После Обработки Всей ГГЬ?Тхи подножек стойки 4 перево-

дятся 3 Бсрт1 зАЪ1106 пслож61п16 и 1Гроизводитсн сиена кассет,

;1лсктр011110-лучевое оборудопаГПГ6 В про11зводотве Щ исп::аь-

зуется дгя отж1па 1иплаьт."Грова1ппк слоев, Фор.1нрова15ГИ рисунка

ГлГкросхе11я в злектрояоро аисте Г злектронс.ытохръфин), привярки

ВыводОВ и с арки БОр11усов при 1'арье'изахГж Гйу'=росжем~ псяерж-

ност11охо к0117'..Оля 70Гпол 1 тапок и летированщх Счоев.

1 '310"'опк81018 ЫЕ и СГУ1С с помп1 61ппгР .Зст:ОНОМОТВХ .Ф14 и

Высоко11 степ81Гьв ПГП 8ГраГВПГ требует разработки текпо;СГ'718ских

ГГронессов и Сбор~~до] аГППГ котоГ1не Об60116.1изали бн "." 1~~00 181018

Fig.1 017

Распознанный текст из изображения:

внбор его параметров прсвсдЯТОЯ Ва ~сионе такэх дисцкпнин» как

760~613 мзлин и механизмов» детали машин, технология эшшинострое-

ЯИЯ И ДР,

При электронно-лучевой сюрке луч диаметром О,ОХ...Х мм,

перемещаясь ВдОль поверхности детали О Веденнсй скоростьш» не

прернВПО лОкельнс прсппавлнет ии!Эрввл. Йлтнюн» расплав Обра-

зует сварной шов» соединяиицэй првмнкайщзв друг к другу участки

деталей. От традиционннх способов сюрки О оплавлением элект-

ронно-лучевая Отличается В первуш Очер8дь 79м, что позволяет

получать Очень )исокие лОкальнпе плотности тепловой знерх»зи при

сраВ1птхельнс мзлом общем теплснкожении.

ЗнергиЯ, котораЯ тЯдеккетсЯ при попаде»охи луча на сюри-

Ваемн6 детали„ю:-»О $ преврэдаетсн В теплО. 3 силу этсхс Всз-

~..ОЖНО ПОЛУ ~ЭНИЭ СЮРННХ ШВОВ С МИНХП4ЙЛЬВЦМИ ЗО~~АЯ ТЭРМИЧЭСЯОГ~

кппппЯ» большим ОтнОшеннем хлубинн к ширию прОплавленин

',до 20:1)» 7.9. Образоюхпхе узкого глубокого канала, по которо-

му луч юпадыт В глубь метэлла, нызнваЯ дальнейшее его прсплав-

ление. Вакуум Явлнетси эффэктивннм средством защитн сюрнсго

шю. Количество примесей, содеркащихоя в сюрном шве, зючитакьНс МЕНЬШЭ„ЧЭМ» НЗПРИМЕР» ПРИ СЮРКЭ В СРЭДЕ ИНЭРТПОХЮ Газа.

3озможность модулкции луча способствует значительному

умэжшениш тепловлсжения и сокращению зонм термического Влияввя

За счет пренмущественнОго расхода теплж ю испареюю метелла НО

сравненнш с потерями Ва теплопровсдность. Импульсихй режхи

сюрки» при ~отором тепловложенке дополнительно регулируетси

частотой и длительностьи Оюрсчннх импульООВ, широко применяэт-

ОЯ при сюрзв швов, расположенннх Вб~~хзи От спаев метеллж со

стеклом или керамикой. ОтклОнени6 пОтока электронов В магнитном

нли электрическом псле Осуществккэтсн практич8ски безннэрциОЯ-

но, 37О дает ВОзможность управлять перэмещениэм луча НО псюрх-

ности сюрвваемой детнли» развертнють луч по окружности пря

моугольнкку, сложной ириной и т.д.

Автономное управление электрснннм лучом В сочетании о нро-

граммхйм управл91пхем ЗВханического перемещении сюриваеммх де

млей создает необходкмые предпоснлки для автоматизапии процзо-

са электронно-лучевой оюрки.

С помощьв электронно-лучевой сюрки В электронной технике

можно Осуществлять герютизацю корпуоов 'И»»» крепление контаж"

тов ю и некоторие другие операции. Охема установки элеитронно-

лучевой сюрки цилиндрических корпусов ИС пск:зава на рис. 29. ООБОвннми элементами устанизки являотся." вакуумпэя сварочная камера 1, электронно-оптическэЯ система ~ЮС~ 2, многопсз~ппхОяэая карусель 4» юкуумная система» построенюя по прнхпппху раздельной Откачки 30С и сюрсчной квмерм. Необходимость пол~~- ч8ниЯ "безмаслнного" юкуума БНЗВБла применение магниторазрЩХ-

нвоосов ~4»~ ~ и ~м2 и подклх1чение форюкуумнох~~ юсоса к ОткачнОЙ системе зйисте О ловуБшами 31 н 32

Обьем МС разделон Вакуумн~и затвором М6, которнй позволнет получать и, непрернвно поддерхивать в Верхней части МС более внсокнй вакуум, что способствует болео долгсючной работе катОднсго узла, управление процэсссм Откэчки Осуществеяется с помощьш клапанов Ч1 . „~/~ натекателя ЪТ, юкуукютров Р1,,РЗ

Рис. 29. Схема установхох электронно-лучевой сварки корпусов Ис

71

Fig.1 018

Распознанный текст из изображения:

Приж;и.'~ работн установки взкууВП Ой сварки зак'пзчаетсн 3 ..о;.чередной сварке корпусов НС, установленннх на оправ:з 3 и ..:Случаищгч враде~пв вокруг своей оси от привода М1. После обработки одното прибора ~фусель 4 с помоныэ Привсда М3 и ходсвото Винта 5 перемещается В продолыим направлензи на иаГ и прово дитсн сварка следуицего корпуса. После обр-ботки всех размещенРь!х на оправке 3 корпусОВ привод МХ внволитсн Яз запеплмпм с справкой и Вон карусель 4 с помнцьа привода МЭ поворачжзаетсн па определенннй у~ол, "поДставлЯЯ" следу~м~~н Оправку с прибора=,.м под ЗК. Привод И вводится В запвплоние с этой Оправкой, и качипаетсн Обработка. При продольном перезиццении карусели 4 привод МЗ внвсдитсн из зацеплениЯ с ней.

После обработки всей партии приборов затвори Ч5 и Уб закрнваптся, сварочная камера разтерметивируется, двсрпа 6 Откэ; тывается и производится с1 7эна изде чий н верхней части Яс нн соией вакуум поддеркивается ж~стоянно,

При препдзионной сварке необходй,~о Внстанлнть полоиение свчрпвае~л)~'О стнка по Отноиешло к полоиенин злектронното луча

точно стьн не упще Щ,, ЦЯ уды, ()бнчнне способн установки пччка основан~в~э на визуе.'и ном наблндении, дант удовлетворитель:~~о результатн только при Сварив больиих партий слн~~~ннх Издай. В др~~~~~ случаях пеобхОДнмо Ионолвзовать спепиальННЕ спосОбн ~как правило автоматические) ДБЯ поиоиа стнка при не; взделж злектронвмо луча и пспосредственно в ходе семой свар-

КП»

Автоматическое на~еденне и Отслаиивание оваривае~~то ива ь~оиет бмть Ос~здествлено путем развертки рабочето пучка в телеВНЗЯОнннй растр и использовании изобреиеннн окрестностей ива В Отракенвнх электронах~

ЧТОбн В жлнОЙ мере использовать преимуЩеотва электроннолучевой сварки сследует стремиться и узеньяц~шпз затрат времени на вспомсохътелънне Операпни (затрузка и жщ)узка деталей~ нх псроюиение, откачка рабочего объема и т.п.). При сварю корпусов ИС мокяо, например, вводить их через илвзовне камерн или с помоцьв .латазинпнх за~рузочннх у~~ройств без разтерметизапии рабочей ьзхМрц.

~ак~~п1О-технологическое оборудование вккочает В себн элементы систем пслученин вакуума и зле1ипи.'н рабс~пн„технОлс вкче с~цр камер, Дчя внполненин ",„з.„еу",ц" Операщф техполодруеско

Fig.1 020

Распознанный текст из изображения:

Оптпю-механическое устрсйстхю предназначено ДПЯ транспортиров-л, ориентации, совмещения и помодульного экопонирования полупрово«»«иковых пластин. В стойке управления расположена м»хкро33И "3»хектроннка-6О", которая управкяет работой всех функхзхональ«э«х устройств устанОвки В ссотВетствии с заданным элхорптмом. Р.роме того р В стсйк8 находится»ше'рощюцэссорнсе уст ройство управления, которое обеспечивает связь микро3ВМ с оптико-механическим уст|юйствОм. Дисплей предназначен для ввода и в»«вода текстбвОЙ и цвфрсвсй и3фци4ации

В оонове работы устаювкя лежит принцип проекционного экспонирования (рис. М). Поток ультрафиолетового излучения ртутно-кварцевой лампы рефлектором 1 через затвор 2 и кон«Э»ысор 3 направляется на фотошаблон б, на котором имеются прозрачные и непрозрачные участки, образующие увеличенный оригинал заданного топологическогс рисунка интегральюй схемы. С псмсщьш объектива 6 изображение этого рисунка проецируется на поверхность полупроводниковой пластины 9 с десятикратным уменьшением. В результате в слое фоторезиота, нанесенного на полупроводниюВуш пластину, образуется скрытое изобраиэнив, которое затем проявляется в ходе хшвко-технологичеоюй обработки.

Расс»л»трвм работу установки более подробно. Полупроводниювые пластиюх загружаются в установку в 25-местной кассете. Пластины из подашщей кассеты поочередно транспортируются по пневматичесюй дорожке на позициш предварительюй ориентации. Там каждая пластина ориентируется по базоюну срезу и сдвигается затем на рабочий столик 1О, гД8 86 положение фиксируется вакуумом.

Жбочий столик 10 расположен на индукторе 11„который перемещается на аэростатической подушке. На нижн8Й поверхности индуктора встроены активные электромагнитные элементы четырех ~~~~й~ых щаговых д~~гателей, которые сбеспечивашт перемещение относительно статорной плиты Б с нарезанными на ее поверхности зубцами. Таким образом, полупроводниювая пластина может перемещатьоя по координатам Х,'х» и поворачиваться на опре«рЛенный УГОЛ.

Текшее положение координатного стола о полупроводниковой пластиной нзыэряется с помсщьш дат ппвв линейных перемещений. Пр;ппппх действия датчи«ав «ппвйных переМЕщэиий заклх»чаетсЯ в с«»8«,-~-шщем. Световой пучок 07 лазернохо излучателя 14 направ»«я-

ется на подвижнуш решетву Б, закрепленнуш на индукторе 11,

При прохожде»пп» решетки пучок дфрагирует и распределяется Ва

ряд пучков, расходнщ«пюя под разе«ми углеми в горизонтальной

плоскости. Зти углы»«» могут быть рассчитаны по формуле

6»-»» Ч» . »'» Ъ / 3,

где Ъ. - длина жихны лазерного излучения '), = О 63 лм.

шаг дифракцийннсй решет«Ох»

- порядок Двфрэхп«ии, и = О, 1, 2,

Так, при д = 4 мии для иопользуеюгс лазерного излучения»л»к-

си4«В6» нулеюго порядка шзжат на направ»хехп«и лазерного л;» ха,

ихксБмумн Беввсго и втОрсхО порядков составляшт с этим направ-

лением угли 9 и 160 соответственно.

В координатно-измерительной системе используштся лучи,

раОхОДЯЩИ8ОЯ под уГКОМ 9 по ОТЮшеНИЮ К неправлеНИЮ Па«ХэшщеГО

О

луча (рис 33) »ти пучки пспадакт на Зеркэльные псх»ерхнссти

ух ло всго 07рэжат6лЯ 16 ( сме рисе 3л ) у 0 траеаштся и во 3 вра»««агат

ОЯ на ДифракЦюннуь решеткуэ После вх прохсждек;и скв«зь ре

шетку снова образуется ~~бор пучков, распространншщхххся В раз-

ннх неправ»хенинх. Ез этих пучков 70лькс два поступашт В ФО70-

ГОЛОВКУ 1»». ПРЗХРРичеоки Эти два «ХРчка наЛсжеыы друГ на друга

и образушт од«п' выходной пучок, который содержит иы»юр»«ахх»ш» с

пэремеще«ии дифрэхпХюнной решетки В Видн муаровых интерферен-.

цибнннх пплсс, Образованных при нвложении двух Вышеупомянутых

пучков, каор«цхнатшэя измэрительная система содертит три датчи-

ка «хинейннх перемещвнийу Один НЗ юторых измеряет пслсженхВ

стола вдоль и»ординаты Х 1 а дэа других вдоль кООрдиВэты'~

(см. рис. 33).

После установки полупроводниювой пластины на предметном

столике Вклшчается система фокусщювкиу В кОторуш Вхбдж дат

чик 7 (см, рис. 32) и привод 13. Зта система обеспечивает

удериах»шв полупроюдниювой пластины в плоскости резкого изо-

бражении проекцюнного Объектива. В дальнейшем система фокуси-.

ровки работает юпрерывнс вплоть до Выгрузки пластины с пред-

метного столвна.

Затем Вк»шхчается фотоэлектрический»шхкросюп ссжхещения.

Для этого каретка 4 о ПОМОЩЬШ ПРиюда 16 пеРемещается так,

ч',Робы над Щюекциснным Объективом установился измерптельих»»

шаблон. 6 (см. рис. 32). Базнрова~пхе этохо «»аблона осуществл«:-

Fig.1 022

Распознанный текст из изображения:

3 кащ~ом датчике сигнал фор1Б1руется фотоприеьп1вком 2О, на которнй попадает световой поток от световода Х9, прошедций через З11ак базч«рова1п1Я 2~ нс, щаблоне.

С по1,1сцив;ротозлактрического иикрсскопа совм61цения измеря117ся коордп1атн знаков сожю1цения, расположенннх на полупровод- 1ОП«свой пластине. Дця этого с по11ощЬв световодов 23 освещэтся

;»1т.т 1О1 24, рисунок которпх содерипт пепериодичеокиэ системы 1и1-

1-.'-.~ел1»1П1х полос. ЛзобРаи81п16 масок с ПО1«161Цьв обьектива пРоени-

Р'т«т~тт',и 11а ПОБОР'т;.11ОСТЬ ПСЛУ11РОВОД1ППМВОЙ ПЛЯСТИНН, ЛУЧИ» ОТРа

исн1%6 67 пласти1и» Всзвра1~ЯБТОЯ на измеритсльннй ц1аблон» ОГ1гт,.:1ст'К~ттсн С 11О:*101ЦЬ18 Светоде.»11ГГ6ЛЬ1Пт1Х Куб1НОВ 25 Н Попадант На

'«~тоэлт..117рон1п16 у1О1оиители 26. Эпики сов:.йц18ния на полупровод-

6«1 «61«т»11 плат 7111»6 по«1ностт~* тсоглесовзнн по раз»»ерем с изобраие

г..*',О1 масок 24. 3 к.-.хщессе пз1.18рения коордпьт каядого знака ...иа.,тн11ы осу1Цест:дает скажрув1Цие дэ17цения под объективом.

