Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Технические наукиГазовые системыГазовые системы
2017-12-212017-12-21СтудИзба
НИР: Газовые системы
Описание
Инженерный практикум. Отчёт: «Газовые системы»
Содержание
Задание..... 3
Реферат..... 4
Введение..... 5
1.Теоретический расчет параметров и характеристик
опалового натекателя..... 6
2. Система подачи газа со сверхнизким расходом..... 12
3. Практическое определение проводимости натекателя..... 16
Заключение..... 21
Список литературы..... 22
Приложение..... 23
Введение
Для подачи рабочего газа в различные камеры и реакторы используются газовые системы. Системы могут состоять из газовых панелей, которые в свою очередь могут быть объединены и установлены в газовые шкафы. Газовые системы могут функционировать как при избыточных давлениях, так и в вакууме. В качестве основного регулятора расхода газа используется выпускаемый предприятием «Элточприбор» РРГ. Но при решении некоторых современных нанотехнологических задач необходима подача рабочего газа, потоком в считанное число молекул, что очень существенно ниже минимального значения, обеспечиваемого стандартным РРГ. Для этих целей ведется разработка натекателя, заполненного опалом, с низким выходным потоком рабочего газа.
Содержание
Задание..... 3
Реферат..... 4
Введение..... 5
1.Теоретический расчет параметров и характеристик
опалового натекателя..... 6
2. Система подачи газа со сверхнизким расходом..... 12
3. Практическое определение проводимости натекателя..... 16
Заключение..... 21
Список литературы..... 22
Приложение..... 23
Введение
Для подачи рабочего газа в различные камеры и реакторы используются газовые системы. Системы могут состоять из газовых панелей, которые в свою очередь могут быть объединены и установлены в газовые шкафы. Газовые системы могут функционировать как при избыточных давлениях, так и в вакууме. В качестве основного регулятора расхода газа используется выпускаемый предприятием «Элточприбор» РРГ. Но при решении некоторых современных нанотехнологических задач необходима подача рабочего газа, потоком в считанное число молекул, что очень существенно ниже минимального значения, обеспечиваемого стандартным РРГ. Для этих целей ведется разработка натекателя, заполненного опалом, с низким выходным потоком рабочего газа.
Характеристики НИР
Предмет
Учебное заведение
Просмотров
115
Покупок
0
Размер
2,63 Mb
Преподаватели
Список файлов
Хочешь зарабатывать на СтудИзбе больше 10к рублей в месяц? Научу бесплатно!
Начать зарабатывать
Начать зарабатывать