Главная » Учебные материалы » Системы автоматического управления (САУ) (МТ-11) » Курсовые работы » МГТУ им. Н.Э.Баумана » 11 семестр (3 семестр магистратуры) » Установка нанесения и обработки тонких пленок методами ионного распыления, осаждения дуговым разрядом и ионного осаждения
Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Системы автоматического управления (САУ) (МТ-11)Установка нанесения и обработки тонких пленок методами ионного распыления, осаждения дуговым разрядом и ионного осажденияУстановка нанесения и обработки тонких пленок методами ионного распыления, осаждения дуговым разрядом и ионного осаждения
2017-12-22СтудИзба

Установка нанесения и обработки тонких пленок методами ионного распыления, осаждения дуговым разрядом и ионного осаждения

Описание

Защищённый курсовой проект 2008-го года по САУ

СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ. НАЗНАЧЕНИЕ УСТАНОВКИ.. 3

1 Устройство установки и её функционирование. 4

1.1 Общее описание работы установки. 4

1.2 Состав установки. 6

2 Камера технологическая. 6

3 Система нагрева. 7

4 Вакуумная система. 7

4.1 Описание элементов вакуумной системы.. 7

4.1.1 Насос механический пластинчато-роторный NI (НВР-16Д). 7

4.1.2 Натекатель VF1. 7

4.1.3 Затвор VT. 7

4.1.4 Клапаны VE1 и VE2. 8

4.1.5 Насос диффузионный промасленный. 8

4.1.6 Измерение давления. 8

4.2 Процессы вакуумной системы.. 8

4.2.1 процесс вывода ПМН на рабочий режим.. 8

4.2.2 Процесс форвакуумной откачки. 9

4.2.3 Процесс высоковакуумной откачки» . 10

5 Система охлаждения. 10

6 Система электропитания и управления. 11

6.1 Система электропитания. 11

6.1.1 Распределительный щит. 12

6.1.2 Блок ключей клапанов. 12

6.1.3 Блок питания 1. 12

6.1.4 Блок питания РРГ. 12

6.2 Система управления. 13

6.2.1 Компьютер рабочего места оператора. 13

6.2.2 Контроллер. 13

7 Требования к программному обеспечению установки. 15

7.1 Требования к программному обеспечению компьютера рабочего места оператора 15

7.1.1 Режим «Ввод уставок» ПО РМО.. 16

7.1.2 Режим оператора ПО РМО.. 16

7.1.3 Режим наладчика ПО РМО.. 16

7.2 Требования к программному обеспечению контроллера. 17

ПРИЛОЖЕНИЕ 1 . Общая таблица сигналов установки. 18

ПРИЛОЖЕНИЕ (К листу 5). Список радиоэлементов. 21




ВВЕДЕНИЕ. НАЗНАЧЕНИЕ УСТАНОВКИ

Автоматизация различного вида оборудования применяется широкомасштабно не только на производстве, но и для лабораторных исследований. И в том, и в другом случае автоматизация позволяет облегчить работу оператора, сделать процессы управления и контроля более удобными и наглядными, а также существенно повысить точность соблюдения параметров проведения технологических процессов.

При проектировании САУ необходимо внимательно изучить и продумать все возможные варианты применения САУ в данной конструкции с целью выбора оптимального из них по нескольким критериям: степень автоматизации, сложность изготовления и эксплуатации, цена. Также при проектировании следует использовать элементы и модули, которые впоследствии можно будет без особых проблем заменить и доработать. Это несколько удорожает систему в целом на первоначальном этапе, но вполне окупается в процессе эксплуатации, поскольку через несколько лет не придётся полностью заменять систему по причине её полного морального или физического старения.

Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ.

В задачи проекта входят:

  • распределение функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций;
  • постановка четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов;
  • выполнение технической документации на электронные компоненты.


Для упрощения работы оператора и повышения производительности и качества предложен вариант полностью автоматизированной установки вместо существующей установки с ручным управлением.

Курсовой проект выполнен в объеме 4-х листов А3 и расчетно-пояснительной записки. На первом листе приведены алгоритмы работы установки и таблица процессов. На втором и третьем листах - комплексная принципиальная схема установки : механика, энергообеспечение, системы автоматического и ручного управления. На четвертом листе - принципиальная электрическая схема. В расчетно-пояснительной записке приведены необходимые пояснения и расчеты, отражены принципы построения САУ установки, даны описания листов проекта.




  1. Устройство установки и её функционирование
    1. Общее описание работы установки.

Данная установка предназначена для нанесения и обработки тонких пленок методами ионного распыления, осаждения дуговым разрядом и ионного осаждения.

В состав установки входят следующие источники:

Магнетрон на постоянном токе;

Дуговой источник;

Автономный источник ионов.


Рис. 1. 1 – рабочая камера; 2 – рама; 3 – диффузионный насос; 4 – механический насос; 5 – азотная ловушка; 6 – затвор 23В9 250; 7 – клапан КВУМ-40; 8 – клапан КВУМ-25; 9 – натекатель; 10 – АИИ; 11 – магнетрон; 12 – ИД; 13 – шкаф управления; 14, 15 – баллоны с рабочими газами.

Установка для нанесения многослойных покрытий имеет технологическую (рабочую) камеру большого объёма. Значительный рабочий объём технологической камеры позволяет обрабатывать образцы больших размеров или обрабатывать несколько образцов одновременно, для чего внутри камеры установлен подложкодржатель, для передачи вращательного движения от двигателя к подложкодержателю и для его поворота на переднем фланце камеры установлены ввод движения в вакуум с сальниковым уплотнением.

Вакуумная система установки состоит из высоковакуумного диффузионного паромасляного насоса Н-250 с азотной ловушкой и механического насоса НВР-16Д. На форвакуумной магистрали установлен электромагнитный клапан КВУМ-40, на байпасной – КВУМ-25. Диффузионный насос отделён от камеры высоковакуумным затвором типа 23В9 250. Измерение давления в камере осуществляется при помощи двух манометрических преобразователей: термопарного ПМТ-2 и ионизационного ПМИ-2, данные которых обрабатываются вакуумметром ВИТ-2П. Остаточное давление механического насоса ≈ 0,5 Па, диффузионного насоса ≈ 5·10-4 Па.

Для подачи в камеру рабочих газов (аргона, азота, циклогексана) установка оснащена газовой системой (рис. 2).

Характеристики курсовой работы

Список файлов

  • Установка нанесения и обработки тонких пленок методами ионного распыления, осаждения дуговым разрядом и ионного осаждения
  • 1-5.dwg 406,88 Kb
  • 1_Schema.sdd 20,3 Kb
  • 2_Компаненты.xls 23 Kb
  • 4_Процессы.xls 26,5 Kb
  • 5_Разводка.LAY 35,48 Kb
  • Прочти меня.txt 141 b
  • САУ.doc 718 Kb
Картинка-подпись
Хочешь зарабатывать на СтудИзбе больше 10к рублей в месяц? Научу бесплатно!
Начать зарабатывать

Комментарии

Поделитесь ссылкой:
Цена: 1 200 руб.
Расширенная гарантия +3 недели гарантии, +10% цены
Рейтинг-
0
0
0
0
0
Поделитесь ссылкой:
Сопутствующие материалы
Свежие статьи
Популярно сейчас
Почему делать на заказ в разы дороже, чем купить готовую учебную работу на СтудИзбе? Наши учебные работы продаются каждый год, тогда как большинство заказов выполняются с нуля. Найдите подходящий учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Нашёл ошибку?
Или хочешь предложить что-то улучшить на этой странице? Напиши об этом и получи бонус!
Бонус рассчитывается индивидуально в каждом случае и может быть в виде баллов или бесплатной услуги от студизбы.
Предложить исправление
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
5075
Авторов
на СтудИзбе
455
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее