Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Системы автоматического управления (САУ) (МТ-11)Вакуумная установка формирования покрытий магнетронным распылениеВакуумная установка формирования покрытий магнетронным распыление
2017-12-22СтудИзба

Курсовая работа: Вакуумная установка формирования покрытий магнетронным распыление

Описание

Курсовой проект по САУ, который был успешно сдан в 2013-м году

Вакуумная установка формирования

покрытий магнетронным распылением



Москва, 2013


Содержание


Реферат. 3

Введение. 4

Техническое задание. 5

1. Описание вакуумной установки. 6

2. Описание процессной модели. 7

2.1 Откачка рабочей камеры. 7

2.2 Процесс нанесения. 7

2.3 Регулирование направление вращения вала с подложкодержателями. 8

2.4 Ионная обработка подложек. 8

2.5 Напуск рабочего газа и регулирование потока газонатекания. 8

2.6 Процесс завершения работы установки. 8

2.7 Процесс аварийного отключения. 9

2.8 Таблица процессов. 10

2.9 Выбор сервисных функций. 11

2.10 Выбор функций коррекции цели. 11

2.11 Программа управления технологическим процессом. 11

3. Функциональная схема установки. 12

4. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ.. 17

4.1 Контроллер PLC.. 17

4.2 Исполнительные элементы.. 18

Заключение. 23

Список литературы. 24


Реферат


Курсовой проект содержит 4 графических листов, выполненных в пакете AutoCAD 2010, и расчётно-пояснительную записку в формате Word, содержащую 24 страницы.


Введение

В настоящее время используют две разновидности технологических процессов изготовления МС:

1) тонкопленочные процессы,

2) полупроводниковые процессы.

Так как тонкопленочная технология позволяет изготовлять только пассивные элементы, а полупроводниковая - активные элементы, то целесообразно использовать их комбинацию. Это приводит к созданию гибридных интегральных МС.

Широкое распространение получили гибридные ИС – интегральные схемы, в которых применяются плёночные пассивные элементы и навесные элементы (резисторы, конденсаторы, диоды, транзисторы), называемые компонентами ГИС. Электрические связи между элементами и компонентами осуществляются с помощью плёночного или проволочного монтажа. Реализация функциональных элементов в виде ГИС экономически целесообразна при выпуске малыми сериями специализированных вычислительных устройств и другой аппаратуры. Навесными элементами в микроэлектронике называют миниатюрные, обычно бескорпусные диоды и транзисторы, представляющие собой самостоятельные элементы. Иногда в гибридных ИС навесными могут быть и некоторые пассивные элементы, например, миниатюрные конденсаторы с такой большой емкостью, что их невозможно осуществить в виде пленок. Это могут быть и миниатюрные трансформаторы. В некоторых случаях в гибридных ИС навесными являются целые полупроводниковые ИС.

ГИС по сравнению с полупроводниковыми ИС имеют ряд преимуществ: обеспечивают широкий диапазон номиналов, меньшие пределы допусков и лучшие электрические характеристики пассивных элементов (более высокая добротность, температурная и временная стабильность, меньшее число и менее заметное влияние паразитных элементов).

Если для создания микроэлектронного изделия необходимы пассивные элементы и компоненты высокого качества, предпочтительнее выполнить его в виде ГИС.

Одна из основных характеристик микроэлектронного изделия – рассеиваемая мощность. При гибридном исполнении можно обеспечить изготовление изделий достаточно большой мощности, что важно при создании аналоговых устройств, управляющих мощными входными цепями.

Недостатком является необходимость дополнительных контактных площадок для монтажа дискретных элементов или полупроводниковых ИС, которые могут быть выполнены по тонкопленочной технологии. Высокая надежность гибридных ИС достигается только с помощью точного проведения технологического процесса и эффективного контроля.





Техническое задание

на курсовой проект по курсу «Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий».


Тема проекта:__САУ вакуумной установки формирования покрытий магнетронным распылением


1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.

2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.

3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Дать техническое задание и техническое предложение на САУ и основные элементы машины.

4. Разработать принципиальную электрическую схему элемента САУ или САУ в целом.

Содержание графической части.

  1. Процессная модель машины..................................................2 л.
  2. Комплексная принципиальная схема....................................1 л.
  3. Принципиальная электрическая схема..................................1 л.


Содержание расчетно-пояснительной записки.

  1. Введение. Описание целевого, механического и энергетического интерфейса спроектированной технологической машины.
  2. Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
  3. Техническое задание и техническое предложение на систему управления машины по приведенной в Приложении 1 форме.
  4. Описание комплексной принципиальной схемы ФС. Обоснование структурно-компоновочного решения, выбор и согласование уровней потоков элементов.
  5. Документы, сопровождающие комплексную принципиальную схему:
  6. перечень элементов ПЭ;
  7. перечень потоков и сигналов ПС;
  8. технические задания на основные подсистемы и узлы машины ТЗ.
  9. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов ОЭ.
  10. Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
  11. Заключение.

Характеристики курсовой работы

Список файлов

  • Вакуумная установка формирования покрытий магнетронным распыление
  • Было
  • Исходники чертежей.dwg 789,12 Kb
  • Презентация.ppt 2,21 Mb
  • Приложение 1.pdf 1,14 Mb
  • Приложение 2.pdf 1,35 Mb
  • САУ.docx 458,77 Kb
  • Новые исходники чертежей.dwg 737,75 Kb
  • Пояснительная записка.docx 690,15 Kb
  • Презентация курсового проекта.ppt 1,79 Mb
  • Прочти меня.txt 141 b
Картинка-подпись
Хочешь зарабатывать на СтудИзбе больше 10к рублей в месяц? Научу бесплатно!
Начать зарабатывать

Комментарии

Поделитесь ссылкой:
Цена: 1 200 руб.
Расширенная гарантия +3 недели гарантии, +10% цены
Рейтинг-
0
0
0
0
0
Поделитесь ссылкой:
Сопутствующие материалы
Свежие статьи
Популярно сейчас
Как Вы думаете, сколько людей до Вас делали точно такое же задание? 99% студентов выполняют точно такие же задания, как и их предшественники год назад. Найдите нужный учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Нашёл ошибку?
Или хочешь предложить что-то улучшить на этой странице? Напиши об этом и получи бонус!
Бонус рассчитывается индивидуально в каждом случае и может быть в виде баллов или бесплатной услуги от студизбы.
Предложить исправление
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
5057
Авторов
на СтудИзбе
456
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее