Установка нанесения и обработки тонких пленок методами ионного распыления, осаждения дуговым разрядом и ионного осаждения
Описание
СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ. НАЗНАЧЕНИЕ УСТАНОВКИ.. 3
1 Устройство установки и её функционирование. 4
1.1 Общее описание работы установки. 4
4.1 Описание элементов вакуумной системы.. 7
4.1.1 Насос механический пластинчато-роторный NI (НВР-16Д). 7
4.1.5 Насос диффузионный промасленный. 8
4.2 Процессы вакуумной системы.. 8
4.2.1 процесс вывода ПМН на рабочий режим.. 8
4.2.2 Процесс форвакуумной откачки. 9
4.2.3 Процесс высоковакуумной откачки» . 10
6 Система электропитания и управления. 11
6.1 Система электропитания. 11
6.1.1 Распределительный щит. 12
6.1.2 Блок ключей клапанов. 12
6.2.1 Компьютер рабочего места оператора. 13
7 Требования к программному обеспечению установки. 15
7.1 Требования к программному обеспечению компьютера рабочего места оператора 15
7.1.1 Режим «Ввод уставок» ПО РМО.. 16
7.1.2 Режим оператора ПО РМО.. 16
7.1.3 Режим наладчика ПО РМО.. 16
7.2 Требования к программному обеспечению контроллера. 17
ПРИЛОЖЕНИЕ 1 . Общая таблица сигналов установки. 18
ПРИЛОЖЕНИЕ (К листу 5). Список радиоэлементов. 21
ВВЕДЕНИЕ. НАЗНАЧЕНИЕ УСТАНОВКИ
Автоматизация различного вида оборудования применяется широкомасштабно не только на производстве, но и для лабораторных исследований. И в том, и в другом случае автоматизация позволяет облегчить работу оператора, сделать процессы управления и контроля более удобными и наглядными, а также существенно повысить точность соблюдения параметров проведения технологических процессов.
При проектировании САУ необходимо внимательно изучить и продумать все возможные варианты применения САУ в данной конструкции с целью выбора оптимального из них по нескольким критериям: степень автоматизации, сложность изготовления и эксплуатации, цена. Также при проектировании следует использовать элементы и модули, которые впоследствии можно будет без особых проблем заменить и доработать. Это несколько удорожает систему в целом на первоначальном этапе, но вполне окупается в процессе эксплуатации, поскольку через несколько лет не придётся полностью заменять систему по причине её полного морального или физического старения.
Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ.
В задачи проекта входят:
- распределение функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций;
- постановка четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов;
- выполнение технической документации на электронные компоненты.
Для упрощения работы оператора и повышения производительности и качества предложен вариант полностью автоматизированной установки вместо существующей установки с ручным управлением.
Курсовой проект выполнен в объеме 4-х листов А3 и расчетно-пояснительной записки. На первом листе приведены алгоритмы работы установки и таблица процессов. На втором и третьем листах - комплексная принципиальная схема установки : механика, энергообеспечение, системы автоматического и ручного управления. На четвертом листе - принципиальная электрическая схема. В расчетно-пояснительной записке приведены необходимые пояснения и расчеты, отражены принципы построения САУ установки, даны описания листов проекта.
Данная установка предназначена для нанесения и обработки тонких пленок методами ионного распыления, осаждения дуговым разрядом и ионного осаждения.
В состав установки входят следующие источники:
Магнетрон на постоянном токе;
Дуговой источник;
Автономный источник ионов.
Рис. 1. 1 – рабочая камера; 2 – рама; 3 – диффузионный насос; 4 – механический насос; 5 – азотная ловушка; 6 – затвор 23В9 250; 7 – клапан КВУМ-40; 8 – клапан КВУМ-25; 9 – натекатель; 10 – АИИ; 11 – магнетрон; 12 – ИД; 13 – шкаф управления; 14, 15 – баллоны с рабочими газами.
Установка для нанесения многослойных покрытий имеет технологическую (рабочую) камеру большого объёма. Значительный рабочий объём технологической камеры позволяет обрабатывать образцы больших размеров или обрабатывать несколько образцов одновременно, для чего внутри камеры установлен подложкодржатель, для передачи вращательного движения от двигателя к подложкодержателю и для его поворота на переднем фланце камеры установлены ввод движения в вакуум с сальниковым уплотнением.
Вакуумная система установки состоит из высоковакуумного диффузионного паромасляного насоса Н-250 с азотной ловушкой и механического насоса НВР-16Д. На форвакуумной магистрали установлен электромагнитный клапан КВУМ-40, на байпасной – КВУМ-25. Диффузионный насос отделён от камеры высоковакуумным затвором типа 23В9 250. Измерение давления в камере осуществляется при помощи двух манометрических преобразователей: термопарного ПМТ-2 и ионизационного ПМИ-2, данные которых обрабатываются вакуумметром ВИТ-2П. Остаточное давление механического насоса ≈ 0,5 Па, диффузионного насоса ≈ 5·10-4 Па.
Для подачи в камеру рабочих газов (аргона, азота, циклогексана) установка оснащена газовой системой (рис. 2).
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- Установка нанесения и обработки тонких пленок методами ионного распыления, осаждения дуговым разрядом и ионного осаждения
- 1-5.dwg 406,88 Kb
- 1_Schema.sdd 20,3 Kb
- 2_Компаненты.xls 23 Kb
- 4_Процессы.xls 26,5 Kb
- 5_Разводка.LAY 35,48 Kb
- Прочти меня.txt 141 b
- САУ.doc 718 Kb
Начать зарабатывать