Курсовая работа: Установка совмещения и экспонирования с коллимированным источником излучения
Описание
Расчетно – пояснительная записка
к курсовому проекту
по курсу
«Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий »
на тему:
«Установка совмещения и экспонирования с коллимированным источником излучения»
| |
| |
ЗАДАНИЕ
на курсовой проект по курсу «Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий».
Тема проекта: Установка совмещения и экспонирования с коллимированным источником излучения
1. Проработать описание работы установки, выбрать и обосновать состав ее основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.
2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.
3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Дать техническое задание и техническое предложение на САУ и основные элементы машины.
4. Разработать принципиальную электрическую схему элемента САУ или САУ в целом.
Содержание графической части.
- Процессная модель установки..................................................1 л.
- Комплексная принципиальная схема........................................2 л.
- Принципиальная электрическая схема....................................1 л.
Содержание расчетно-пояснительной записки.
- Введение. Описание целевого, механического и энергетического интерфейса спроектированной установки совмещения и экспонирования.
- Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
- Техническое задание и техническое предложение на систему управления машины по приведенной в Приложении 1 форме.
- Описание комплексной принципиальной схемы ФС. Обоснование структурно-компоновочного решения, выбор и согласование уровней потоков элементов.
- Документы, сопровождающие комплексную принципиальную схему:
- перечень элементов ПЭ;
- перечень потоков и сигналов ПС;
- технические задания на основные подсистемы и узлы машины ТЗ.
- Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов ОЭ.
- Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
- Заключение.
Содержание
4 Выбор сервисных процессов. 8
5 Разработка пультовой петли алгоритма работы установки. 9
6 Технические параметры элементов управляемых элементов. 10
6.2 Блок подготовки воздуха. 10
6.4 Линейный привод530906 DGC-8-- 11
6.5 Система измерения перемещений 178307 MME-MTS-450-TLF-AIF. 11
6.6 Насос вакуумной системы.. 11
6.7 Датчик вакуума EYESYS ConvecTorr 12
6.8 Клапаны электромагнитные КВМ-25 нормально закрытые. 12
6.9 Клапаны электромагнитные ДУ-25 нормально открытые. 13
6.12 Черно-белая CCD камера LCL-903Q Watec. 14
6.13 Лампа разрядная сверхвысокого давления ксеноновая ДРКс1000. 14
6.14 Датчики конечного положения ДКП1. 14
6.15 Вилкообразный датчик наличия платы Sick WF. 15
8 Блок управления экспонированием.. 16
9 Блок управления клапанами. 16
Проектирование блока управления клапанами. 17
9.1.1 Разработка схемы управления. 17
9.1.2 Таблица состояний выходного триггера. 18
9.1.5 Расчет оптронной развязки. 18
9.1.6 Параметры основных элементов схемы.. 19
9.1.7 Расчет цепи питания триггера. 19
10 Микроконтроллер MCS 51 BK.. 19
12 Драйвер шаговых двигателей SLA7052М фирмы Allegro. 21
14 Список использованных источников. 24
Реферат.
В данном курсовом проекте рассмотрена система автоматизированного управления установкой совмещения и экспонирования двухсторонних и многослойных печатных плат.
Рассмотрены основные узлы САУ и проведен расчет и проектирование системы управления каналом откачки.
Проект выполнен в объеме 4 листов и расчетно-пояснительной записки. На первом листе показана принципиальная схема установки и таблица сигналов. Блок схема алгоритмов работы установки приведена на 2 листе. На третьем листе проекта приведена комплексная принципиальная схема установки. На четвертом листе показана электрическая принципиальная схема контроллера и ключи для управления вакуумными клапанами и экспонированием, а так же подключение драйверов для шаговых двигателей.
Введение.
В настоящее время к установкам совмещения и экспонирования предъявляются высокие требования. Они должны быть автоматическими, обладать высокой точностью позиционирования и производительностью, обладать универсальностью.
В соответствии с этим проектируемая установка должна обладать следующими характеристиками:
- высокое разрешение
- высокая производительность
- низкая стоимость процесса
- универсальность
- возможность выпуска плат с большим рабочим полем
- высокое быстродействие
- удобство переналадки
- возможность получения элементов размерами 20…50 мкм
- возможность встраивания в автоматическую линию
Проектируемая установка предназначена для высокоточночного оптического совмещения фотошаблонов и заготовки по реперным знакам и экспонирования. Конструкция установки и интерфейс управляющей программы позволяют совершать рабочий цикл в автоматическом или (если необходимо) ручном режимах.
Преимущества работы в автоматическом режиме следующие:
- Многократно возрастает точность совмещения
- Увеличивается производительность
- Уменьшается утомляемость оператора
- Исключается вероятность ошибки
- Снижается вероятность брака из-за некорректных действий оператора
При работе в автоматическом режиме электронная система управления в непрерывном режиме обменивается сигналами управления с персональным компьютером (локальным или сетевым). Сигналы с видеокамер поступают на компьютер, специализированный софт обрабатывает картинку и векторизует. Далее вычисляются смещения реперных знаков друг относительно друга и их площадь перекрытия. Если совмещение не удовлетворяет заданной точности, то по специальному алгоритму рассчитываются необходимые перемещения координатного стола.
Так же по протоколам RS 232 компьютер обменивается данными с контроллерами вакуума, пневматики и MCS 51. Специализированная программа обрабатывает сигналы с контроллеров и организует связь между ними. Есть возможность работы по сети.
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- Установка совмещения и экспонирования с коллимированным источником излучения
- Задание.doc 26 Kb
- Лист 1.cdw 195,34 Kb
- Лист 2.cdw 149,64 Kb
- Лист 3.cdw 90,86 Kb
- Лист 4.cdw 318,17 Kb
- Прочти меня.txt 141 b
- САУ.doc 1,13 Mb
- Спецификация.spw 52,46 Kb
Начать зарабатывать