тттс~т181ГГ» КОГДа Изобраясиие МИСОК ПОЛНОСТЬЮ Совпадазт СО

ЗПЗКСМ СОЖ16Цт»61ПГЯ» СООТВЕТСТВУЕТ:тп1НЮ4ЗЛЬНОМУ СВЕТОВОМУ ПОТОКУ»

671' т'ыт«110«,'.у О'Г пласти1п1. Это Обуслов116ИО Тем, что знаки совме-

111«1П1Ч СОСТОЯТ ИЭ ПОЛОС» РасСЕНЖП»61ЦИХ ПО1»» ВШОЕ На НИХ ИЗЛУЧЕНИЕт

1Ы п«рвом ЭТапв Осу1ЦЕСТВЯЯЕТСЯ ИЗМЕреннз КООРДзват ДВУХ з11ст".ОВ ссз11сц161п'.~1» располои61пп1х на Оси Х и На~более удален1нпс 67 1.;-.;.:тра полупроводж1ковой пластинн. По результатам зтих изьвР01!««б1 В1«т«11ОЛНт187СЯ ТСЧНЗЯ УГЛОВЗЯ ОРИЕнта1ПГЯ ПОЛУПРОВОДГ1ИКОВОЙ ацастн11ы, .'Затем осуществчяется измерение координат пяти знаков

66171661«1жят ОДН1 ПЗ КОТОРНХ РаСПОЛОЯЕН В ЦЕНТРЕ ПОЛУПРОВОДНИКО-

ьой кцастинн, а остзль1п»е на осях М и 3 в ее периферийннх учаС71:ах. т!а ОСНОВа1ПП1 ИЗ1ИрЕННЫХ КссрдиГИТ ЬИКрОЭИ раССЧИТНВНЕТ 1цас'цтабтц16 коэфт1НП16нтн кОРРекЩп1 и НОзфф»чпиент ЯепеРпенднкУ- лярнссти осей Х и ~ па полупровод1яковой пластине.

Элем карстка 4 (си. рис. Э2) пер61,1ецается так, чтобн нзд сбь61сзивом О1~зслся,отоГ1аблон б» содеряацп1Й топологичеокий р11сут«1ок:О»т1.',ц1руе!1Ого литогр.'фичеокого олоят ЭТОТ фотошаблон базнруеТСЯ В ЗТСМ Пслот1161ПВ1 ТНК ЛЕ» Каи И ИЗ1»16ритЕЛЬНИЙ ФОТО';«тблсп. Д',"166 О«С/Ц1РСГГЛЯ«ЗТСЯ 11уЛЬ71П1ЛИЮЗЛП1Я, 'Г,Е ПОП1аГОВОЕ 1«сртт:,"С ",61ГПО ПЛПСТПК1 ПОД ОбЪСКТИНО11 И ПОСЛРДСВаТЕЛЬНОЕ ЭКСПО

1".,ГЙОГХ».РЭ ВСОХ Се;163~618»1* «1рп ЭТОМ уЧИТНВНГ«тся КозффИЦИЕНТН

т'О~т"т" тат ~ 1 Пат Стт«17"'1ПЦ'6 1тд, ЭТНПЕ «тов1тттт"61 К

О.„-С1Г ав Я, 7 ттт 1 П Ч1ГП1 КООРтп1НЦТННЙ С«ГОЛ ПОРЕ Р

~Ц167СЯ 1«а П«О-'т«1ПГЛЗ Р":~СГР„'-",':КИ» .'.«СЛУт1РОВОД1П1КОВаЯ 1тластнна СД~П~-

Fig.1 023

Распознанный текст из изображения:

Расположение направлпсщих 2 в нижней части каооеты 1 обусловлено минимумом попадэвя продуктов износа (микрочастиц) на обрабатываемые иэделия. При данной ~омпонов~е привода мидрочасткцн~ Образушщиюся при качении роликов 3 по неправпяшщей 2, практически не югут попасть на изделие, расположенное выше.

Ряд технологичесиж процессов, тамп как откачка и сборка фотоэлектронных и СБЧ-приборов, полученю активньщ элеюнтов микросхем ютодом молекулярно-лучевой эпнтакоии, контроль качества полученных структур приборов методом Оже-спектрометрии требует пРоведенин целого комплЕКСа тЕХнологкчеОжих оаеРаций в сверхвысоком вакуую. При этом ряд технологических операций несовюствм - для их проведения требуется разлнчим остаточная среда в каюрах, т.е. камеры должны надежно отдвляться друг от

друга»

Получение сверхвысокого вакуума (10 ...10 1 Па) является длительной операцией, требующей тщательного обюзгеживания рабочих жвюр путем их нысокотюмпвратурнсго щогрева в процес09 Откачки, при этом трудоемкость получении вакуума резко возрастает с увеличением степени вакуума» айку если для пслучюкия давления 10"6 Па требртся, как правило, 1...3 часа, то для получения давления 10 Па уже 60...70 чаоов.. Поэтому обязателыими мементеми свюрхвысоковажуумннх установок явлйэтся шэшзовнв загрузочные устройства, система изолЩфемих технологических обземсв, ОН078ма транспортеров или манипуляторов для южоперацконнОГО перемещения ~~де~ий, устройства дия обезгаиывашшего прогрева всех внутрикэюрннх юханизмов и устройотв при темпвратуре 300...460 ОО.

затвор 2, Отделзшщий рабочуш каюру От шлшзовОЙ, загрузочное шлшзовое устройство 3, манипулятор 4.

Обрабатываеюя нли исохедуеюя заготовка (подложка) загружается в шшсзовсе устройство без его разгерютизации, затем производитсн Дополнзтел~нзя ~тк~~~а Объема шшсзовой камеры и юницГлятсра~ Открывипя затвора и ПОдача юннпулятсром заготовки в рабочую камеру. После окончания рабочего процесса узшзанннй цикл повторяется в Обратном порядке» вплоть до выгрузки заготовки»

При простейшем нариапте компоновки тюхнологич~скогс оборудования мы имеЕМ ГпупцУ псследонатюЛЬЬВ РаботаюЩИХ тюхНОЛОГИ ч90ких и ~дагностических свюрхвнсоксвакуумных устаноиж (рис. 60). Межоперапноиич нередача изделий, которю юходзтся в Гюрютизцрованных кассетах-капсулах» выпслняэтбя вручнуш» кажлвя установка работает по циклу, аюлогичному рно. 49.

Ркс. 61. Автоматизировашжя

линия с транспортно-запру

зочным ~,янипулятором

111

Расомотрнм варианты компоновки Фл у ф такого свюрхвысоковакуумного техно- лохи еского оборудования в анюматическуш линиш. О~но~ой компоновки янлн97ся независимая Оверхеысоковакуумная однокэюрная установка (рис. 49), которэа вклшчает в себя накуумнуш каюру 1 о технологичеокой оснасткой и инструментом (устройствами ионной очистж, испарителями, мслежулярно-лучежми источниками, Оже-опектрометром, вторичным ионным юсс-спектрометрсм, дифрактоютром юдленных и быстрых электронов и т.п.), 110

Цроцесс южоперационной передачи кассет" с загстоэкеми может быть юханизирован жпи автоматизирован о помощю треяопсртно-Загрузочной Ои '. Стюмн 1 О передвижным мани пужяторсм 2, которнй Осуществляет фунипи и загрузки и транспортировки (рис. 61) .

другзм вариэнтом струк турно" компоновочного решения являютси созданзв системы с псстоянннке маищлятбрами~

Прочти меня

Файл скачан с сайта StudIzba.com

Картинка-подпись
Хочешь зарабатывать на СтудИзбе больше 10к рублей в месяц? Научу бесплатно!
Начать зарабатывать

Комментарии

Поделитесь ссылкой:
Рейтинг-
0
0
0
0
0
Поделитесь ссылкой:
Сопутствующие материалы
Свежие статьи
Популярно сейчас
А знаете ли Вы, что из года в год задания практически не меняются? Математика, преподаваемая в учебных заведениях, никак не менялась минимум 30 лет. Найдите нужный учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Нашёл ошибку?
Или хочешь предложить что-то улучшить на этой странице? Напиши об этом и получи бонус!
Бонус рассчитывается индивидуально в каждом случае и может быть в виде баллов или бесплатной услуги от студизбы.
Предложить исправление
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
5076
Авторов
на СтудИзбе
455
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее