Курсовая работа: Установка для вакуумного нанесения дискретных антифрикционных покрытий
Описание
«Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий»
на тему:
«УСТАНОВКА НАНЕСЕНИЯ ДИСКРЕТНЫХ УПРОЧНЯЮЩИХ ПОКРЫТИЙ»
Москва 2011
Содержание.. 2Задание на курсовой проект.. 3
Аннотация.. 4
Введение. Описание интерфейсов установки.. 5
Описание процессной модели.. 8
ТЗ и ТП на САУ установкой.. 12
Общие требования к алгоритму управления. 12
Функции системы.. 12
Режимы работы.. 12
Процессы, реализуемые в системе. 13
Основные целевые процессы.. 13
Сервисные процессы.. 14
Процессы коррекции цели. 14
Построение аппаратной части САУ.. 15
Система исполнительных механизмов. 15
Система электропитания и электроавтоматики. 15
Перечень информационных сигналов системы управления. 15
Описание комбинированной функциональной схемы... 17
Информационный поиск элементов САУ.. 20
Описание монтажной схемы... 29
Заключение.. 30
Список использованных источников.. 31
Аннотация
Курсовой проект содержит 4 графических листа, выполненных в пакете AutoCAD 2010. Расчетно-пояснительная записка выполнена в Microsoft Word 2010, содержит 31 лист. В проекте разработана система автоматического управления установкой нанесения дискретных триботехнических покрытий.
1-ый лист содержит процессную модель работы САУ. На нем же содержатся 4 алгоритма работы отдельных процессов. Алгоритмы максимально облегчены для более понятного чтения, в РПЗ содержится подробное описание работы САУ.
2-ой и 3-ий листы содержат комплексную принципиальную схему и комбинированную функциональную схему установки с указанием всех энергетических и управляющих сигналов.
На 4-ом листе представлена монтажная электрическая схема соединений САУ.
Введение. Описание интерфейсов установки
Основной целью курсового проектирования является закрепление знаний, полученных при изучении дисциплины САУ, применение их на практике в процессе разработки документации на САУ установки нанесения комбинированных тонкопленочных покрытий триботехнического назначения. Данная установка является установкой лабораторного типа на основе напылительной системы фирмы Balzers. Поставлена задача разработки максимально эффективной САУ с учетом особенностей установки и протекающих процессов.
Общий вид установки представлен ниже:
Рисунок 1
Основными элементами являются:
·Вакуумная система (диффузионный и механический насосы, система клапанов, вакуумные датчики)
·Камера (нержавеющая сталь, цилиндр: ø330 мм, высота 420 мм)
·Система напыления (АИИ+2 магнетрона)
·Газовая система (2 баллона с азотом и аргоном, система клапанов)
·Система приводов (на образец, на заслонки)
Технические требования:
1.Напряжение питания 3 50 Гц, 380 В/ 220 В
2.Давление охлаждающей воды 1,5 атм, расход не менее 0,5 м /ч, температура от 5 до 20 С
3.Сопротивление системы заземления не более 4 Ом
Технические характеристики:
1. Предельное давление в камере - 10 Торр
2. Рабочее давление АИИ - 5*10 Торр
3. Рабочее давление магнетрона (3..8)*10 Торр
4. Время достижения в камере давления 10 Торр без прогрева
рабочего объема камеры - порядка 30 мин
5. Ток разряда каждого магнетрона - 0,6..2,2 А
6. Подача рабочих газов (аргон, азот) с точностью поддержания
заданного расхода - не более 1%
7. Частота вращения ввода - 10 , нерегулируемая
8 Внутренний диаметр камеры - 450 мм
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- Установка для вакуумного нанесения дискретных антифрикционных покрытий
- Thumbs.db 23,5 Kb
- Записка.doc 2,08 Mb
- Презентация.ppt 1,89 Mb
- Прочти меня.txt 141 b
- САУ.dwg 1,7 Mb
Начать зарабатывать