Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Системы автоматического управления (САУ) (МТ-11)Автоматизация установки УВН-3 (Установка вакуумного напыления)Автоматизация установки УВН-3 (Установка вакуумного напыления)
2017-12-22СтудИзба

Курсовая работа: Автоматизация установки УВН-3 (Установка вакуумного напыления)

Описание

Курсовой проект, который был успешно сдан в 2016-м году на оценку Отлично.

Расчетно-пояснительная записка



Тема: Автоматизация установки УВН-3


Москва 2016

Оглавление

1 Введение 4

2 Комплексно-принципиальная схема 6

2.1 Описание КПС 6

2.2 Элементы механической КПС 7

3 Описание системы энергообеспечения и управления 15

3.1 Элементы системы управления 15

3.2 Элементы системы энергообеспечения 22

3.3 Силовое оборудование 25

4 Документы, сопровождающие КПС 27

5 Описание процессной модели 28

Сервисные функции 36

6 Расчёт и описание принципиальной электрической схемы 37

7 Описание управляющей программы 38

Заключение 39

Список использованных источников 40






Реферат

Курсовой проект содержит 5 графических листов, выполненных в пакете КОМПАС-3D V14 и Corel Draw. Расчетно-пояснительная записка выполнена в Microsoft Word 2010, содержит 40 листов, 30 рисунков и 4 таблицы. В проекте разработана система автоматического управления установкой поста термовакуумной обработки (ТВО).

1-ый лист содержит комплексную принципиальную схему установки.

2-ой лист содержит комплексную принципиальную схему питания и управления с указанием всех энергетических и управляющих сигналов и перечнем всех элементов.

3-ий лист содержит процессную модель работы САУ, а также алгоритм работы установки, разбитый на подпроцессы.

4-ый лист содержит принципиальную электрическую схему соединений САУ.

5-ый лист содержит внешний вид управляющей программы.



Основной целью курсового проектирования является модернизация и автоматизация установки вакуумного нанесения тонких плёнок УВН-3. Данная установка является установкой лабораторного типа. Поставлена задача автоматизации процесса нанесения тонких плёнок путем разработки максимально эффективной САУ с учетом особенностей установки и протекающих процессов.

Целевой интерфейс

Установка УВН-3 предназначена для нанесения тонких плёнок на 4 пластины. Производительность зависит от материала, скорости откачки, скорости установления режимов проведения процесса, реакции оператора на меняющиеся парметры.

Механический интерфейс

Пластины устанавливаются на подложкодержателе, который в свою очередь подсоединён к шаговому двигателю. С помощью шагового двигателя при вращении на 1/8 оборота пластины либо открываются, либо закрываются от распылённого металла.

Рисунок 1 – Общий вид установки

Основными элементами установки являются:

  • Вакуумная система (Спиральный и турбомолекулярный насосы, два клапана, затвор и управляющий контроллер).
  • Камера (технологический колпак с ручным клапаном напуска).
  • Магнетрон (с системой подачи воды для охлаждения, подачи газов для создания рабочего давления).
  • Система поворота пластин (шаговый двигатель и подложкодержатель).


Технические требования:

  1. Напряжение питания 220 В и 380 В.
  2. Давление охлаждающей воды 1,5 атм, расход не менее 0,5 м /ч, температура от 5 до 20 С˚.
  3. Сопротивление системы заземления не более 4 Ом.


Технические характеристики:

  1. Предельное давление в камере 10-4 Па.
  2. Время достижения давления 10-4 Па в камере – 30 мин.
  3. Максимальный размер пластин – 100 мм.
  4. Максимальная мощность магнетрона – 1000 Вт.


Энергетический интерфейс

Питание установки производится от сети с напряжением 220 В и частотой 50 Гц. Магнетрон питается от сети с напряжением 380 В и частотой 50 Гц.

Информационный интерфейс

Информационный интерфейс после разработки САУ будет состоять из процессорного модуля СPU-188-5 фирмы Fastwell, который монтируется в корпусе в стойку. К данному модулю через соответствующие интерфейсы присоединяются локальные микроконтроллеры управления вакуумными насосами, регулятором расхода газа, системой охлаждения магнетрона, сенсорный экран, система ввода информации (клавиатура). Предусматривается работа в автоматическом режиме и в режиме полуавтомата, с контролем действий оператора.

Характеристики курсовой работы

Список файлов

  • Автоматизация установки УВН-3 (Установка вакуумного напыления)
  • Thumbs.db 92,5 Kb
  • Пояснительная записка.docx 3,94 Mb
  • Презентация.pptx 2,86 Mb
  • Прочти меня.txt 141 b
  • Чертёж (1).jpg 2,93 Mb
  • Чертёж (2).jpg 3,21 Mb
  • Чертёж (3).jpg 3,57 Mb
  • Чертёж (4).jpg 2,86 Mb
  • Чертёж (5).jpg 4,45 Mb
Картинка-подпись
Хочешь зарабатывать на СтудИзбе больше 10к рублей в месяц? Научу бесплатно!
Начать зарабатывать

Комментарии

Поделитесь ссылкой:
Цена: 1 200 руб.
Расширенная гарантия +3 недели гарантии, +10% цены
Рейтинг-
0
0
0
0
0
Поделитесь ссылкой:
Сопутствующие материалы
Свежие статьи
Популярно сейчас
Почему делать на заказ в разы дороже, чем купить готовую учебную работу на СтудИзбе? Наши учебные работы продаются каждый год, тогда как большинство заказов выполняются с нуля. Найдите подходящий учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Нашёл ошибку?
Или хочешь предложить что-то улучшить на этой странице? Напиши об этом и получи бонус!
Бонус рассчитывается индивидуально в каждом случае и может быть в виде баллов или бесплатной услуги от студизбы.
Предложить исправление
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
5076
Авторов
на СтудИзбе
455
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее