Для студентов МАИ по предмету Физико химические основы электроникиЛекции (Ляхова)Лекции (Ляхова) 2015-11-17СтудИзба

Лекции: Лекции (Ляхова)

Описание

Небольшая вырезка из одного и файлов:

Сканирующий туннельный микроскоп

Сканирующий туннельный микроскоп (СТМ) изобретен Г. Бинингом и Т. Рорером в швейцарском отделении IBM. Рабочая камера СТМ должна быть защищена от посторонних воздействий хорошей экранировкой и высоким вакуумом.
Функционирование сканирующего туннельного микроскопа (СТМ) состоит в регистрации изменение туннельного тока между иглой (зондом) и подложкой. Зонд укреплен на консоли (cantilever). Благодаря обратной связи в СТМ зонд (tip) перемещается вверх – вниз, повторяя рельеф поверхности (surface) в случае поддержания с помощью автоматики постоянного туннельного тока. Фиксируется перемещение зонда. Информационный сигнал I или h после компьютерной обработки выводится на дисплей. При поддержании постоянного уровня иглы информационным параметром зазора между зондом и подложкой является величина туннельного тока.

СТМ может использоваться не только для исследования, но и в ряде технологических операций, которые проходят в малом пространстве между зондом и подложкой. Такой микроскоп часто называют силовым. Зонд изготавливается из монолитного вольфрама. Диаметр острия не более 10 нм. В перспективе зонд для увеличения разрешающей способности может быть использована углеродная нанотрубка (УНТ).
Локально в области зонда происходит туннелирование электронов с энергией не менее 0,25 эВ при ширине потока 0,1 - 0,2 нм. Туннельный ток вызывается градиентом полей:
- электрического,
- магнитного,
- электромагнитного СВЧ и оптического диапазона. Имеются и другие механизмы стимулирование межмолекулярного взаимодействия
- тепловой (пикосекундной длительности),
- механический (в частности ультразвуковой – здесь действует чередование низкого и высокого давления).
Распределение полей должно быть неоднородным. Острый угол зонда способствует концентрации заряда на острие. Зонд размещается в пучности поля. Это ограничивает зону влияния пятном непосредственно под зондом. Чем больше неоднородность, тем выше разрешающая способность. Это достигается сочетанием полей, например, электрического и магнитного, электрического и теплового. Задача полевого влияния - не только воздействовать на заряженные частицы, но также ионизировать или формировать диполи из нейтральных молекул. Это дает возможность манипулирования отдельными атомами и молекулами.
Энергия полей варьируется от долей до десятков эВ в зависимости от требуемой функции. Энергия долей эВ инфракрасного поля способна вызвать тепловую миграцию и может быть использована для планарной сборки. Но стабильность такой сборки невелика ввиду малой энергии.
Энергия оптического излучения в несколько десятков эВ способна:
- разрывать и синтезировать молекулы, в том числе органические,
- локально производить химическое осаждение из газовой фазы (аналогично операции «на след луча»),
- активизировать адсорбцию или десорбцию атомов и молекул с вершины зонда,
- создавать локальные электрические заряды в сегнетоэлектриках и электретах,
- проводить локальные химические процессы окисления и восстановления в присутствии соответствующих реагентов в рабочей камере,
- экспонировать электронночувствительные резисты.
Сборочные операции становятся 3-х мерными (активизируются нижележащие слои) и характеризуются большей стабильностью.
В диапазоне энергий от нескольких десятков до сотен эВ ионизируются молекулы любого вещества. Появляется возможность локального испарения, травления. 3-х мерная сборка проводиться для высокотемпературных материалов.
Существует много вариантов сканирующих микроскопов (СМ). Один из вариантов построения СМ представлен на рис.. Образец перемещается на координатном столе с вакуумным прижимом (Vacuum Chuck). Прецизионная часть перемещения осуществляется с помощью пьезоэлементов (Piezoelectric), обеспечивающих разрешающую способность не менее 0.01 нм. Регистрация вертикального перемещения осуществляется лазерным интерференционным методом. Луч лазера (Laser) отражается от внешней поверхности держателя зонда (Conducting Tip) и поступает в фотодетектор (Photodetector). При изменении положения зонда изменяется длина пути луча и, следовательно, фаза принятого сигнала. По изменению фазы судят о величине вертикального перемещения зонда. При формировании управляющего сигнала учитывается, в какой зоне фотодетектора принят отраженной луч лазера.

Характеристики лекций

Учебное заведение
Семестр
Просмотров
157
Скачиваний
7
Размер
5,55 Mb

Список файлов

ReadMe

Файлы скачаны со студенческого портала для студенты "Baumanki.net"

Файлы представлены исключительно для ознакомления

Не забывайте, что Вы можете зарабатывать, выкладывая свои файлы на сайт

Оценивайте свой ВУЗ в различных голосованиях, в том числе в досье на преподавателей!

Картинка-подпись
Хочешь зарабатывать на СтудИзбе больше 10к рублей в месяц? Научу бесплатно!
Начать зарабатывать

Комментарии

Поделитесь ссылкой:
Рейтинг-
0
0
0
0
0
Поделитесь ссылкой:
Сопутствующие материалы
Свежие статьи
Популярно сейчас
Почему делать на заказ в разы дороже, чем купить готовую учебную работу на СтудИзбе? Наши учебные работы продаются каждый год, тогда как большинство заказов выполняются с нуля. Найдите подходящий учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Нашёл ошибку?
Или хочешь предложить что-то улучшить на этой странице? Напиши об этом и получи бонус!
Бонус рассчитывается индивидуально в каждом случае и может быть в виде баллов или бесплатной услуги от студизбы.
Предложить исправление
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
5076
Авторов
на СтудИзбе
455
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее